热流分布测定装置
    61.
    发明公开

    公开(公告)号:CN106461471A

    公开(公告)日:2017-02-22

    申请号:CN201580029215.9

    申请日:2015-06-01

    Abstract: 热流分布测定装置具备传感器模块(2),该传感器模块(2)具有层叠有多个由热塑性树脂构成的绝缘层(100、110、120)且具有一面(2a)与其相反一侧的另一面(2b)的一个多层基板以及形成于多层基板的内部的多个热流传感器部(10)。多个热流传感器部(10)分别由热电转换元件构成,且热电独立。运算部(3)基于由多个热流传感器部(10)分别产生的电动势运算热流分布。多个热电转换元件形成于一个多层基板的内部,因此能够在制造多层基板的同一制造工序中制造。因此,能够将热电转换元件的性能个体差异抑制为较小,从而能够高精度地测定热流分布。

    液面高度检测计
    62.
    发明公开

    公开(公告)号:CN105683723A

    公开(公告)日:2016-06-15

    申请号:CN201480059374.9

    申请日:2014-10-29

    CPC classification number: G01F23/22

    Abstract: 液面高度检测计具备:检测元件,其具有一面和与该一面相反的一侧的另一面,上述一面朝向液体并且上述一面成为与液面的高度方向平行的状态;珀尔帖元件,其设置于检测元件的另一面侧;以及控制部,其进行上述液体的液面高度的检测处理。上述珀尔帖元件形成从上述另一面朝向上述一面而在上述检测元件的内部通过并朝向上述液体或气体的热流。上述控制部基于与在上述检测元件的内部通过的热流对应地输出的电信号的输出值、和检测元件的输出值与上述液面高度的关系,计算液面高度。

    洁净室装置
    63.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101559388B

    公开(公告)日:2012-08-22

    申请号:CN200910134506.0

    申请日:2009-04-17

    Abstract: 本发明提供能够确保必要的清洁度而且设备的重新构筑容易、且能够短时间启动生产线的洁净室装置。通过根据需要将相邻的工作机械的洁净作业室单元(10)彼此相互连结,能够构筑具备构成比周围的空间清洁度高的作业空间的局部洁净室(33)的作业工序生产线。

    层间连接用导电体的制造方法

    公开(公告)号:CN101594749B

    公开(公告)日:2012-06-20

    申请号:CN200910138964.1

    申请日:2009-05-21

    Abstract: 本发明提供一种被配置于绝缘层(1)内的通孔(4)中的层间连接用导电体(5)的制造方法。在由模部件(21)和移动部件(22)构成的封闭空间中填充银粒子与锡粒子的混合粉体,该模部件具有与要形成的导电体形状对应的槽部;使所述移动部件进行相对移动以接近所述模部件,对填充到所述封闭空间中的混合粉体加压并压入所述模部件的槽部;使在所述模部件和所述移动部件之间构成所述封闭空间的侧面部件(20)与残留在所述模部件表面上的混合粉体一起在所述模部件上滑动,从而将未能进入所述模部件的槽部而残留在所述模部件表面上的混合粉体从被压入所述模部件的槽部的混合粉体上切离;从所述模部件的槽部取出层间连接用导电体。

    层间连接用导电体的制造方法

    公开(公告)号:CN101594749A

    公开(公告)日:2009-12-02

    申请号:CN200910138964.1

    申请日:2009-05-21

    Abstract: 本发明提供一种被配置于绝缘层(1)内的通孔(4)中的层间连接用导电体(5)的制造方法。在由模部件(21)和移动部件(22)构成的封闭空间中填充银粒子与锡粒子的混合粉体,该模部件具有与要形成的导电体形状对应的槽部;使所述移动部件进行相对移动以接近所述模部件,对填充到所述封闭空间中的混合粉体加压并压入所述模部件的槽部;使在所述模部件和所述移动部件之间构成所述封闭空间的侧面部件(20)与残留在所述模部件表面上的混合粉体一起在所述模部件上滑动,从而将未能进入所述模部件的槽部而残留在所述模部件表面上的混合粉体从被压入所述模部件的槽部的混合粉体上切离;从所述模部件的槽部取出层间连接用导电体。

    载荷测定方法和用于该方法的载荷传感器及载荷测定装置

    公开(公告)号:CN101451879A

    公开(公告)日:2009-06-10

    申请号:CN200810179771.6

    申请日:2008-12-03

    Abstract: 本发明提供一种载荷测定方法和用于该方法的载荷传感器及载荷测定装置。在根据本发明的载荷测定方法中,使用接收载荷时弹性变形的挠曲梁(14)和平面间隙构造体(13),平面间隙构造体的间隙量随挠曲梁的变形而变化。气体馈送至由平面间隙构造体形成的间隙(g)且流经该间隙的气体的流量被转换成载荷以测定载荷。载荷传感器(1)包括平板状上表面构件(11)、平板状下表面构件(12)、夹持于上表面构件与下表面构件之间的挠曲梁、和平面间隙构造体,平面间隙构造体与上表面构件形成间隙且具有喷射口(13b),喷射口向间隙馈送气体。由设置于气体流路中的气体流量计(2)测定馈送到间隙的气体流量,由处理单元(4)将其转换成载荷。

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