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公开(公告)号：CN114504344A
公开(公告)日：2022-05-17
申请号：CN202111347427.5
申请日：2021-11-15
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明公开了压电致动器、超声波元件、超声波探针以及超声波装置，能够抑制不必要的频率的振动的出现。压电致动器具备：振动板，具有将设置于基板的开口部封闭的第一面和设置有多个压电元件的第二面；抑制部，抑制振动板的振动；以及多个立壁，从第一面向开口部延伸，在将第一电极、压电体层以及第二电极重叠的部分设为压电元件的有源部时，在从第一电极、压电体层以及第二电极的层叠方向俯视观察时，立壁设置于相邻的有源部之间，在与层叠方向正交的面内，相邻的立壁间的距离大于相邻的有源部间的距离。
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公开(公告)号：CN105403207A
公开(公告)日：2016-03-16
申请号：CN201510556719.8
申请日：2015-09-02
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 古畑诚
IPC: G01C19/5656
CPC classification number: G01C19/574 , G01C19/5656
Abstract: 本发明提供一种具有优异检测精度的物理量传感器元件以及具备所涉及的物理量传感器元件的物理量传感器、电子设备以及移动体。物理量传感器元件(1)具备：两个驱动部(24)，其呈沿XY平面的板状并在Z轴方向上振动；两个检测部(21)；四个梁部(25)，其对一方的驱动部(24)和一方的检测部(21)进行连接，并对另一方的驱动部(24)和另一方的检测部(21)进行连接；连结部(28)，其一端部被连接在一方的驱动部(24)的内侧的部分上，另一端部被连接在另一方的驱动部(24)的内侧的部分上，各个驱动部(24)具有梁部(29)，所述梁部(29)与连结部(28)的端部连接，且能够以减少各个驱动部(24)相对于XY平面的姿态变化的方式而变形。
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公开(公告)号：CN105277183A
公开(公告)日：2016-01-27
申请号：CN201510316544.3
申请日：2015-06-10
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 古畑诚
IPC: G01C19/5656
CPC classification number: G01C19/5747 , G01C19/5733 , G01C19/5769 , Y10T29/49119 , G01C19/5656
Abstract: 本发明提供一种具有较高的检测灵敏度的功能元件、该功能元件的制造方法、具备该功能元件的电子设备以及移动体。功能元件(100)的特征在于，具备：第一基体(10)；连接部(22)，其与第一基体(10)连接；支承体(20)，其从连接部(22)延伸；质量体(60)，其与支承体(20)连接；驱动电极(27)，其被设置在第一基体(10)的与质量体(60)对置的面一侧；检测可动电极(40)，其从支承体(20)延伸；检测固定电极(50)，其与第一基体(10)连接且与检测可动电极(40)的至少一部分的面对置，质量体(60)能够在与质量体(60)的主面交叉的方向上进行位移，在将第一基体(10)与质量体(60)之间的距离设为d1、将第一基体(10)与检测固定电极(50)之间的距离设为d2时，d1＞d2。
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公开(公告)号：CN104034323A
公开(公告)日：2014-09-10
申请号：CN201410077448.3
申请日：2014-03-04
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 古畑诚
IPC: G01C19/574
CPC classification number: G01C19/574
Abstract: 本发明提供一种陀螺传感器、电子设备以及移动体，其能够抑制同相模式对振动模式的影响。本发明涉及的陀螺传感器具备：振动体；沿第一轴方向延伸且与所述振动体连接的第一弹簧结构部；沿着所述第一轴方向并排设置且相互反相地进行驱动振动的第一和第二振动部；沿着所述第一轴的方向延伸并与所述第一和第二振动部连接的第二弹簧结构部，所述第一弹簧结构部的第一弹簧常数K1小于，从对所述第二弹簧结构部的两端之间的长度进行二等分的中间点起至所述第二弹簧结构部的一端的范围内的第二弹簧常数K2。
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公开(公告)号：CN102025341B
公开(公告)日：2014-01-01
申请号：CN201010277937.5
申请日：2010-09-08
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: H03H9/21 , H03H9/0547 , H03H9/1021
Abstract: 本发明提供一种可在确保耐冲击性的同时抑制Q值下降的振动片、振子、振荡器及电子设备。压电振动片具有所谓音叉型的外形，具有基部、和从基部的一端侧分成两股并列地延伸的一对振动臂。各振动臂具有：窄幅部，其是振动臂的两个侧面之间的宽度较窄的部分；宽幅部，在与基部连接的根部部分，从窄幅部朝向基部侧，两个侧面之间的宽度逐渐变宽，并在与基部的连接根部成为最大宽度。在各振动臂的两个主面沿着长度方向设有有底的长槽。各长槽形成为宽幅部的堤岸部(25)的宽度(t2)与堤岸部(25’)的宽度(t2’)之和，比窄幅部的堤岸部(25)的宽度(t1)与堤岸部(25’)的宽度(t1’)之和小。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103363982A
公开(公告)日：2013-10-23
申请号：CN201310113198.X
申请日：2013-04-02
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 古畑诚
IPC: G01C19/5755
CPC classification number: G01C19/56 , G01C19/5747
Abstract: 本发明涉及陀螺传感器、电子设备以及移动体。该陀螺传感器等在两个振动体以反相而振动的驱动系统中，能够在不阻碍相互间的振动能量的交换的条件下防止粘着，其包括：基体；振动体；设置在所述基体上的第1固定部以及第2固定部；弹簧部，其从所述第1固定部到所述振动体在沿着第1轴的方向上延伸；驱动部，其激励所述振动体；检测部，其设置于所述振动体上，所述振动体在俯视观察时具有：第1和第2振动体，其在沿着所述第1轴的方向上并排设置且相互反相地驱动振动；连结弹簧部，其在沿着所述第1轴的方向上连结所述第1和第2振动体，第1弹性体，其从所述连结弹簧部起在沿着与所述第1轴交叉的第2轴的方向上延伸并被固定在所述第2固定部上。
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公开(公告)号：CN102035499A
公开(公告)日：2011-04-27
申请号：CN201010502124.1
申请日：2010-09-30
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: H03H9/215 , H03H9/0547 , H03H9/1021
Abstract: 本发明提供振动片、振子、振荡器以及电子设备，抑制了因热弹性损失引起的Q值的降低，提高了弯曲振动的效率。振动臂部在一方的主面上具有沿着振动臂部的第1方向设置的第1槽部，在另一方的主面上具有第2槽部和第3槽部，该第2槽部在第2方向上与第1槽部并列地设置，该第3槽部在第1方向上与第1槽部并列地设置，且相比于第1槽部，被设置在基部侧，在一方的主面上具有第4槽部，该第4槽部在第1方向上与第2槽部并列地设置，且相比于第2槽部，被设置在基部侧，第1槽部的深度与第2槽部的深度之和、以及第3槽部的深度与第4槽部的深度之和大于一方的主面与另一方的主面之间的距离。
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公开(公告)号：CN100474769C
公开(公告)日：2009-04-01
申请号：CN200510135036.1
申请日：2005-12-21
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 表面声波器件和表面声波器件的制造方法。本发明的课题是提供一种表面声波器件和表面声波器件的制造方法，在半导体基板上具有IC区域和表面声波元件区域并构成为一个芯片，能够确保形成表面声波元件的部分的平坦度，获得良好的特性。表面声波器件(1)在半导体基板上具有IC区域和表面声波元件区域并构成为一个芯片，在表面声波元件区域的半导体基板(30)上及元件绝缘膜(32)上而且形成有表面声波元件(24)的区域的下方，形成与IDT电极(22)的电极指(21)大致平行而且是相同间距P的线状的层厚度调整膜(32、35)。
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公开(公告)号：CN1291373A
公开(公告)日：2001-04-11
申请号：CN99803151.8
申请日：1999-09-08
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H02N2/00
CPC classification number: H01L41/0913 , H02N2/004 , H02N2/103
Abstract: 层叠了压电元件和增强板的长方形板状的振动板10由支撑部件11支撑在底板上,同时,利用支撑部件11的弹性力朝向转子100一侧加弹性力。由此,使被设置在振动板10上的凸起部36与转子100的外周面相接。在该结构中,如果振动板10利用来自未图示的驱动电路的施加电压在图中左右方向上振动,则伴随因该振动引起的凸起部36的位移,使转子100在顺时针方向上旋转。
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