一种多层梯度透光掺杂AZO薄膜的制备方法

    公开(公告)号:CN108707866A

    公开(公告)日:2018-10-26

    申请号:CN201810560834.6

    申请日:2018-06-04

    Abstract: 本发明公开一种多层梯度透光掺杂AZO薄膜的制备方法,包括以下步骤:S1、清洗衬底,去除衬底表面的油污和杂质;S2、采用磁控溅射设备,以Al2O3靶与ZnO靶为溅射靶材,使Al2O3靶与ZnO靶的延长线相交于一点,衬底置于Al2O3靶与ZnO靶的相交点上;S3、通入工作气体氩气,在衬底上溅镀第一AZO薄膜层;S4、在第一AZO薄膜层上溅镀第二AZO薄膜层,第二AZO薄膜层的Al掺杂浓度大于第一AZO薄膜层的Al掺杂浓度;S5、在第二AZO薄膜层上溅镀第三AZO薄膜层,第三AZO薄膜层的Al掺杂浓度大于第二AZO薄膜层的Al掺杂浓度;最终得到AZO薄膜;磁控溅射方法简单,可控性强;无需制备各种浓度的掺杂AZO靶,节约成本,提高靶材利用率。

    一种稀磁半导体薄膜的制备方法

    公开(公告)号:CN108707864A

    公开(公告)日:2018-10-26

    申请号:CN201810560497.0

    申请日:2018-06-04

    CPC classification number: C23C14/352 C23C14/0036 C23C14/0641

    Abstract: 本发明公开一种稀磁半导体薄膜的制备方法,包括以下步骤:S1、清洗衬底,去除衬底表面油污和杂质;S2、采用磁控溅射设备,以Cu靶和Al靶为溅射靶材,衬底置于磁控溅射设备的真空腔室内,通入溅射气体Ar,反应气体N2,在衬底表面溅镀得到 Cu掺杂AlN稀磁半导体薄膜;两个靶材相互独立,工艺参数可根据需要进行独立设定,可进行任意掺杂浓度稀磁半导体薄膜的制备;整个镀膜过程只进行Cu膜与AlN薄膜的镀制,过程简单,变量较少;制备工艺简单,重复性好,并且可节约大量靶材的成本。

    一种具有缓冲层的ZnO薄膜的制备方法

    公开(公告)号:CN108560051A

    公开(公告)日:2018-09-21

    申请号:CN201810560607.3

    申请日:2018-06-04

    CPC classification number: C30B29/16 C30B25/06 C30B25/18

    Abstract: 本发明公开一种具有缓冲层的ZnO薄膜的制备方法,包括以下步骤:S1、清洗单晶硅衬底,去除单晶硅衬底表面的油污和杂质;S2、采用磁控溅射设备,以Al靶为靶材,将单晶硅衬底置于磁控溅射设备的真空腔室内,通入溅射气体Ar以及反应气体N2,在单晶硅衬底表面溅镀AlN缓冲层;S3、以Al靶与ZnO靶为靶材,在AlN缓冲层表面溅镀由AlN与ZnO构成的复合缓冲层;S4、以ZnO靶为靶材,在复合缓冲层表面溅镀ZnO膜层,得到具有缓冲层的ZnO薄膜;避免了ZnO膜层直接与单晶硅衬底进行接触,提高了镀制的ZnO膜层的结晶质量;整个过程就是简单的磁控溅射镀膜,过程简单,可控性、重复性较高。

    一种微波节能玻璃熔窑
    69.
    实用新型

    公开(公告)号:CN212476512U

    公开(公告)日:2021-02-05

    申请号:CN202021172804.7

    申请日:2020-06-23

    Abstract: 本实用新型公开一种微波节能玻璃熔窑,包括熔窑本体,所述熔窑本体的外周设有一组微波加热器,熔窑本体的窑壁嵌设有一组陶瓷加热体;微波加热器与陶瓷加热体均呈矩形阵列分布;位于同侧的微波加热器与陶瓷加热体交错间隔设置,使微波加热器与对侧的陶瓷加热体能够相对;没有被玻璃溶体吸收的微波会穿过玻璃溶体达到对侧的陶瓷加热体,陶瓷加热体吸收微波后使整个玻璃熔窑温度上升,实现对玻璃溶体的加热,从而能够充分地利用微波能,节能优势明显,该熔窑能够提高微波加热效率,提升加热效果,使微波能被充分利用。

    一种提纯OLED中含吡啶环类发光材料的装置

    公开(公告)号:CN215842914U

    公开(公告)日:2022-02-18

    申请号:CN202121901143.1

    申请日:2021-08-14

    Abstract: 本实用新型提供一种提纯OLED中含吡啶环类发光材料的装置,它包括通风橱(13),在通风橱(13)设有反应瓶(4),在反应瓶(4)内设有搅拌器,其特征在于:在反应瓶(4)一侧依次连通有第一缓冲瓶(3)、氯化钠储存瓶(2)和浓硫酸储存瓶(1),在反应瓶(4)另一侧依次连通有第二缓冲瓶(5)和废气处理瓶(6),在反应瓶(4)另外一侧连通有接料瓶(7)、干燥瓶(8)和收料瓶(9),在接料瓶(7)上还分别连通有导废瓶(10)、水溶液瓶(11)和储存瓶(12)。本实用新型结构简单,搭建方便,有效的提高了实验的效率和安全性。

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