基于微金属网格的电磁屏蔽罩及其制备方法

    公开(公告)号:CN104185410B

    公开(公告)日:2017-09-01

    申请号:CN201410464874.2

    申请日:2014-09-12

    Abstract: 本发明公开了一种基于微金属网格的电磁屏蔽罩及其制备方法,该方法包括:通过微纳压印方法,在柔性衬底上形成微金属网格沟槽;将纳米导电浆料通过刮涂方式填充到微金属网格沟槽中,并烧结后形成微金属网格导电薄层;通过电铸沉积后在微金属网格沟槽中形成的微金属网格;将沉积后的微金属网格从柔性衬底的微金属网格沟槽中剥离出来,形成镂空的微金属网格;将镂空的微金属网格与相同尺寸的金属薄片复合,形成复合微金属网格;将复合微金属网格固定于凹形模具上,通过压延将复合微金属网格获得与凹形模具相同的形状;分离复合微金属网格,得到形状与凹形模具相同的电磁屏蔽罩。本发明电磁屏蔽罩制作效率高,成本低、并可实现大批量制备。

    纳米转印方法及纳米功能器件

    公开(公告)号:CN105374467B

    公开(公告)日:2017-03-22

    申请号:CN201510696751.6

    申请日:2015-10-23

    Abstract: 本发明公开了一种纳米转印方法及纳米功能器件,其中,纳米转印方法包括如下步骤:S1.在柔性金属基板上涂布光刻胶;S2.对所述涂布光刻胶的柔性金属基板进行光刻,形成沟槽图形;S3.第一次电铸处理,形成图形电极;S4.第二次电铸处理,形成转印层;S5.通过卷对平转印模式,控制所述柔性金属基板,在相应承接基板上转印形成纳米结构材料层。本发明可在同一基板上实现不同材质的纳米电极或纳米结构功能区的转印,或者在同一基板相同区域实现多层复合结构纳米电极和功能区的转印。其利用金属基底上的图形电极作为转移模具,通过电沉积工艺,在转印模具的电极上形成纳米级材料层,并将模具上纳米级材料层转移到相应的柔性基板表面。

    用于紫外激光干涉光刻直写系统的光学镜头

    公开(公告)号:CN101510053A

    公开(公告)日:2009-08-19

    申请号:CN200910028297.1

    申请日:2009-02-06

    Abstract: 本发明公开了一种用于紫外激光干涉光刻直写系统的光学镜头,其特征在于:由物方透镜组A和像方透镜组B两组透镜组成,A组透镜由A3、A2、A1三片透镜组成,B组透镜由B1、B2、B3、B4四片透镜组成;光线传播方向依次为A3、A2、A1、B1、B2、B3、B4;其中,A1、B1为弯月型凹透镜,A2、B2为双凸透镜,A3、B3、B4为弯月型凸透镜。本发明的像方透镜采用四片结构设计,因而其数值孔径大,干涉条纹的结构精细;限定物方数值孔径,可以减少透镜数量,降低实际加工的累积工艺误差,并且便于与干涉镜头物方的衍射光栅配合;可以在激光干涉直写系统上实现亚波长结构的制作。

    多视角图形输入的三维图形直写方法

    公开(公告)号:CN101477326A

    公开(公告)日:2009-07-08

    申请号:CN200910028296.7

    申请日:2009-02-06

    Abstract: 本发明公开了一种多视角图形输入的三维图形直写方法,包括下列步骤:(1)获得三维物体的分视角平面数字图像;(2)对每幅图像进行分色并分割成子图,在各图像中对应位置相同的子图为一组;(3)取一组子图,分别采用迭代傅里叶变换原理,计算每一子图在远场的光场分布,提取位相信息,按视角排列,编码成H1;(4)用空间光调制器显示H1,并放置于透镜的前焦面,在透镜后焦面上形成多视角图像再现,引入干涉光,通过干涉光路在记录材料上记录再现图像;(5)对应下一组子图的位置,移动记录材料的位置;(6)重复上述步骤至所有子图记录完毕,实现三维图形的记录。本发明用激光直写的方式制作三维图形,图形具有丰富的信息表达特征。

    一种金属母板的制作方法
    10.
    发明授权

    公开(公告)号:CN102009517B

    公开(公告)日:2013-04-03

    申请号:CN201010287422.3

    申请日:2010-09-20

    Abstract: 本发明是一种金属母板的制作方法,该金属母板由至少两片金属子板拼接而成,各该金属子板上具有镭射图像的纹路,该方法主要采用电铸的方式,将至少两块金属子板间的拼缝进行填补,其中在该各片金属子板的拼接边上设有凹凸结构,相邻子板间的凹凸结构相互配合。通过该凹凸结构,既增加了金属子板间的电铸强度,又可以实现简单准确的对位,增加了金属母板的成品质量。

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