一种半导体腔室的制备方法及半导体腔室

    公开(公告)号:CN119319383A

    公开(公告)日:2025-01-17

    申请号:CN202411723923.X

    申请日:2024-11-28

    Abstract: 本申请公开了一种半导体腔室的制备方法及半导体腔室,涉及半导体腔室制备技术领域。方法包括:根据目标半导体腔室的尺寸,将不锈钢材料进行切割后锻造形成腔室模型;将腔室模型进行粗加工,再进行固溶热处理,得到腔室毛坯;分别对腔室毛坯的上表面、内表面、外表面以及下表面进行精加工,得到腔室初坯;对腔室初坯的内表面进行抛光处理,对腔室初坯的外表面进行铣削加工,对腔室初坯的下表面进行打磨处理,得到半成品腔室;对半成品腔室进行氦气检漏后,得到成品半导体腔室。本申请的半导体腔室表面粗糙度能够达到Ra0.2以内,尺寸公差达到±0.01mm,在后续加工以及使用过程中其产品结构也不易发生变形进而影响装置整体性能。

    一种医用固定阳极X射线靶的熔铸方法及其应用

    公开(公告)号:CN117900432A

    公开(公告)日:2024-04-19

    申请号:CN202311661577.2

    申请日:2023-12-06

    Abstract: 本发明公开了一种医用固定阳极X射线靶的熔铸方法,包括以下步骤:S1、预处理:对石墨垫片和石墨坩埚进行高温除气,对钨片与铜棒进行清洗;S2、安装:将钨片安装在石墨垫片上,将石墨垫片与铜棒放入石墨坩埚;S3、熔铸:将石墨坩埚放入连续推舟炉进行熔铸,熔铸完成后得到固定阳极X射线靶。本发明通过熔铸法将钨片与铜棒结合在一起,并在熔铸时使石墨坩埚逐渐进入高温区,保证了铜和钨在高温区能够有效的发生浸润,使得制备出的固定阳极X射线靶导热性能优异,延长了使用寿命,且铜与钨的结合面牢固、稳定、不易脱层。

    一种固定阳极X射线用靶的加工设备及加工方法

    公开(公告)号:CN117773579A

    公开(公告)日:2024-03-29

    申请号:CN202410028917.6

    申请日:2024-01-09

    Abstract: 本发明公开了一种固定阳极X射线用靶的加工设备及加工方法,属于地质勘探器械技术领域,包括矩阵出料器、机械手架、主轴装置一、主轴装置二、排刀座、转向机械手、机床架,所述矩阵出料器安装在所述机床架的前侧,所述机械手架横向固定连接在所述机床架上,所述主轴装置一固定连接在所述机床架的右侧,所述主轴装置二的固定连接在所述机床架的左侧,所述排刀座位于主轴装置一和主轴装置二之间,排刀座的底部与所述机床架固定连接,所述转向机械手固定连接连接在所述机床架的后侧,该设备能有效节省CNC数控车工序、加工中心多次铣削加工工序,减少人员装夹次数,工装夹具误差等造成的偏差,提高了固定阳极X射线用靶的生产效率。

    一种半导体用CVD反应腔氩弧焊工艺及工装

    公开(公告)号:CN117655470A

    公开(公告)日:2024-03-08

    申请号:CN202311800567.2

    申请日:2023-12-26

    Abstract: 本发明公开了一种半导体用CVD反应腔氩弧焊工艺,包括以下步骤:S1、清洗:对反应腔筒身、反应腔水路盖板、法兰、水路接头进行清洗;S2、安装:将反应腔筒身、反应腔水路盖板、法兰、水路接头安装至工装上;S3、焊接:将工装放置到转台上,随后对反应腔筒身与反应腔水路盖板进行焊接,再依次焊接水路接头与法兰,得到CVD反应腔;S4、检测:采用水压检测装置,使CVD反应腔在0.8MPa水压下保压24h。本发明工艺通过焊接工装将反应腔筒身、反应腔水路盖板、法兰、水路接头一次性装配,随后进行一次性焊接,避免焊接时反应腔筒身位置偏移,减少焊接时的变形与开裂。

    一种四轴斜面铣削工装及铣削方法

    公开(公告)号:CN117464404A

    公开(公告)日:2024-01-30

    申请号:CN202311527199.9

    申请日:2023-11-16

    Abstract: 本发明公开了一种四轴斜面铣削工装及铣削方法,工装包括基体、主夹持组件和支撑组件;主夹持组件包括设在基体上的安装座、设在安装座上的夹持头和设在安装座上且与夹持头连接的主丝杠;支撑组件包括卡接在安装座上的滑动梁、设置在滑动梁上的支撑座和设置在滑动梁上且与支撑座连接的第一副丝杠;本发明的铣削工装结构设计合理,能够一次性完成待加工零件的铣削斜面和打孔加工,具有较高的使用可靠性和安全性,提高了零件的加工效率,适宜推广使用。

    一种不锈钢底板用湿氢工装
    66.
    发明公开

    公开(公告)号:CN115476294A

    公开(公告)日:2022-12-16

    申请号:CN202211040856.2

    申请日:2022-08-29

    Abstract: 本发明公开了一种不锈钢底板用湿氢工装,所述不锈钢底板设有多组孔,其特征在于,所述湿氢工装与多组所述孔一一对应设置,湿氢工装由用于与孔卡接的第一圆柱、第二圆柱进行上下堆叠构成的组合块,所述第二圆柱的半径>第一圆柱的半径,第二圆柱的底面设有用于与相邻湿氢工装的第一圆柱卡接的沉槽,本发明工装设计合理,通过不锈钢底板三个孔的特性,依靠第一圆柱与第二圆柱的上下堆叠,对不锈钢底板进行支撑叠放,保证了不锈钢底板叠放的稳定性,还保护不锈钢底板的工作面加工处理时不受影响。

    一种薄壁零件真空钎焊后变形的校形方法及其应用

    公开(公告)号:CN114952180B

    公开(公告)日:2022-12-06

    申请号:CN202210913268.9

    申请日:2022-08-01

    Abstract: 本发明公开了一种薄壁零件真空钎焊后变形的校形方法及其应用,涉及真空钎焊技术领域,具体包括:对刀具、夹具、薄壁零件进行预处理,然后在数控车上安装刀具,并且用夹具固定装夹薄壁零件,再将数控车润滑系统供油量调至最小,然后通过数控编程、自动控制的方式采用稳定匀速的程序对组件进行稳定的碾压,再对碾压校形后的薄壁零件进行后处理;本发明整体工艺设计合理,能够有效地解决焊接后的薄壁零件外径和内孔变形成锥面的问题;且整体工艺简单,采用自动化流程能够有效地解决现有技术中需要手工打磨挤压校形后薄壁零件外壁的夹痕造成的效率低下的问题,因此本发明更适合大量推广。

    一种提高散热面积的散热装置及其制备方法和应用

    公开(公告)号:CN115297675A

    公开(公告)日:2022-11-04

    申请号:CN202210785838.0

    申请日:2022-07-04

    Abstract: 本发明公开了一种提高散热面积的散热装置及其制备方法和应用,散热装置包括散热片以及穿插在散热片内部的散热水冷管和散热风冷管,散热片表面为连续的凸槽和凹槽,凸槽和凹槽交替等间距设置,凸槽的一侧壁上等间距设置有若干导槽;制备方法包括:S1、散热片制备;S2、散热片整形;S3、散热风冷管安装;S4、散热水冷管安装。本发明的散热装置通过设置有的凸槽和凹槽能够大大增加散热片的表面积,约能够增加30%左右,提高了散热效率,通过散热水冷管和散热风冷管使冷却液和冷气的交替,最大程度地提高冷却散热效率,适合应用到医疗CT球管组件中,提高了CT球管组件射线窗口区域在使用过程中的散热效率,延长了CT球管组件的使用寿命。

    一种薄壁零件真空钎焊后变形的校形方法及其应用

    公开(公告)号:CN114952180A

    公开(公告)日:2022-08-30

    申请号:CN202210913268.9

    申请日:2022-08-01

    Abstract: 本发明公开了一种薄壁零件真空钎焊后变形的校形方法及其应用,涉及真空钎焊技术领域,具体包括:对刀具、夹具、薄壁零件进行预处理,然后在数控车上安装刀具,并且用夹具固定装夹薄壁零件,再将数控车润滑系统供油量调至最小,然后通过数控编程、自动控制的方式采用稳定匀速的程序对组件进行稳定的碾压,再对碾压校形后的薄壁零件进行后处理;本发明整体工艺设计合理,能够有效地解决焊接后的薄壁零件外径和内孔变形成锥面的问题;且整体工艺简单,采用自动化流程能够有效地解决现有技术中需要手工打磨挤压校形后薄壁零件外壁的夹痕造成的效率低下的问题,因此本发明更适合大量推广。

    一种铍材与不锈钢的薄壁件焊接工艺

    公开(公告)号:CN113770570B

    公开(公告)日:2022-02-08

    申请号:CN202111329826.9

    申请日:2021-11-11

    Abstract: 本发明公开了一种铍材与不锈钢的薄壁件焊接工艺,包括:S1、预制工装;S2、工装预处理;S3、待焊零件及成型钎料表面清洗;S4、焊接及热电偶跟踪监测;S5、焊接质量检测。本发明通过优化、电解抛光及热处理焊接压块工装,能够有效避免焊接压块工装对铍材表面造成氧化、划痕等缺陷,并通过使用热电偶跟踪焊接工艺曲线,能够有效解决在不同装炉量时,所焊接后焊缝状态差异较大的问题,确保焊接工艺的最优性。

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