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公开(公告)号：CN104267597B
公开(公告)日：2016-08-24
申请号：CN201410448517.7
申请日：2014-09-04
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 超精密运动平台机械谐振的抑制方法，属于运动平台机械谐振的抑制领域。为了解决目前的超精密运动平台的机械谐振抑制效果差的问题。包括：根据运动平台的宏微耦合力学模型，建立六自由度精密运动平台y向宏微耦合的模型；采用自适应实数编码遗传算法辨识出建立的宏微耦合模型的未知参数，进而分别建立宏动台和微动台的机械谐振模型，再采用自适应实数编码遗传算法辨识出机械谐振模型中未知参数，获得宏动台的4个机械谐振模型和微动台的2个机械谐振模型；进而获得宏动台的4个陷波器和微动台的2个陷波器；将宏动台的4个陷波器和宏动台串联，将微动台的2个陷波器和微动台串联，完成宏动台和微动台机械谐振的抑制。它用于抑制运动平台机械谐振。
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公开(公告)号：CN105068386A
公开(公告)日：2015-11-18
申请号：CN201510561426.9
申请日：2015-09-07
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 一种双工件台系统安全保护方法，它属于半导体制造装备的技术领域。它的方法步骤一：在多个多路运动控制卡内分别设置多组字节大小的双口RAM；二：多个多路运动控制卡中的FPGA以200us采样周期，通过VME工控机中的VME自定义总线从信号采集卡获取各电机的位置信息，并存放在相应的双口RAM内；三：嵌入式主控CPU板通过VME总线获取各多路运动控制卡内各电机的位置及位置误差信息；四：上位机通过以太网接收来自嵌入式主控CPU板的数据，并判断数据类型，当该数据为故障代码时，弹出对话框，提示用户出现故障，并显示故障代码。本发明基于VxWorks操作系统与VME总线工作，在系统某一机构发生故障时，利用软件使本机构和其他机构停止运行，保障了双工件台系统的安全运行。
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公开(公告)号：CN104950768A
公开(公告)日：2015-09-30
申请号：CN201510353871.6
申请日：2015-06-24
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G05B19/042
CPC classification number: G05B19/042
Abstract: 基于VME总线的光刻机双工件台控制系统多板卡通信方法，属于高精度运动控制领域的多板卡之间控制和通信领域，本发明为解决现有多块不同类型板卡与工控机之间实时同步性能差，以及多块板卡之间数据无法交互的问题。本发明应用VME总线模块，将主控CPU板作为VME总线的主设备，其他板卡作为从设备，主设备可通过驱动地址线来选择不同的从设备进行数据交互，然后将工控机通过网口与主控制卡连接，从而实现工控机实时的对各个板卡进行指令传送和数据监控。不同板卡之间的通信则是以主控制卡作为桥梁进行，主控CPU板首先驱动地址线选中需要发送数据的板卡，并将数据读取出来，然后再将此数据发送到另一块需要接收此数据的板卡中。
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公开(公告)号：CN104360639A
公开(公告)日：2015-02-18
申请号：CN201410469166.8
申请日：2014-09-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G05B19/414
CPC classification number: G05B19/414
Abstract: 基于VME自定义总线的多运动控制卡实时同步读取光栅尺数据的方法，属于运动控制的信号采集与数据通信技术领域。为了解决多运动控制卡同时读取光栅尺数据时，存在竞争冒险、相互干扰和实时同步性能差的问题。方法包括：单一运动控制卡输出同步时钟信号，当VME自定义总线产生的读信号为低电平，发送所需光栅尺数据的地址，并通过VME自定义总线接收相应地址发送的光栅尺数据的步骤；其他运动控制卡读取同步时钟信号，当同步时钟信号为上升沿，获取所需光栅尺数据的地址，且与单一运动控制卡同步接收相应地址发送的光栅尺数据的步骤；当VME自定义总线接收到时钟信号时，生成采样保持信号、读取信号和地址信号的步骤。它用于控制多运动控制卡实时同步读取光栅尺数据。
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公开(公告)号：CN104133802A
公开(公告)日：2014-11-05
申请号：CN201410400093.7
申请日：2014-08-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 双工件台扫描光刻机的Vxworks嵌入式操作系统和运动控制卡间的数据交换方法，属于两个物理板卡或两个系统之间的数据交换技术领域。本发明是为了解决现有双工件台扫描光刻机的操作系统与运动控制卡在进行数据交换时，存在DSP和Vxworks同时读写同一块内存，导致数据交换效率低的问题。它采用FPGA的双口RAM的两个数据区用来交替保存向上位机发送的数据，Vxworks读板卡任务监测两个数据区的写满标志位，在写满标志位置0时，表示读数据任务完成，Vxworks的读板卡任务实时监控数据区的写满标志寄存器，发现哪一块数据区写满就读哪一块数据。本发明用于Vxworks嵌入式操作系统和运动控制卡间的数据交换。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN119065247B
公开(公告)日：2025-05-13
申请号：CN202411175934.9
申请日：2024-08-26
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G05B13/04
Abstract: 一种面向超精密运动系统的连续时间模型闭环辨识方法，涉及超精密运动辨识技术领域。利用轨迹生成器生成超精密运动系统在k时刻下的期望运动轨迹，期望运动轨迹减去闭环位移输出的实际运动轨迹得到位置伺服误差，位置伺服误差输入反馈控制器，反馈控制器的输出作为超精密运动系统的输入，闭环辨识器包括零阶保持器和参数估计器，输入为反馈控制器的输出以及实际运动轨迹在k时刻下的离散时间信号，输出为超精密运动系统的连续时间模型的辨识模型，利用参数估计器中内置的参数估计算法进行参数估计。更适用于超精密运动系统的辨识，同时提供了更安全的闭环辨识实验环境。
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公开(公告)号：CN119382570A
公开(公告)日：2025-01-28
申请号：CN202411408146.X
申请日：2024-10-10
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于相移有理基的直线磁阻电机单频磁滞非线性建模方法，涉及超精密运动控制技术领域。首先对直线磁阻电机的输入电流与输出磁通之间的磁滞环进行机理分析，基于相移有理基进行建模，然后对直线磁阻电机的输入电流与输出磁通之间的磁滞现象进行分解，将其分为上升部分和下降部分，最后用最小二乘算法进行参数估计。能够简化磁滞模型的复杂度，减少磁滞模型的待辨识参数，降低磁滞模型的辨识难度，能够更加准确的对转折点处的磁滞现象进行建模，提高直线磁阻电机磁滞模型的精度。
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公开(公告)号：CN119382569A
公开(公告)日：2025-01-28
申请号：CN202411408143.6
申请日：2024-10-10
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于相移有理基的直线磁阻电机率相关磁滞建模方法，涉及超精密运动控制技术领域。首先对直线磁阻电机的输入电流与输出磁通之间的磁滞环进行机理分析，基于相移有理基进行建模，然后对直线磁阻电机的输入电流与输出磁通之间的磁滞现象进行分解，将其分为上升部分和下降部分，最后用最小二乘算法进行参数估计，得到完整的直线磁阻电机率相关磁滞模型。能够更加准确的对转折点处的磁滞现象进行建模，提高直线磁阻电机磁滞模型的精度，同时增加了率相关因子，符合磁滞率相关特性。
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公开(公告)号：CN118068656B
公开(公告)日：2024-10-18
申请号：CN202410208941.8
申请日：2024-02-26
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明公开了一种基于不确定性补偿的超精密光刻装备学习控制系统及方法，所述系统包括运动轨迹生成部分、学习控制部分、反馈控制部分和不确定性补偿部分，运动轨迹生成部分包括运动轨迹生成器Cr，运动轨迹生成器Cr产生参考运动轨迹yd(t)，yd(t)减去位置测量信号yε,k(t)得到位置误差信号ek(t)，ek(t)输入给学习控制部分，学习控制部分产生前馈信号eff,k(t)，eff,k(t)与ek(t)相加得到修正误差信号efb,k(t)，efb,k(t)输入给反馈控制部分，反馈控制部分包括反馈控制器Cfb，反馈控制器Cfb产生反馈控制量ufb,k(t)，ufb,k(t)输入给不确定性补偿部分，不确定性补偿部分产生位置测量信号yε,k(t)。本发明能够有效减少模型不确定性对学习性能的影响，同时可有效补偿外部随机扰动，设计简单，具有较强实际应用价值。
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公开(公告)号：CN116560305B
公开(公告)日：2023-10-03
申请号：CN202310698169.8
申请日：2023-06-13
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G05B19/414
Abstract: 多轴运动台高速精密控制装置及方法，涉及多轴运动台高速精密控制领域，是为了解决现有光刻机多轴运动台的控制精度和速度不足，以及不同板卡之间通信相互干扰的问题。本发明提供的多轴运动台高速精密控制装置及方法，通过以太网进行数据交互和参数设置，通过VME总线进行命令处理，通过SRIO总线进行数据处理，将控制命令和数据处理进行分开操作，使得控制协议简单并实现逻辑设计简化，有效的避免采用统一的VME总线处理命令和数据所带来的复杂程序设计工作。SRIO总线相比于传统的VME总线，此外，多核的处理器保证了一核多轴的控制，避免了多板卡之间通信时相互干扰。本发明适用于多轴运动台的高速精密控制。
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