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    移动体装置、物体处理装置、曝光装置、平板显示器的制造方法、及元件制造方法
    63.
    发明授权
    移动体装置、物体处理装置、曝光装置、平板显示器的制造方法、及元件制造方法 有权

    公开(公告)号：CN103097957B

    公开(公告)日：2015-11-25

    申请号：CN201180043098.3

    申请日：2011-09-05

    Applicant: 株式会社尼康

    Inventor： 青木保夫

    IPC: G03F7/20

    CPC classification number: G03F7/709 ,  G03F7/70716

    Abstract: 通过基板支承构件(60)在Y步进定盘(20)上于扫描方向以既定行程移动，保持于该基板支承构件(60)的基板(P)即以被空气悬浮装置(59)从下方支承的状态于扫描方向以既定行程移动。又，由于具有空气悬浮装置(59)的Y步进导件(50)与基板支承构件(60)一起移动于交叉扫描方向，因此能使基板(P)往扫描方向及／或交叉扫描方向任意移动。此时，由于Y步进定盘(20)也与基板支承构件(60)及Y步进导件(50)一起移动于交叉扫描方向，因此基板支承构件(60)随时支承于Y步进定盘(20)。

    移动体装置、物体处理装置、曝光装置、平板显示器的制造方法、及元件制造方法
    65.
    发明公开
    移动体装置、物体处理装置、曝光装置、平板显示器的制造方法、及元件制造方法 有权

    公开(公告)号：CN103097957A

    公开(公告)日：2013-05-08

    申请号：CN201180043098.3

    申请日：2011-09-05

    Applicant: 株式会社尼康

    Inventor： 青木保夫

    IPC: G03F7/20

    CPC classification number: G03F7/709 ,  G03F7/70716

    Abstract: 通过基板支承构件(60)在Y步进定盘(20)上于扫描方向以既定行程移动，保持于该基板支承构件(60)的基板(P)即以被空气悬浮装置(59)从下方支承的状态于扫描方向以既定行程移动。又，由于具有空气悬浮装置(59)的Y步进导件(50)与基板支承构件(60)一起移动于交叉扫描方向，因此能使基板(P)往扫描方向及／或交叉扫描方向任意移动。此时，由于Y步进定盘(20)也与基板支承构件(60)及Y步进导件(50)一起移动于交叉扫描方向，因此基板支承构件(60)随时支承于Y步进定盘(20)。

    基板搬运、曝光装置、方法、平板显示器及元件制造方法
    66.
    发明公开
    基板搬运、曝光装置、方法、平板显示器及元件制造方法 审中-实审

    公开(公告)号：CN116520649A

    公开(公告)日：2023-08-01

    申请号：CN202310550171.0

    申请日：2017-09-29

    Applicant: 株式会社尼康

    Inventor： 青木保夫

    IPC: G03F7/20

    Abstract: 本发明为了缩短基板更换所耗的时间而提供一种基板搬运、曝光装置、方法、平板显示器及元件制造方法，所述基板搬运装置，其将基板搬运至保持装置，且包括：第一保持部，在所述保持装置的上方保持所述基板；第二保持部，保持经所述第一保持部保持的所述基板的一部分；以及驱动部，以所述第一保持部自所述保持装置的上方退避的方式，使所述保持装置及所述第二保持部与所述第一保持部中的一者相对于另一者相对移动；且所述保持装置、所述第一保持部及所述第二保持部在所述驱动部进行的相对移动中保持所述基板。

    基板搬运、曝光装置、方法、平板显示器及元件制造方法
    67.
    发明授权
    基板搬运、曝光装置、方法、平板显示器及元件制造方法 有权

    公开(公告)号：CN111149059B

    公开(公告)日：2022-08-26

    申请号：CN201780095240.6

    申请日：2017-09-29

    Applicant: 株式会社尼康

    Inventor： 青木保夫

    IPC: G03F7/20 ,  H01L21/677

    Abstract: 为了缩短基板更换所耗时间而提供一种基板搬运、曝光装置、方法、平板显示器及元件制造方法。基板搬运装置(100A)，向可保持基板(P2)的保持装置的保持面(TS)搬运基板(P2)。基板搬运装置(100A)包括：第一保持部(161A)，具有在保持装置上方保持基板(P2)的基板保持面；第二保持部(184a)，在上下方向保持面(TS)与基板保持面之间的位置，保持经第一保持部(161A)保持的基板(P2)的一部分；驱动部(164)，以第一保持部(161A)自保持装置上方退避的方式，在第二保持部(184a)保持基板(P2)的一部分的状态下，使保持装置及第二保持部(184a)与第一保持部(161A)相对移动。

    基板搬运、曝光装置、方法、平板显示器及元件制造方法
    68.
    发明授权
    基板搬运、曝光装置、方法、平板显示器及元件制造方法 有权

    公开(公告)号：CN111164513B

    公开(公告)日：2022-08-16

    申请号：CN201780095324.X

    申请日：2017-09-29

    Applicant: 株式会社尼康

    Inventor： 青木保夫

    IPC: G03F7/20 ,  H01L21/677

    Abstract: 为了缩短基板更换所耗时间而提供一种基板搬运、曝光装置、方法、平板显示器及元件制造方法，基板搬运装置(100A)，将基板(P2)搬运至保持装置的保持面(TS)，且包括：第一保持部(161A)，在保持装置上方保持基板；第二保持部(184a)，保持经第一保持部(161A)保持的基板的一部分；及驱动部(164)，以第一保持部(161A)自保持装置上方退避的方式，使保持装置及第二保持部(184a)与第一保持部(161A)向沿着保持面(TS)的既定方向相对移动；且第一保持部(161A)在驱动部(164)进行的相对移动中，以基板中经第一保持部(161A)保持的区域的上下方向的位置靠近保持装置的方式保持基板。

    移动体装置、曝光装置、平面显示器的制造方法、及组件制造方法
    69.
    发明授权
    移动体装置、曝光装置、平面显示器的制造方法、及组件制造方法 有权

    公开(公告)号：CN108139676B

    公开(公告)日：2022-03-18

    申请号：CN201680057153.7

    申请日：2016-09-28

    Applicant: 株式会社尼康

    Inventor： 青木保夫

    IPC: G03F7/20 ,  H01L21/68

    Abstract: 本发明的用以求出能在与XY平面平行的方向移动的基板保持具(36)于Z轴方向的位置信息的测量系统，具备：与基板保持具(36)对向设置能于Y轴方向与基板保持具(36)同步移动的Y滑件(76)、设在Y滑件(76)的传感器头(78)、以及控制Y滑件(76)并使用设在基板保持具(36)的延伸于X轴方向的靶(38)藉由传感器头(78)求出基板保持具(36)于Z轴方向的位置信息的控制系。

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