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公开(公告)号:CN103567914B
公开(公告)日:2015-12-02
申请号:CN201310342008.1
申请日:2013-08-07
Applicant: 龙云株式会社
Inventor: 田边雅明
Abstract: 本发明的吸附平台,其目的在于不使极薄的板片状工件的表面产生凹凸的情况下,整面齐平地加以抽吸。吸附平台(1),以设定于保持面(1A)的吸附部抽吸并吸附极薄的板片状工件。本发明的吸附平台具有吸附沟(10)、多个下孔(20)以及多个连通沟(30)。吸附沟(10)形成于保持面(1A)的吸附部,以多个纵向沟(11)及多个横向沟(12)而形成为格子状。多个下孔(20)形成于与保持面(1A)相反侧的面(1B)中对应于吸附部的区域的适当处,且形成在吸附沟(10)的正下方。多个连通沟(30)以与吸附沟(10)大致相同的沟宽,沿着吸附沟(10)形成,连接于多个下孔(20)的各自的上端,使下孔与吸附沟连通。
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公开(公告)号:CN103567914A
公开(公告)日:2014-02-12
申请号:CN201310342008.1
申请日:2013-08-07
Applicant: 龙云株式会社
Inventor: 田边雅明
CPC classification number: B25B11/005
Abstract: 本发明的吸附平台,其目的在于不使极薄的板片状工件的表面产生凹凸的情况下,整面齐平地加以抽吸。吸附平台(1),以设定于保持面(1A)的吸附部抽吸并吸附极薄的板片状工件。本发明的吸附平台具有吸附沟(10)、多个下孔(20)以及多个连通沟(30)。吸附沟(10)形成于保持面(1A)的吸附部,以多个纵向沟(11)及多个横向沟(12)而形成为格子状。多个下孔(20)形成于与保持面(1A)相反侧的面(1B)中对应于吸附部的区域的适当处,且形成在吸附沟(10)的正下方。多个连通沟(30)以与吸附沟(10)大致相同的沟宽,沿着吸附沟(10)形成,连接于多个下孔(20)的各自的上端,使下孔与吸附沟连通。
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公开(公告)号:CN101275859B
公开(公告)日:2010-12-08
申请号:CN200810086186.1
申请日:2008-03-18
Applicant: 龙云株式会社
IPC: G01D5/34
CPC classification number: G01D5/34746 , G01D5/36
Abstract: 一种位置探测装置,其包含刻度尺,传感器和控制部分。刻度尺具有沿着活动部分移动方向的在间隔处设置的多个光发射元件。传感器,其安装在部件上,探测来自事先指定范围内的至少一个元件的光,其中该范围比最大的一个间隔长,并以在探测范围内接收到光的位置为依据,输出光接收信号。控制部分单独地驱动元件,接收来自传感器的信号,并具有存储部分,用于存储刻度尺内元件位置的信息。在接收信号后,控制部分从存储部分中得到关于正在被驱动着的一个光发射元件所处位置的信息,并基于得到的信息和接收到的信号,计算部件的位置。
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公开(公告)号:CN100537050C
公开(公告)日:2009-09-09
申请号:CN200510003475.7
申请日:2005-11-29
Applicant: 东京応化工业株式会社 , 龙云株式会社
Abstract: 本发明提供一种在空间上是有利的,可连续地将涂敷液涂敷在玻璃基板上的涂敷装置。在基台(1)上设置有一对平行导轨(2、2),在该一对平行导轨(2、2)之间的中央配置有基板载置工作台(3),第1及第2门型移动机构(4、5)以平面上观察与上所述导轨正交的基板载置工作台的宽度方向中心线为基准、左右对称地架设在上述导轨之间并可独立行走,在该第1及第2门型移动机构(4、5)上可升降地保持有狭缝喷嘴(6、7)。
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公开(公告)号:CN100500303C
公开(公告)日:2009-06-17
申请号:CN200510081789.9
申请日:2005-05-20
Applicant: 东京応化工业株式会社 , 龙云株式会社
Abstract: 本发明提供了一种能有效对加注辊进行粗洗和精洗的狭缝涂布机预备排出装置。附着有涂布液的加注辊向顺时针方向旋转,淋洗嘴向加注辊表面供给循环液,再用涂刷器刮落,潜入储存的洗涤液中,用第二个涂刷器刮落顽固的附着物。最后,用新液淋洗嘴冲洗干净,在新液淋洗嘴的上方,从干燥气体喷嘴中吹出干燥气体,吹开洗涤液,使加注辊的表面干燥。因这时也进行排气,排气也能促进干燥。
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