表面声波装置的制造方法及表面声波装置

    公开(公告)号:CN100505532C

    公开(公告)日:2009-06-24

    申请号:CN200510132693.0

    申请日:2005-12-20

    Abstract: 提供表面声波装置的制造方法及表面声波装置。在半导体基板上具备IC区域与表面声波元件区域并构成为一个芯片的表面声波装置中,能够确保形成表面声波元件部分的平坦性,得到特性良好的表面声波装置的制造方法及表面声波装置。该方法具备:在半导体基板的IC区域形成半导体元件层(45)的工序;形成布线层(46)的工序;在IC区域及表面声波元件区域形成层间绝缘膜(38)的工序;对层间绝缘膜(38)的表面进行化学机械抛光处理的工序;在化学机械抛光处理过的层间绝缘膜(38)上形成压电薄膜(39)的工序;以及在表面声波元件区域中的压电薄膜(39)上形成表面声波元件(40)的工序。

    表面声波器件和表面声波器件的制造方法

    公开(公告)号:CN1794573A

    公开(公告)日:2006-06-28

    申请号:CN200510135036.1

    申请日:2005-12-21

    Abstract: 表面声波器件和表面声波器件的制造方法。本发明的课题是提供一种表面声波器件和表面声波器件的制造方法,在半导体基板上具有IC区域和表面声波元件区域并构成为一个芯片,能够确保形成表面声波元件的部分的平坦度,获得良好的特性。表面声波器件(1)在半导体基板上具有IC区域和表面声波元件区域并构成为一个芯片,在表面声波元件区域的半导体基板(30)上及元件绝缘膜(32)上而且形成有表面声波元件(24)的区域的下方,形成与IDT电极(22)的电极指(21)大致平行而且是相同间距P的线状的层厚度调整膜(32、35)。

    电光装置、电光装置的制造方法以及电子设备

    公开(公告)号:CN109087933B

    公开(公告)日:2023-09-22

    申请号:CN201810776022.5

    申请日:2014-05-30

    Abstract: 本发明提供一种电光装置、电光装置的制造方法以及电子设备。电光装置具有第一像素、第二像素。第一像素、第二像素包含反射层、绝缘层、功能层、以及对置电极。绝缘层包含第一绝缘层、第二绝缘层、第三绝缘层。在第二绝缘层设置第一开口。在第一开口中将第一像素电极设置在第一绝缘层上。在第三绝缘层设置有第二开口。在第二开口中将第二像素电极设置在第二绝缘层上。本发明能够按照每个像素取出所希望的共振波长的光,并具有优良的光学特性。

    电光装置、电光装置的制造方法以及电子设备

    公开(公告)号:CN109087933A

    公开(公告)日:2018-12-25

    申请号:CN201810776022.5

    申请日:2014-05-30

    Abstract: 本发明提供一种电光装置、电光装置的制造方法以及电子设备。电光装置具有第一像素、第二像素。第一像素、第二像素包含反射层、绝缘层、功能层、以及对置电极。绝缘层包含第一绝缘层、第二绝缘层、第三绝缘层。在第二绝缘层设置第一开口。在第一开口中将第一像素电极设置在第一绝缘层上。在第三绝缘层设置有第二开口。在第二开口中将第二像素电极设置在第二绝缘层上。本发明能够按照每个像素取出所希望的共振波长的光,并具有优良的光学特性。

    表面声波器件和表面声波器件的制造方法

    公开(公告)号:CN100474769C

    公开(公告)日:2009-04-01

    申请号:CN200510135036.1

    申请日:2005-12-21

    Abstract: 表面声波器件和表面声波器件的制造方法。本发明的课题是提供一种表面声波器件和表面声波器件的制造方法,在半导体基板上具有IC区域和表面声波元件区域并构成为一个芯片,能够确保形成表面声波元件的部分的平坦度,获得良好的特性。表面声波器件(1)在半导体基板上具有IC区域和表面声波元件区域并构成为一个芯片,在表面声波元件区域的半导体基板(30)上及元件绝缘膜(32)上而且形成有表面声波元件(24)的区域的下方,形成与IDT电极(22)的电极指(21)大致平行而且是相同间距P的线状的层厚度调整膜(32、35)。

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