双光束干涉光刻方法和系统

    公开(公告)号:CN102722091A

    公开(公告)日:2012-10-10

    申请号:CN201210229675.4

    申请日:2012-07-04

    Applicant: 苏州大学

    Inventor: 胡进 浦东林

    Abstract: 本发明公开了一种双光束干涉光刻方法和系统,其方法包括:两路光束在加工工件表面实现N次干涉曝光,相邻两次曝光位置之间的错位值为dI/N,其中,N≥2,dI为曝光后的光强分布的周期,所述两路光束干涉后的光场复振幅分布为余弦函数。通过本发明的双光束干涉光刻方法,可以在光刻胶上直接制备大幅面的精密多台阶结构,加工效率高,而且所采用的元器件容易获得,成本低。

    三维图像并行数字构建方法

    公开(公告)号:CN102568031A

    公开(公告)日:2012-07-11

    申请号:CN201110284726.9

    申请日:2011-09-23

    Abstract: 本发明公开了一种三维图像并行数字构建方法,获取三维物体的多个分视角数字图像,其特征在于:采用计算机集群进行并行处理;包括,对图像的规整性处理、分色处理,并按设定的大小分割为子图,主计算节点将各子图按照其视场顺序排列;以同一视场位置的子图为一组处理对象,任务节点并行处理,对图像进行傅立叶逆变换、中心变换处理和迭代傅里叶变换,得到该组子图的夫琅禾费衍射光场分布,并将结果返回至主计算节点;主计算节点汇总后得到全息图H1;利用干涉光和空间光调制器再现三维图像。本发明成功地利用多进程机制进行位相信息的提取,大大减少了算法的运行时间,提高三维成像的效率,为三维图像的工业化印刷提供了可能性。

    一种亚波长埋入式光栅结构偏振片及其制作方法

    公开(公告)号:CN101377555B

    公开(公告)日:2011-05-04

    申请号:CN200810156773.3

    申请日:2008-09-26

    Abstract: 本发明公开了一种亚波长埋入式光栅结构偏振片,包括透明基底、介质光栅、第一金属层、第二金属层,所述介质光栅具有周期性间隔设置的脊部和沟槽,所述第一金属层覆盖于介质光栅的脊部,所述第二金属层覆盖于介质光栅的沟槽中,介质光栅的周期小于入射光波长,其特征在于:在所述第一金属层和第二金属层的顶部上表面覆盖有介质覆盖层,在所述透明基底和介质光栅之间设有高折射率介质层,所述高折射率介质层的折射率在1.6至2.4之间。介质覆盖层既可以对偏振片的透射效率起调制作用,又可以起到保护金属层的作用,防止金属层被氧化和在集成过程中被破坏;在整个可见光波段,该偏振片具有高透射效率、高消光比、宽广的入射角度范围。

    并行光刻直写系统
    77.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101846890A

    公开(公告)日:2010-09-29

    申请号:CN201010170978.4

    申请日:2010-05-13

    Abstract: 本发明公开了一种并行光刻直写系统,包括光源、图形发生系统、光学系统、控制系统、运动系统和工件平台,其特征在于:还设有聚焦伺服系统,所述聚焦伺服系统包括检测光路、传感器和调焦装置,所述光学系统由微缩系统和检测光路构成,其中的微缩系统采用双远心光学系统,检测光路包括检测光源、在双远心光学系统内的第一分光器件、在检测光源和第一分光器件间的第二分光器件,检测光经第一分光器件进入双远心光学系统并照射在工件平台处的工件上,反射光经第一分光器件和第二分光器件被传感器接收,控制系统根据传感器的信号控制调焦装置动作,实现伺服聚焦。本发明通过结合聚焦成像伺服系统,可以实现亚微米尺度微结构的精确光刻。

    用于紫外激光干涉光刻直写系统的光学镜头

    公开(公告)号:CN101510053A

    公开(公告)日:2009-08-19

    申请号:CN200910028297.1

    申请日:2009-02-06

    Abstract: 本发明公开了一种用于紫外激光干涉光刻直写系统的光学镜头,其特征在于:由物方透镜组A和像方透镜组B两组透镜组成,A组透镜由A3、A2、A1三片透镜组成,B组透镜由B1、B2、B3、B4四片透镜组成;光线传播方向依次为A3、A2、A1、B1、B2、B3、B4;其中,A1、B1为弯月型凹透镜,A2、B2为双凸透镜,A3、B3、B4为弯月型凸透镜。本发明的像方透镜采用四片结构设计,因而其数值孔径大,干涉条纹的结构精细;限定物方数值孔径,可以减少透镜数量,降低实际加工的累积工艺误差,并且便于与干涉镜头物方的衍射光栅配合;可以在激光干涉直写系统上实现亚波长结构的制作。

    多视角图形输入的三维图形直写方法

    公开(公告)号:CN101477326A

    公开(公告)日:2009-07-08

    申请号:CN200910028296.7

    申请日:2009-02-06

    Abstract: 本发明公开了一种多视角图形输入的三维图形直写方法,包括下列步骤:(1)获得三维物体的分视角平面数字图像;(2)对每幅图像进行分色并分割成子图,在各图像中对应位置相同的子图为一组;(3)取一组子图,分别采用迭代傅里叶变换原理,计算每一子图在远场的光场分布,提取位相信息,按视角排列,编码成H1;(4)用空间光调制器显示H1,并放置于透镜的前焦面,在透镜后焦面上形成多视角图像再现,引入干涉光,通过干涉光路在记录材料上记录再现图像;(5)对应下一组子图的位置,移动记录材料的位置;(6)重复上述步骤至所有子图记录完毕,实现三维图形的记录。本发明用激光直写的方式制作三维图形,图形具有丰富的信息表达特征。

    一种具有像面全息结构的投影屏

    公开(公告)号:CN101034252A

    公开(公告)日:2007-09-12

    申请号:CN200710039274.1

    申请日:2007-04-10

    Abstract: 本发明公开了一种具有像面全息结构的投影屏,其特征在于:在投影屏幕主体上附着有像面全息信息,所述像面全息信息为在投影屏幕的竖直方向上带有延展趋势的散斑结构,定义组成散斑的微小衍射颗粒结构在竖直方向为长径L,在水平方向为短径W,则1.5W≤L≤10W。本发明同时公开了采用二步成像法制备所述投影屏的方法。本发明的投影屏具有高亮、清晰及透明的特点,对环境的要求不高,适合高端的消费场所使用;也适合追求时尚的人士做家庭影院使用。

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