致动器及其制造方法
    42.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102992257A

    公开(公告)日:2013-03-27

    申请号:CN201210313060.X

    申请日:2012-08-29

    Inventor: 田中英树

    Abstract: 本发明提供一种小型、高速响应性优越且能够较大位移的致动器,并提供一种能够容易制造这样的致动器的制造方法。本发明的致动器的特征在于,其由多个电极(11)、多个阳离子交换树脂膜(12)、多个阴离子交换树脂膜(13)的层叠体构成,阳离子交换树脂膜(12)和阴离子交换树脂膜(13)交替层叠,阳离子交换树脂膜(12)及阴离子交换树脂膜(13)分别被两个电极(11)夹持,对相邻的阳离子交换树脂膜(12)和阴离子交换树脂膜(13)之间的电极(11)施加电压,使得成为相同的极性。

    成膜装置及成膜方法
    43.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101249483A

    公开(公告)日:2008-08-27

    申请号:CN200810074070.6

    申请日:2008-02-21

    CPC classification number: B41J11/0015 B05B13/0447

    Abstract: 本发明提供一种可容易地进行处理气氛的控制的成膜装置的构成。通过从涂敷部(113)将液体涂敷在配置于处理室内的基板(100)上而在基板上形成膜的成膜装置具有:划分处理室(107)的壁(107a、107b、107d等)、将涂敷部(113)输送到处理室的第一输送部(105)、基板载物台(103),上述处理室(107)以至少由具有上述壁、上述第一输送部及上述载物台的部位形成闭合空间的形式构成。根据这样的构成,可缩小载物台与涂敷部的距离。因此,可缩小处理室的容量,容易进行内部气氛的控制。例如,在用惰性气体清洗其内部时,可减少清洗所需的时间,还可减小所使用的惰性气体量。

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