一种激光辅助金刚石划切加工系统

    公开(公告)号:CN208289228U

    公开(公告)日:2018-12-28

    申请号:CN201820517440.8

    申请日:2018-04-12

    Abstract: 本实用新型为一种激光辅助金刚石划切加工系统,本系统金刚石划切装置的悬臂下端经固定卡具连接金刚石划切头。激光经导引光纤引导至激光头,整形后的激光束聚焦于工件表面,金刚石划切头接触工件表面的点与激光束在工件表面的聚焦点有距离。导引光纤安装于调节结构上的保护壳体内,以便调节激光束。本实用新型的光纤导引的激光束聚焦于工件表面的划切路径上,激光加热工件,使划切部位的材料软化,金刚石划切头紧随激光聚焦光斑,划切加热后强度降低的区域。激光加热后材料强度降低,划切难度降低,且可减少切槽崩边、裂纹缺陷,还可提高加工效率。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

    一种低损伤水雾介导激光生物硬组织治疗装置

    公开(公告)号:CN215273155U

    公开(公告)日:2021-12-24

    申请号:CN202121039173.6

    申请日:2021-05-14

    Abstract: 本实用新型提供一种低损伤水雾介导激光生物硬组织治疗装置,包括激光发生器、高压供气系统、供液系统、控制器、线缆和操作手柄;激光接入操作手柄内的光路系统,并通过出光光纤输出;出光光纤尾端设置激光吸收层,激光吸收层中部开设出光窗口,出光光纤外侧环绕设置有高压液腔,供液系统接入高压液腔;高压液腔底部开设具有一定锥度并指向激光吸收层及其下方的喷嘴,供液系统包括提供电解质溶液的溶液供给系统。本实用新型提出的治疗装置,对水雾颗粒进行两级获能转化为高能状态,克服现有激光治疗装置需采用高成本Er,Cr:YSGG晶体激光器的问题,并能保证较好的激光生物硬组织治疗效果,有效降低治疗过程的损伤。

    一种基于定位耦合的水导激光装置

    公开(公告)号:CN214921373U

    公开(公告)日:2021-11-30

    申请号:CN202023328867.X

    申请日:2020-12-31

    Abstract: 本实用新型公开了一种基于定位耦合的水导激光装置,包括底座、聚焦透镜、喷嘴和定位模块,所述喷嘴同轴安装于底座上;定位模块包括定位圆盘和压盖,定位圆盘同轴安装于底座上,底座与定位圆盘之间形成耦合水腔,耦合水腔中的液体从喷嘴喷出形成水射流;聚焦透镜为球透镜或半球透镜,其同轴安装于定位圆盘内且聚焦透镜的底部悬伸于耦合水腔中,在聚焦透镜与定位圆盘之间设有第一密封圈;压盖设于定位圆盘上并部分与聚焦透镜接触,压盖和定位圆盘以紧固件连接,两者之间设有第二密封圈;平行激光束入射至聚焦透镜,经聚焦透镜、耦合水腔后耦合到水射流中形成水束光纤。本实用新型所述水导激光装置结构简单,可最大限度减少从透镜到水束光纤距离。

    一种基于水导激光的金属表面淬火系统

    公开(公告)号:CN214218791U

    公开(公告)日:2021-09-17

    申请号:CN202023328542.1

    申请日:2020-12-31

    Abstract: 本实用新型提供一种基于水导激光的金属表面淬火系统,包括激光器、光路系统、激光耦合装置,所述光路系统、激光耦合装置沿激光的传输方向依次同轴设置;还包括工作台单元和高压供液系统,所述工作台单元包括可X/Y/Z向移动的工作台,安装于工作台上可放置工件的水槽;所述高压供液系统的进水端连接至水槽,出水端连接至耦合腔输出无级调压高压水流。本实用新型提出一种基于水导激光的金属表面淬火系统,可形成稳定反流型缩流激光水束,获得较长的水束稳定段,能减小水束工作距离对工件位置的限制,可更好地实现复杂曲面工件表面淬火。

    水导激光加工装置
    55.
    实用新型

    公开(公告)号:CN209349685U

    公开(公告)日:2019-09-06

    申请号:CN201822227155.5

    申请日:2018-12-27

    Abstract: 本实用新型公开了一种水导激光加工装置,其光束传输耦合单元包括激光头和相连的旋转套筒、入水腔体、中间腔体、耦合块,激光头上部同轴旋合于旋转套筒,激光头下部置于入水腔体和中间腔体内并对应于耦合块上开设的液层腔,激光头下部内的光束变换腔底部设有自聚焦透镜和球透镜,球透镜通过液层腔与耦合块上开设的喷嘴相对;其高压供液单元输出的高压水经入水腔体、中间腔体和耦合块三级分流后汇集于液层腔形成低压稳流水;其工作台单元设于喷嘴下方,包括三轴联动的工作台,工件的装夹固定台板通过水槽设于工作台上,水槽通过回流管连通高压供液模块。本实用新型提高了光束的传输稳定性,降低了聚焦光束耦合水束光纤调节的难度。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

    一种射流激光复合清洗系统

    公开(公告)号:CN208390517U

    公开(公告)日:2019-01-18

    申请号:CN201820517464.3

    申请日:2018-04-12

    Abstract: 本实用新型为一种射流激光复合清洗系统,本清洗系统包括空化射流装置、激光清洗装置;激光束和空化射流的中心线共面异轴,空化射流于工件表面产生水膜,激光束聚焦于水膜内与工件表面保持距离,空化射流冲击工件基材表面,产生水膜、水膜空化泡破溃冲击清洗基材表面,同时激光聚焦于水膜内,水膜在超热状态爆发沸腾、剧烈汽化,产生蒸汽泡冲击基材表面,延长空化射流的有效作用时间。激光束和空化射流协同作用于工作台上的工件表面进行清洗,效果明显优于现有清洗技术,可清除工件表面直径大于50nm的固体颗粒,满足晶圆基材表面加工要求。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

    一种基于自聚焦镜的水导激光耦合装置

    公开(公告)号:CN218016378U

    公开(公告)日:2022-12-13

    申请号:CN202220707828.0

    申请日:2022-03-30

    Abstract: 本实用新型提供一种基于自聚焦镜的水导激光耦合装置,从上至下依次为光传输系统,水‑光耦合系统和气液复合系统;所述光传输系统包括光纤保护层、光纤、QBH光纤接头和自聚焦镜,保证了激光的传输效率,避免反射光对光源的干扰;自聚焦镜下端为有一定弧度的圆弧状且下端浸没在薄水层中,提高耦合效率;喷嘴为有一定弧度的圆弧状,与自聚焦镜相互配合,缩短自聚焦镜和喷嘴中心上表面距离且保证薄水层厚度不变,保证水光高效耦合。采用多级式溢流台阶有效的消除水流动的脉动,提高水束稳定性;采用环形气体束包裹在水束外围,可有效避免积水;采用自聚焦镜有利于减小耦合腔的体积和重量,并具有装置结构简单,密封性能好的优点。

    水射流辅助激光加工系统
    58.
    实用新型

    公开(公告)号:CN209363853U

    公开(公告)日:2019-09-10

    申请号:CN201920033033.4

    申请日:2019-01-09

    Abstract: 本实用新型公开了一种水射流辅助激光加工系统,其光束传输聚焦单元包括激光发射器和光束传输变换机构,激光发射器的前方设置45°倾斜的反光镜,设于反光镜下方的光束传输变换机构包括保护套管,保护套管的上部管孔内设有光束传输变换元件、下部管孔内设有自聚焦透镜和球透镜;其工作台单元设于保护套管下方,包括三维调节的工作台,固定台板设于工作台上的水槽内,工件装夹于固定台板上并与球透镜相对;其供液单元的泵管连通喷管,喷管的喷嘴向工件斜伸,可调节喷嘴斜伸角度的喷管设于三维及角度调节的喷管调节架上,水槽通过回流管连通供液单元。本实用新型减少了激光束在自由空间传输的光程,降低了水射流冲击溅射对光路传输的干扰。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

    一种水导激光加工系统
    59.
    实用新型

    公开(公告)号:CN208662839U

    公开(公告)日:2019-03-29

    申请号:CN201820605257.3

    申请日:2018-04-26

    Abstract: 本实用新型为一种水导激光加工系统,工件固定于工作台上的水槽底面,配有1套偏转水束装置,喷嘴产生的水束与激光束的中心线处于同一平面,水束下方设置电极,在电极非匀强电场使水束偏转竖直向下,激光聚焦于竖直向下流动的水束内,水束引导激光束作用于工作台上的工件。还可配2~5套偏转水束装置,各水束汇聚为竖直向下的总水束引导激光束。本实用新型激光的高温软化的工件表面材料同时水束冷却加工区域减小热损伤。无需与激光束中心线一致的喷嘴,喷嘴不会烧蚀,显著降低装置的成本,有利于水导激光的推广应用。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

    一种激光水射流复合加工系统

    公开(公告)号:CN208196138U

    公开(公告)日:2018-12-07

    申请号:CN201820516803.6

    申请日:2018-04-12

    Abstract: 本实用新型为一种激光水射流复合加工系统,射流喷嘴出射水射流,水射流落点在工件表面的加工路径上。激光器产生的激光束在处于保护壳体内的导引光纤中传播,导引光纤末端连接金刚石导引头。金刚石导引头的导光端与工件表面的距离小于100微米,激光在金刚石导引头内经多次全反射汇聚为直线光束输出,直接作用于水中工件表面的加工路径上。本实用新型激光束的光路处于保护壳体内,保证光束传播过程中不受射流溅射水雾的干扰,激光束和高压射流协同作用,准确高效地去除预定加工路径上的材料,激光光路稳定,激光光斑半径缩小,划切线宽缩小,提高加工精度和质量。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

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