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公开(公告)号：CN104373372A
公开(公告)日：2015-02-25
申请号：CN201410348452.9
申请日：2014-07-21
Applicant: 株式会社岛津制作所
Inventor： 小崎纯一郎
IPC: F04D29/058
CPC classification number: F04D19/048 , F04D19/042 , F04D27/001 , F04D29/058 , F16C32/0446 , F16C32/0451 , F16C32/0489 , F16C2360/45
Abstract: 本发明提供一种可谋求提高移位信息的S/N比的磁性轴承装置以及真空泵。在本发明的磁性轴承装置中，以相对于施加至X1轴的传感器(71x)的第一载波信号相位存在(π/2+θ)弧度的差异的方式设定施加至Y1轴的传感器(71y)的第二载波信号，且在从第一载波信号成为波峰的时点偏移相位θ后的取样时点，对从第一传感器(71x)输出的第一调制信号进行取样，并且在从第二载波信号成为波峰的时点偏移相位(-θ)后的取样时点，对从第二传感器(71y)输出的第二调制信号进行取样。其结果为，可去除因邻接轴的干涉而产生的噪声成分。
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公开(公告)号：CN103967830A
公开(公告)日：2014-08-06
申请号：CN201410027391.6
申请日：2014-01-21
Applicant: 普发真空有限公司
IPC: F04D29/058 , F04D19/04 , B05D1/02 , B05D3/06
CPC classification number: F04D19/048 , B05D1/002 , B05D1/02 , B05D3/0493 , F01D5/06 , F16C32/0425 , F16C32/0468 , F16C2360/45 , H02K1/22
Abstract: 本发明涉及转子磁轴承、对其磁环涂覆和/或涂漆的方法及真空泵，所述转子磁轴承被布置在转子上，其中所述磁轴承的磁环被布置在转子上的、为该磁环所设置的位置处，并且其中所述磁环的暴露的表面随后被涂覆和/或涂漆。此外本发明涉及一种转子磁轴承，其根据本发明的方法被涂覆和/或涂漆，和一种包含至少一个这种转子的真空泵。
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公开(公告)号：CN102425563A
公开(公告)日：2012-04-25
申请号：CN201110407350.6
申请日：2011-12-08
Applicant: 北京中科科仪技术发展有限责任公司 , 清华大学
CPC classification number: F04D27/001 , F04D19/042 , F04D19/048 , F04D27/00 , F04D29/058 , F04D29/58 , F04D29/661 , F04D29/668
Abstract: 本发明公开了一种同步抑制磁悬浮分子泵转子次临界振动的方法，通过对磁悬浮分子泵转子跌落后产生的转子次临界振动信号进行同步采样获得转子次临界振动的幅值、频率和相位，并据此输出补偿力抑制转子次临界振动。该方法实现了对次临界振动信号的准确同步，可快速实现对所述转子次临界振动的抑制。
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公开(公告)号：CN101243263B
公开(公告)日：2010-08-11
申请号：CN200680030408.7
申请日：2006-08-18
Applicant: 梅科斯特拉克斯勒股份公司
CPC classification number: F16C32/047 , F04D19/048 , F04D25/0693 , F04D29/058 , F16C32/0457 , F16C32/0461 , F16C32/0489 , F16C35/00 , F16C2360/44 , F16C2360/45
Abstract: 本发明公开一种磁悬浮轴承装置(1)，其具有穿过其外壳(10)且经过改进的真空密封电馈通。该馈通(30)包括诸如刚性或柔性印刷电路板之类的扁平连接元件(31)，所述连接元件(31)优选地一直沿所述外壳的内周延伸穿过所述外壳(10)的壁。所述连接元件以气密方式密封至所述外壳。所述元件优选地具有用于容纳所述转子轴的中央孔口(36)。到轴承单元和传感器的连接可通过扁平带状线缆(51)或柔性印刷电路来实现。所述传感器也优选地设置成印刷传感器。因此能够获得非常紧凑且成本低廉的磁悬浮轴承装置。可替代实施方式中将所述外壳的侧壁上的连接元件用作到轴承部件的馈通。
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