形成布线图案的方法和用于形成布线图案的蚀刻装置

    公开(公告)号:CN106061124B

    公开(公告)日:2018-12-21

    申请号:CN201610195708.6

    申请日:2016-03-31

    Abstract: 本发明涉及形成布线图案的方法和用于形成布线图案的蚀刻装置。一种形成布线图案的方法包括:a)形成金属底层,所述金属底层包括与电极接触的第一基底布线层、不与电极接触的第二基底布线层、以及将所述第一基底布线层连接到所述第二基底布线层的底部连接层;b)通过电镀在所述金属底层上形成金属镀层;以及c)通过蚀刻去除金属连接部。所述金属连接部是被所述金属镀层覆盖的基底连接层。所述蚀刻包括使包含其中溶解有所述金属连接部的金属的溶液的固体电解质材料与所述金属连接部接触,以及在所述金属连接部与所述固体电解质材料之间施加电压。

    金属膜形成装置和金属膜形成方法

    公开(公告)号:CN105734628B

    公开(公告)日:2018-10-02

    申请号:CN201510982989.5

    申请日:2015-12-24

    Abstract: 本发明涉及金属膜形成装置和金属膜形成方法。一种金属膜形成装置包括:阳极;树脂基板,其表面上形成有用作阴极的导体图案层;固体电解质膜,其包含金属离子并且位于阳极与所述树脂基板之间,所述固体电解质膜在金属膜形成时接触所述导体图案层的表面;电源;以及导电部件,其被设置为在所述金属膜形成时接触所述导体图案层,以使得所述电源的负电极被电连接到所述导体图案层,所述导电部件为可从所述导体图案层拆卸的,其中,当施加电压时,所述金属离子被还原而在所述导体图案层的所述表面上沉积形成所述金属膜的金属。

    表面处理方法和表面处理装置

    公开(公告)号:CN105671603B

    公开(公告)日:2018-08-28

    申请号:CN201510861268.9

    申请日:2015-12-01

    CPC classification number: C25F3/14 C25D5/022 C25D17/002 C25F7/00

    Abstract: 本发明涉及表面处理方法和表面处理装置。一种表面处理方法包括:在固体电解质膜的第一表面被直接设置在基板的表面上,并且设置有通孔的掩蔽板的第一表面被直接设置在所述固体电解质膜的第二表面上的状态下,通过经由所述通孔将溶剂从所述掩蔽板的第二表面供给到所述固体电解质膜来粗化所述基板的与所述通孔对应的表面区域,其中,所供给的溶剂渗透过所述固体电解质膜,并且溶解所述基板的所述表面。

    金属皮膜的成膜方法及其成膜装置

    公开(公告)号:CN107419322A

    公开(公告)日:2017-12-01

    申请号:CN201710356573.1

    申请日:2017-05-16

    Abstract: 本发明的成膜方法中,将金属溶液(L)用固体电解质膜(13)密封在壳体(20)的第1收纳室(21)内,将流体(45)用薄膜(43)密封在载置台(40)的第2收纳室(41)内,以该状态将基板(B)载置于载置台(40),使载置台(40)与壳体(20)相对移动,将基板(B)夹入固体电解质膜(13)与薄膜(43)之间,向夹入状态下的基板(B)按压固体电解质膜(13)和薄膜(43),由此使固体电解质膜(13)和薄膜(43)跟随基板(B)的表面(Ba)和背面(Bb),进行金属皮膜(F)的成膜。

    稀土磁体及其制造方法
    59.
    发明授权

    公开(公告)号:CN103443885B

    公开(公告)日:2016-07-06

    申请号:CN201280012714.3

    申请日:2012-03-08

    Abstract: 提供了制造稀土磁体的方法,其中扩散元素(例如Dy)有效地由表面部分向内扩散。该制造稀土磁体的方法的特征在于包括:附着步骤,其中使能够向内扩散的扩散元素附着到磁体材料的表面部分上,所述磁体材料包含稀土合金粒子的压实体或烧结体;和蒸发步骤,其中在真空下加热所述磁体材料以蒸发至少一部分聚集在磁体材料的表面部分上的扩散元素。所述附着步骤优选是沉积步骤,所述蒸发步骤优选是在沉积步骤后的加热步骤并包括在真空下仅加热该磁体材料。根据该方法,可以改善稀土磁体的矫顽力,并减少要使用的扩散元素(例如Dy)的量。换言之,本发明能够制造具有显著提高的矫顽力效率的稀土磁体。

    稀土类磁石的制造方法
    60.
    发明授权

    公开(公告)号:CN103227019B

    公开(公告)日:2015-12-09

    申请号:CN201310024371.9

    申请日:2013-01-23

    Abstract: 本发明提供稀土类磁石的制法,该制法不使用Dy、Tb等重稀土金属,能够在比以往稀土类磁石制法低温的条件下使提高矫顽力(尤其是高温环境下的矫顽力)的改性合金扩散渗透,由此能尽可能廉价地制造矫顽力高的稀土类磁石。该制法包括以下两步,第1步:将成为稀土类磁石材料的粉末加压成形来制造成形体(S),所述粉末由RE-Fe-B系主相MP(RE:Nd、Pr中的至少一种)和位于主相MP周围的RE-X合金(X:金属元素)的晶界相BP构成;第2步:使由共晶或富含RE的过共晶组成的RE-Y合金(Y:是金属元素且不含重稀土元素)构成的改性合金(M)与成形体(S)或将成形体(S)热塑性加工而成的稀土类磁石前体(C)接触,进行热处理而使改性合金M的熔液扩散渗透于成形体(S)、稀土类磁石前体(C)来制造稀土类磁石(RM)。

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