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公开(公告)号：CN102460643B
公开(公告)日：2015-06-17
申请号：CN201080026613.2
申请日：2010-04-19
Applicant: 龙云株式会社
IPC: H01L21/027 , B05C5/02 , B05C11/10 , B05C13/02
CPC classification number: B05C5/0262 , B05C5/0258 , B05C11/1013 , B05C11/1015 , B05C11/1023
Abstract: 提供一种在狭缝喷嘴涂布机的涂布中，可降低在涂布开始部及涂布结束部产生的膜厚不均区域的基板用涂布装置。基板用涂布装置(10)至少具有：滑块驱动用电机(4)、泵(8)、排出状态量测量部(82)及控制部(5)。滑块驱动用电机(4)使狭缝喷嘴(1)相对基板(100)以设定的速度相对扫描。泵(8)控制对狭缝喷嘴(1)的涂布液的供给量。排出状态量测量部(82)构成为，测量表示涂布液从狭缝喷嘴(1)的前端的排出状态的状态量。控制部(5)根据差分信息校正提供到滑块驱动用电机(4)的控制信息，以消除差分，上述差分信息表示提供到泵(8)的控制信息与从排出状态量测量部(82)提供的测量信息的差分。
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公开(公告)号：CN102387868B
公开(公告)日：2015-04-29
申请号：CN201080012714.4
申请日：2010-03-12
Applicant: 龙云株式会社
IPC: B05C5/02 , B05C11/10 , H01L21/027
CPC classification number: B05C11/1007 , B05B12/082 , B05C5/0258 , B05C11/1005
Abstract: 本发明能够即时且高精度地调整基板的表面上的涂敷液的涂敷量，并能够减少涂敷开始时和涂敷结束时产生的膜厚不均匀区域。基板用涂敷装置(10)具有狭缝喷嘴(1)、第一相机(3)、第二相机(4)、控制部(5)、泵(8)以及调压室(9)。控制部(5)根据第一相机(3)拍摄的涂道形状与基准形状的比较结果，控制从泵(8)向狭缝喷嘴(1)供给的涂敷液的供给量。此外，控制部(5)根据由第二相机(4)拍摄的图像测定到的距离与基准距离的比较结果，控制调压室(9)产生的狭缝喷嘴(1)的上游侧的气压。
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公开(公告)号：CN101130184B
公开(公告)日：2013-03-20
申请号：CN200710142030.6
申请日：2007-08-20
Applicant: 东京应化工业株式会社 , 龙云株式会社
Abstract: 本发明提供一种涂敷装置，其具有当狭缝喷嘴进行涂敷而移动时能抑制起伏的构造。在为了对放置于载台(2)上的玻璃衬底(W)涂敷涂敷液，而从狭缝喷嘴(10)向衬底(W)的表面喷出涂敷液，同时利用线性马达使移动体(3)移动时，由于驱动装置(11)的重心(G1)位于比狭缝喷嘴(10)的重心(G2)低的位置，所以能抑制移动体(3)沿着轨道(4、4)在水平方向移动时产生的起伏(上下动)，从而可以稳定地进行涂敷。
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公开(公告)号：CN102687240A
公开(公告)日：2012-09-19
申请号：CN201080059809.1
申请日：2010-06-03
Applicant: 龙云株式会社
IPC: H01L21/027 , B05C5/02 , B05C13/00 , B05D3/00
CPC classification number: B05C13/02 , B05C5/0208 , B05C5/0216 , B05C5/0254 , B05C5/0283 , H01L21/6715 , H01L21/6776
Abstract: 基板用涂布装置(10)具有：精密载物台(7)、喷嘴(8)、传送带(3~6、21)。精密载物台(7)水平设置有放置基板W的放置面，沿着传送方向在上游端和下游端之间自由往返移动。传送带(3~6、21)以基板W的表面位于水平面内的方式沿着规定的传送方向经由精密载物台(7)的放置面传送基板W。中间传送带(21)在传送面与载物台的放置面一致的传送位置、和传送面比载物台的放置面靠下方的非传送位置之间自由升降。
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公开(公告)号：CN101130184A
公开(公告)日：2008-02-27
申请号：CN200710142030.6
申请日：2007-08-20
Applicant: 东京应化工业株式会社 , 龙云株式会社
Abstract: 本发明提供一种涂敷装置，其具有当狭缝喷嘴进行涂敷而移动时能抑制起伏的构造。在为了对放置于载台(2)上的玻璃衬底(W)涂敷涂敷液，而从狭缝喷嘴(10)向衬底(W)的表面喷出涂敷液，同时利用线性马达使移动体(3)移动时，由于驱动装置(11)的重心(G1)位于比狭缝喷嘴(10)的重心(G2)低的位置，所以能抑制移动体(3)沿着轨道(4、4)在水平方向移动时产生的起伏(上下动)，从而可以稳定地进行涂敷。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1812073A
公开(公告)日：2006-08-02
申请号：CN200510137331.0
申请日：2005-11-29
Applicant: 东京応化工业株式会社 , 龙云株式会社
IPC: H01L21/68
Abstract: 提供一种即使基板大型化也不损伤基板的、能够正确定位的定位装置。在使滑动部件(6)后退的状态下，通过使压力缸单元(2)工作，使支持部件(3)上升，在浮起部件(8)的接受部分(11)的上面接受基板(W)，然后，通过使压力缸单元(2)工作以使支持部件(3)下降，基板(W)和对准部件(5)的滑动部件(6)处于同一水平，通过切换阀，浮起部件(8)的配管(12)与压缩空气源连接，从浮起部件(8)的接受部分(11)上面的槽(16、17)喷出空气，基板(W)从接受部分(11)的上面浮起，使对准部件(5)的滑动部件(6)前进，推杆(7)与基板(W)的边缘接触以进行定位。
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公开(公告)号：CN1701860A
公开(公告)日：2005-11-30
申请号：CN200510081789.9
申请日：2005-05-20
Applicant: 东京応化工业株式会社 , 龙云株式会社
Abstract: 本发明提供了一种能有效对加注辊进行粗洗和精洗的狭缝涂布机预备排出装置。附着有涂布液的加注辊向顺时针方向旋转，淋洗嘴向加注辊表面供给循环液，再用涂刷器刮落，潜入储存的洗涤液中，用第二个涂刷器刮落顽固的附着物。最后，用新液淋洗嘴冲洗干净，在新液淋洗嘴的上方，从干燥气体喷嘴中吹出干燥气体，吹开洗涤液，使加注辊的表面干燥。因这时也进行排气，排气也能促进干燥。
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公开(公告)号：CN1408514A
公开(公告)日：2003-04-09
申请号：CN02144076.X
申请日：2002-09-29
IPC: B25J9/06
CPC classification number: B25J9/1615 , G05B2219/39236 , G05B2219/39251 , G05B2219/40234
Abstract: 在一个具有多个臂的工业机器人中，各个臂与其它组件、例如一个安装基座、另一个臂、一个机械手连接，并且借助旋转关节的运动而旋转。一个用于使旋转关节运动的马达、一个用于感知马达驱动轴的旋转角度的编码器、一个用于控制马达的驱动的控制电路设置在同一个臂上。一个用于向控制电路传输编码器的感知信号的信号电缆端接于同一个臂的控制电路上。其中，不需要配列从编码器到设置于安装基座中的主控制电路的信号电缆。
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公开(公告)号：CN112295757B
公开(公告)日：2022-11-18
申请号：CN202010750978.5
申请日：2020-07-30
Applicant: 龙云株式会社 , 地方独立行政法人大阪产业技术研究所
IPC: B05B1/00
Abstract: 提供一种涂布喷嘴及涂布装置，涂布喷嘴具备具有缝隙状的喷出口的喷嘴主体、缝隙部及流路。缝隙部设置于喷嘴主体内，延伸至喷出口。流路在喷嘴主体内与缝隙部的上游端的至少1个部位直接连结，向缝隙部供给涂布液。涂布装置具备上述涂布喷嘴，从该涂布喷嘴喷出涂布液而在涂布对象的表面形成涂布膜。
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公开(公告)号：CN114068295A
公开(公告)日：2022-02-18
申请号：CN202011260440.2
申请日：2020-11-12
Applicant: 株式会社Quark科技 , 龙云株式会社
Inventor： 中村胜
Abstract: 本发明提供一种杀菌灯。杀菌灯具备：放电管、接地电极部、高电压电极部、安全罩及遮光部。放电管由用于生成准分子光的放电用气体充满。接地电极部及高电压电极部通过在放电管内产生放电而激励放电用气体。安全罩由电绝缘性的有机材料形成，覆盖高电压电极部。遮光部由电绝缘性的无机材料形成，通过夹设于放电管与安全罩之间而切断从放电管朝向安全罩的准分子光。
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