模具的制造方法及其所用的电极结构

    公开(公告)号:CN102105624B

    公开(公告)日:2012-12-26

    申请号:CN201080002169.0

    申请日:2010-03-02

    Abstract: 本发明的蛾眼用模具的制造方法包括:(a)通过接触铝膜(10a)的表面的电极(32a)进行阳极氧化而形成具有细微的凹部的多孔铝层的工序;(b)在工序(a)之后,使多孔铝层接触蚀刻液来扩大细微的凹部的工序;以及(c)在工序(b)之后,进一步进行阳极氧化而使细微的凹部成长的工序,铝膜由99.99质量%以上的纯度的铝形成,电极具有:第1电极部(32a1),其由99.50质量%以下的纯度的铝形成;以及第2电极部(32a2),其由纯度高于第1电极部的铝形成且设置在表面与第1电极部之间,工序(a)、(c)在第2电极部与表面在电解液中接触的状态下进行。根据本发明,可以提供有效地对在大面积基板上形成的铝膜进行阳极氧化的方法以及这种方法所用的电极结构。

Patent Agency Ranking