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公开(公告)号：CN114583043A
公开(公告)日：2022-06-03
申请号：CN202210150504.6
申请日：2022-02-18
Applicant: 北京理工大学重庆微电子研究院
IPC: H01L41/083 , H01L41/312 , G02B26/08
Abstract: 本发明公开了压电驱动结构、压电微镜和压电微镜制备方法，所述压电驱动结构包括压电层、压电层上方连续的上电极和压电层下方连续的下电极，所述上电极上方一端设置有上介质层，所述下电极下方设置有下介质层，所述上介质层和所述下介质层长度小于所述压电层，在所述压电层所处的水平面上所述上介质层和所述下介质层在水平方向不完全重合。本发明针对无侧向位移和转角的压电Bimorph驱动结构存在的驱动电路复杂，引线繁琐、驱动效率低等问题，提出新的简化结构和制备方案，该方案中Bimorph驱动结构无需设置专门的引线。
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公开(公告)号：CN114047625A
公开(公告)日：2022-02-15
申请号：CN202111157004.7
申请日：2021-09-29
Applicant: 北京理工大学 , 无锡微奥科技有限公司
IPC: G02B26/08
Abstract: 本公开实施例提供了一种MEMS微镜、电子设备及MEMS微镜的使用方法；其中，MEMS微镜包括基底，镜面，静电吸合装置及驱动装置；镜面悬置于基底上；静电吸合装置包括第一静电电极和第二静电电极，第一静电电极位于基底上，第二静电电极位于镜面上；驱动装置的一端与基底连接，驱动装置的另一端与镜面连接，驱动装置能够发生弯曲，驱动装置被构造为能够带动镜面相对于基底发生运动；在驱动装置弯曲的状态下，镜面能够朝向第一静电电极运动，并能够通过第二静电电极静电吸合在第一静电电极上。本公开实施例为MEMS微镜提供了一种抗冲击振动的方案，其镜面在不使用的情况下可以通过静电吸合在基底上。
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公开(公告)号：CN113932908A
公开(公告)日：2022-01-14
申请号：CN202111150366.3
申请日：2021-09-29
Applicant: 北京理工大学 , 无锡微奥科技有限公司
IPC: G01H9/00
Abstract: 本申请公开了一种MEMS扫描振镜振动参数的测量系统和测量方法，该测量系统包括：准直光源，用于向MEMS扫描振镜的背面以相同方向入射准直光，预设翻转角度的MEMS扫描振镜平行于准直光入射方向且与准直光源有恒定间距；借助光栅结构构成的多个不同反光区，多个反光区分布在MEMS扫描振镜的背面，不同的反光区各自在MEMS扫描振镜的一个翻转角度上接收准直光的照射并向固定位置出射回波；光电探测器，用于在固定位置接收回波并转换回波为电信号；信号处理器，连接光电探测器，用于基于电信号确定振动参数。本申请简化了振动参数测量系统的结构。
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公开(公告)号：CN110927960A
公开(公告)日：2020-03-27
申请号：CN201911243735.6
申请日：2019-12-06
Applicant: 北京理工大学 , 无锡微奥科技有限公司
IPC: G02B26/06
Abstract: 本发明公开了一种热驱动可变形微镜，属于自适应光学系统技术领域。该微镜由镜片、电极、支梁和硅结构框架组成，支梁将镜片悬空支承在硅结构框架的中央，镜片由上至下分为三层，依次为金属反射层、二氧化硅层和硅层，支梁与镜片的硅层为同种材质整体成型，硅结构框架与支梁之间由二氧化硅层绝缘，电极设置在硅结构框架的表面与支梁相连，对电极通电后，支梁和镜片形成电流回路并发热，利用金属和硅的热膨胀系数不同使得镜片产生变形。本发明通过通电控制金属和硅两种不同材料的加热温度，达到镜面变形的目的。
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公开(公告)号：CN119867714A
公开(公告)日：2025-04-25
申请号：CN202510072445.9
申请日：2025-01-16
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本申请提供了一种基于热式流量测量的便携式肺功能仪及肺功能测量方法，涉及肺功能仪研究技术领域，该肺功能仪包括：传感器组件、硬件电路、微控制器和客户端；通过将采用旁路气流流道设计的热式气流量传感器应用在肺功能仪中，实现了更高的传感精度、更低的功耗和更小的体积，并提高了肺功能仪的测量量程，达到了肺功能仪小巧便携、操作简便和测量精度高的效果。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN119620379A
公开(公告)日：2025-03-14
申请号：CN202411771060.3
申请日：2024-12-04
Applicant: 北京理工大学重庆微电子研究院
IPC: G02B26/00
Abstract: 本申请涉及滤波技术领域，具体涉及一种MEMS法布里‑珀罗滤波器及其制备方法，滤波器包括支撑框架；上极板；第一反射层和第二反射层，均设于支撑框架内且始终彼此平行，用以共同限定法布里‑珀罗谐振腔；驱动组件连接在上极板与支撑框架之间，驱动组件中设有驱动单元；驱动单元由伸缩层和至少一个第一电热层组合形成，伸缩层包括第二电热层、电阻层、位于电阻层与第二电热层之间的第一绝缘层，以及位于电阻层背离第二电热层一侧的第二绝缘层；第一电热层的热膨胀系数小于第二电热层的热膨胀系数，至少一个第一电热层贴合设置于第二电热层和/或第二绝缘层上。该电热驱动结构可实现滤波器小型化，结构简化，整体体积和重量降低，器件可靠性高。
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公开(公告)号：CN119439482A
公开(公告)日：2025-02-14
申请号：CN202411765148.4
申请日：2024-12-03
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明公开了一种用于降低动态变形的微镜结构，包括镜面、扭转梁、外框架、连接杆和环连杆，所述外框架设置于所述所述镜面的外部，所述外框架连接所述扭转梁；所述连接杆包括I型连接杆、II型连接杆和III型连接杆；所述镜面与所述外框架之间设置有所述I型连接杆、所述III型连接杆和所述环连杆，所述I型连接杆的内端连接所述镜面，所述I型连接杆的外端连接所述环连杆，所述III型连接杆的内端和外端分别连接所述镜面和所述外框架，所述环连杆能够连接相邻两个所述I型连接杆或相邻两个所述III型连接杆或相邻的I型连接杆和III型连接杆；本发明中的用于降低动态变形的微镜结构，在周期旋转运动时能够显著降低动态变形。
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公开(公告)号：CN119355957A
公开(公告)日：2025-01-24
申请号：CN202411618113.8
申请日：2024-11-13
Applicant: 重庆邮电大学 , 北京理工大学重庆微电子研究院
Abstract: 本发明公开了一种电磁MEMS微镜的光栅扫描矫正方法及系统，属于光栅扫描矫正技术领域，方法包括：采集电磁MEMS微镜产品在三维空间中的实时三轴姿态信息、微镜快慢轴压阻信号；以角度差值作为误差信号进行PID控制，输出扫描视场修正后的MEMS微镜的快慢轴的驱动电压，进而映射得到微镜扫描的修正角度；将修正角度作为PID控制的输入，通过最小化微镜的转动角度与修正角度之间的跟踪误差，实现对微镜的转动角度进行修正。通过采集电磁MEMS微镜产品的三轴姿态信息，并将三轴姿态信息与标准三轴姿态信息之间的角度差值引入至PID控制，以调节快慢轴驱动信号，进而对微镜转动角度的修正，实现对光栅扫描光栅畸变的矫正和补偿，保证了对三维点云的重建质量的精准度。
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公开(公告)号：CN119306173A
公开(公告)日：2025-01-14
申请号：CN202411431295.8
申请日：2024-10-14
Applicant: 北京理工大学重庆微电子研究院 , 重庆工商大学
Abstract: 本发明公开了集成挠曲电位置检测的电热微动平台、检测方法及其制备方法，属于微机电技术领域，该平台包括外围支撑结构、电热驱动结构、微平台，以及用于检测微平台的位置和运动状态的挠曲电位置检测结构。本发明将挠曲电位置检测结构与电热微动平台进行一体式集成，不仅能在不影响微动结构运动的情况下实时、稳定、高精度地获得微动结构偏转角度和偏转方向的姿态信息，还能显著降低器件及其系统的闭环控制姿态反馈电路的复杂程度，优化相关应用产品的结构和尺寸，以及实现器件的小型化和轻量化。
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公开(公告)号：CN118902391A
公开(公告)日：2024-11-08
申请号：CN202410959832.X
申请日：2024-07-17
Applicant: 首都医科大学附属北京积水潭医院 , 北京理工大学
Abstract: 本发明提供了一种远桡尺关节移动度测量装置，涉及医疗器械的技术领域。远桡尺关节移动度测量装置包括第一检查手套、第二检查手套、压力传感器和位移传感器；第一检查手套和第二检查手套两者的各手指指腹侧设置有压力传感器；第一检查手套和第二检查手套两者的大拇指处的手指前端位置设置有位移传感器。达到了方便测量远桡尺关节移动度的技术效果。
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