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公开(公告)号：CN116382154B
公开(公告)日：2023-09-05
申请号：CN202310216700.3
申请日：2023-03-08
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G05B19/042
Abstract: 本发明公开了一种基于事件触发的指定时间高精度控制方法，所述方法包括如下步骤：步骤1：设计基于参量Lyapunov方程的指定时间高精度控制器；步骤2：设计基于参量Lyapunov方程的事件触发机制去决定控制器的更新时间ti；步骤3：根据步骤2中设计的事件触发机制，计算得到最小触发时间间隔的表达式。该方法不仅可以在任意的指定时间实现系统的高精度控制目标，而且减少了系统执行器的更新次数，使得系统的执行器损耗极大的减少，具有重要的工程应用价值。
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公开(公告)号：CN116560305A
公开(公告)日：2023-08-08
申请号：CN202310698169.8
申请日：2023-06-13
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G05B19/414
Abstract: 多轴运动台高速精密控制装置及方法，涉及多轴运动台高速精密控制领域，是为了解决现有光刻机多轴运动台的控制精度和速度不足，以及不同板卡之间通信相互干扰的问题。本发明提供的多轴运动台高速精密控制装置及方法，通过以太网进行数据交互和参数设置，通过VME总线进行命令处理，通过SRIO总线进行数据处理，将控制命令和数据处理进行分开操作，使得控制协议简单并实现逻辑设计简化，有效的避免采用统一的VME总线处理命令和数据所带来的复杂程序设计工作。SRIO总线相比于传统的VME总线，此外，多核的处理器保证了一核多轴的控制，避免了多板卡之间通信时相互干扰。本发明适用于多轴运动台的高速精密控制。
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公开(公告)号：CN115167284B
公开(公告)日：2023-03-10
申请号：CN202210927833.7
申请日：2022-08-03
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G05B19/408
Abstract: 本发明公开了一种基于数据驱动的精密运动台静态解耦矩阵校正方法，所述方法包括如下步骤：一：基于机械设计参数得到初始静态解耦矩阵；二：由轨迹生成器生成精密运动台各自由度运动的参考信号；三：针对精密运动台各自由度的名义模型，设计各自由度的控制器；四：将参考信号，控制器，初始静态解耦矩阵K作用到精密运动台；五：测量精密运动台的实际位置信号，当前施加到执行器的控制量；六：将测量数据通过滤波器，得到虚拟参考输入信号；七：将虚拟参考输入信号与精密运动台的实际位置信号作差，得到虚拟误差信号；八：最小化目标函数，得到静态解耦矩阵最优估计结果。该方法提高了参数精度，简化了校正过程，减少了时间花费。
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公开(公告)号：CN115167284A
公开(公告)日：2022-10-11
申请号：CN202210927833.7
申请日：2022-08-03
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G05B19/408
Abstract: 本发明公开了一种基于数据驱动的精密运动台静态解耦矩阵校正方法，所述方法包括如下步骤：一：基于机械设计参数得到初始静态解耦矩阵；二：由轨迹生成器生成精密运动台各自由度运动的参考信号；三：针对精密运动台各自由度的名义模型，设计各自由度的控制器；四：将参考信号，控制器，初始静态解耦矩阵K作用到精密运动台；五：测量精密运动台的实际位置信号，当前施加到执行器的控制量；六：将测量数据通过滤波器，得到虚拟参考输入信号；七：将虚拟参考输入信号与精密运动台的实际位置信号作差，得到虚拟误差信号；八：最小化目标函数，得到静态解耦矩阵最优估计结果。该方法提高了参数精度，简化了校正过程，减少了时间花费。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112612210B
公开(公告)日：2021-07-16
申请号：CN202011474923.2
申请日：2020-12-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G05B13/04
Abstract: 本发明公开了一种精密运动台特定频率扰动抑制方法，所述方法包括如下步骤：一、由轨迹生成器Cr生成精密运动台P的期望位置信号r；二、测量P的实际位置信号y；三、将r与y作差，得到位置误差信号e，e经过反馈控制器C得到反馈控制信号ufb；四、前一周期的控制信号u经过滤波器Q之后得到信号uQ；五、计算Q与精密运动台名义模型P0的逆即的乘积，得到y经过之后得到uPQ；六、将uPQ与uQ作差得到扰动信号估计值七、将ufb与作差，得到当前周期控制信号u，u与外部扰动信号d的和up作用于P产生位置信号y。本发明不仅能够对一定频率范围内的扰动均起到一定的抑制作用，而且对特定频率扰动可以加强抑制能力，进一步提升精密运动台控制性能。
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公开(公告)号：CN112363764B
公开(公告)日：2021-07-16
申请号：CN202011364722.7
申请日：2020-11-27
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明公开了一种跨平台通讯的精密运动台控制方法，所述方法包括如下步骤：一、上位机通过网线向下位机下发控制指令；二、下位机对接收到的数据进行CRC校验，生成CRC校验码；三、下位机将生成的校验码与接收到的控制指令中的校验码进行比较，向上位机发送反馈信息；四、下位机对接收到的控制指令进行解析，并对接收到的value值进行大小端转换；五、下位机将经过大小端转换的value值通过VME总线发送给运动控制卡，运动控制卡经过运算将运算结果通过光纤发给运动台。本发明采用Windows+VxWorks跨平台通讯的方式实现精密运动台控制指令的传输，实时性较高、人机交互性较好、通讯协议灵活、扩展性较好。
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公开(公告)号：CN112363764A
公开(公告)日：2021-02-12
申请号：CN202011364722.7
申请日：2020-11-27
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明公开了一种跨平台通讯的精密运动台控制方法，所述方法包括如下步骤：一、上位机通过网线向下位机下发控制指令；二、下位机对接收到的数据进行CRC校验，生成CRC校验码；三、下位机将生成的校验码与接收到的控制指令中的校验码进行比较，向上位机发送反馈信息；四、下位机对接收到的控制指令进行解析，并对接收到的value值进行大小端转换；五、下位机将经过大小端转换的value值通过VME总线发送给运动控制卡，运动控制卡经过运算将运算结果通过光纤发给运动台。本发明采用Windows+VxWorks跨平台通讯的方式实现精密运动台控制指令的传输，实时性较高、人机交互性较好、通讯协议灵活、扩展性较好。
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公开(公告)号：CN104935218B
公开(公告)日：2017-06-16
申请号：CN201510405399.6
申请日：2015-07-11
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H02P5/56
Abstract: 一种双旋转电机系统的主从控制方法。本发明涉及一种双旋转电机系统的主从控制方法。所述双旋转电机系统包括定旋转电机、动旋转电机、旋转电机连接杆及台体，所述定旋转电机固定在台体上，所述定旋转电机的转子通过旋转电机连接杆与动旋转电机的转子刚性连接；所述控制方法包括七个步骤，步骤一：将运动控制卡系统初始化；步骤二：向初始化后的运动控制卡系统内输入用来控制定旋转电机的旋转角度参数；步骤三：利用双速旋转变压器及其角位变送器来采集定旋转电机的旋转角度数据，将传感器采集的旋转角度数据通过运动控制卡系统进行数据转换，并实时读取定旋转电机旋转角度数据。本发明用于双旋转电机系统的主从控制。
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公开(公告)号：CN105068386B
公开(公告)日：2017-04-12
申请号：CN201510561426.9
申请日：2015-09-07
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 一种双工件台系统安全保护方法，它属于半导体制造装备的技术领域。它的方法步骤一：在多个多路运动控制卡内分别设置多组字节大小的双口RAM；二：多个多路运动控制卡中的FPGA以200us采样周期，通过VME工控机中的VME自定义总线从信号采集卡获取各电机的位置信息，并存放在相应的双口RAM内；三：嵌入式主控CPU板通过VME总线获取各多路运动控制卡内各电机的位置及位置误差信息；四：上位机通过以太网接收来自嵌入式主控CPU板的数据，并判断数据类型，当该数据为故障代码时，弹出对话框，提示用户出现故障，并显示故障代码。本发明基于VxWorks操作系统与VME总线工作，在系统某一机构发生故障时，利用软件使本机构和其他机构停止运行，保障了双工件台系统的安全运行。
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