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公开(公告)号：CN103198995A
公开(公告)日：2013-07-10
申请号：CN201310102064.8
申请日：2013-03-27
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H01J37/244
Abstract: 采用LuAG-Ce荧光屏实现的毛细管放电极紫外光刻光源等离子体状态检测系统，它属于极紫外光刻光源等离子体状态检测技术领域。本发明为了解决现有的极紫外光刻光源等离子体常规检测系统价格昂贵，结构复杂的问题。毛细管输出的极紫外辐射光经过LuAG-Ce荧光屏转换为可见光，该可见光入射到聚焦系统，经该聚焦系统透射的可见光成像于可见光CCD图像传感器上，该可见光CCD图像传感器通过信号线与计算机连接。本发明适用于毛细管放电极紫外光刻光源中等离子状态检测系统中。
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公开(公告)号：CN102435987B
公开(公告)日：2013-05-01
申请号：CN201110390617.5
申请日：2011-11-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01S7/497
Abstract: 基于单支连续太赫兹激光源的RCS测量装置，属于太赫兹雷达散射截面测量技术领域。它解决了2.52THz波段的不同尺寸目标雷达散射截面的测量问题。本发明包括CO2激光泵浦连续太赫兹激光器、斩波器、分光片、电控可变扩束比装置、P3离轴抛物面镜、P2离轴抛物面镜、精密运动平台、M1全反镜、P1离轴抛物面镜、散射信号探测器、第一锁相放大器模块、计算机和斩波器的驱动器。本发明适用于不同尺寸目标雷达散射截面的测量。
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公开(公告)号：CN103048652A
公开(公告)日：2013-04-17
申请号：CN201310025044.5
申请日：2013-01-23
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 带多个偏转电场的无狭缝成像条纹管及其成像处理方法，涉及一种条纹管，为了解决目前的条纹管在没有光纤变换器和狭缝的情况下易引入“时间空间交叠”而导致无法成像的问题。在现有条纹管的内部增加两对偏转电压板，三对偏转电压板构成六棱柱的六个侧面，每对偏转电压板平行设置，每对偏转电压板中的一个偏转电压板接驱动电压信号，另一个偏转电压板接电源地。建立与条纹管获得的条纹图像相同大小的待恢复的空白图像，待恢复的空白图像包括多个待恢复点，遍历每一待恢复点，以待恢复点为原点在三幅条纹图像中沿各自偏转方向以相同速度搜索图像中的强度值，在三个搜索点同时获得相同的强度值时，确定待恢复点的强度值和距离值。它用于条纹管成像。
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公开(公告)号：CN101923161B
公开(公告)日：2012-12-05
申请号：CN201010266335.X
申请日：2010-08-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 共光学系统共探测器的微光被动与激光主动复合成像的探测装置和方法，涉及成像雷达探测装置领域。解决了现有的主被动复合成像装置集成度不高、信息融合复杂以及融合度不高的问题，所述装置的光学系统出射的光能够聚焦到条纹管探测器的光电阴极上，再由耦合透镜接收条纹管探测器的荧光屏发出的光，由CCD相机拍摄。所述方法，它是基于共光学系统共探测器的微光被动与激光主动复合成像的探测装置实现的，一、激光器不发光，获得目标的微光被动像；二、激光器发射激光，获得目标的激光主动四维像；三、将目标的微光被动像和激光主动四维像复合，获取共光学系统共探测器的信息融合图像。本发明适用于微光被动与激光主动复合成像领域。
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公开(公告)号：CN102496551A
公开(公告)日：2012-06-13
申请号：CN201110385541.7
申请日：2011-11-28
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 采用毛细管放电极紫外光刻光源产生EUV辐射光的方法，属于极紫外光刻光源技术领域。它解决了毛细管在EUV光刻光源中，产生的放电碎屑过多易损坏后续的光学收集系统的问题。本发明产生EUV辐射光的方法为，分别通过输气管路同时向毛细管中输入Xe气和Ar气，所述Xe气的流量为0.2sccm～2sccm，Ar气的流量为0.2sccm～10sccm，然后在毛细管两端加载高压脉冲电源，实现13.5nm波长的辐射光输出。本发明适用于产生EUV辐射光。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101876709A
公开(公告)日：2010-11-03
申请号：CN200910311343.9
申请日：2009-12-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 条纹管激光雷达成像探测系统，它涉及一种激光雷达偏振成像探测系统。它解决现有的激光雷达成像不能实时成像、无法同时获得目标的强度信息和距离信息的问题。系统输入的激光光束经格兰激光棱镜透射再经一号1/4波片透射后入射至扩束镜，经扩束镜扩束后入射至待测目标并在所述待测目标上散射后获得散射光，望远镜接收所述散射光并汇聚至二号1/4波片，透射后入射至渥拉斯顿棱镜，经渥拉斯顿棱镜透射后获得两束偏振状态互相垂直的偏振光，两束偏振状态互相垂直的偏振光分别入射至条纹管的两个狭缝中，CCD相机对条纹管的两个狭缝中的光束拍照并将图像输出至计算机中。本发明适用于军事上对目标的高精度探测和识别，尤其适用于隐藏的目标和伪装的目标。
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公开(公告)号：CN101630009A
公开(公告)日：2010-01-20
申请号：CN200910072690.0
申请日：2009-08-17
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于光纤图像变换器和多狭缝条纹管的激光四维成像装置，属于光电探测领域。它是为了解决目前的光电探测器只能对目标探测物的空间信息进行分辨不能同时对时间信息进行分辨，因此不能够反映被测量对象的距离信息，或者采用扫描方式获得了被测量对象的四维信息但帧频数较低同时视场也较小的问题。本发明中光纤组由48×48根等长的光纤组成，光纤组的一端在输入端面板上以48×48的第一阵列A方式排布，光纤组的另一端在输出端面板上以8×288的第二阵列B方式排布，输出端面板与光锥的大端相耦合，光锥的小端与多狭缝条纹管的光电阴极相耦合，图像增强器的输出端与多狭缝条纹管的荧光屏的输入端相耦合。本发明用于被探测物的四维成像。
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公开(公告)号：CN100498379C
公开(公告)日：2009-06-10
申请号：CN200710072569.9
申请日：2007-07-25
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01T1/24
Abstract: 一种纳秒级分辨率的X射线二极管，它涉及一种X射线二极管，为了解决现有的X射线二极管的结构复杂的问题。本发明由阳极金属网、阴极金属和偏压测量电路组成，所述的阳极金属网与阴极金属相对平行设置，偏压测量电路连接阴极金属，所述的偏压测量电路由第一电阻、第二电阻和电容组成，所述的第一电阻的一端连接阴极金属和电容的一端，电容的另一端连接第二电阻的一端，第二电阻的另一端接地，第一电阻的另一端作为偏压输入端和信号输出端。本发明简化了普通X射线二极管的结构，其可在较低真空度和偏压下工作。
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公开(公告)号：CN1206780C
公开(公告)日：2005-06-15
申请号：CN02123786.7
申请日：2002-06-28
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 射频激励共电极折叠双通道波导CO2激光器，它属于相干激光雷达中的光源。各相邻陶瓷片(1)边缘之间的缝隙与上下电极形成波导通道。其中一侧的一条波导通道被陶瓷片(1-2)与其它缝隙内的波导通道隔离形成一条独立的波导通道(2-1)，其余各条相邻波导通道相汇连通形成一个折叠的波导通道(2-2)。它由一台单一激光输出变为同时输出高功率和低功率两束激光的激光器，两光腔共电极，腔长变化趋势一致，激励条件相同，两束激光具有较高的外差频率稳定度。长光腔是折叠结构，光路分布紧凑，既延长了光腔的光程，又提高了激光输出功率，还没有增大电极长度，具有结构紧凑、易加工、低成本的优点。为相干激光雷达提供了一种紧凑、轻便、低价及高效的新型激光光源。
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公开(公告)号：CN118426267A
公开(公告)日：2024-08-02
申请号：CN202410595275.8
申请日：2024-05-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 用于极紫外光刻机LPP光源脉宽可调谐种子光源装置，涉及一种光刻机LPP光源脉宽可调谐种子光源装置。本发明包括一组电光调Q射频波导腔倒空CO2激光器，以及一台高压脉冲信号可调谐装置，高压脉冲信号可调谐装置至少包括一个高速高压开关电路，高速高压开关电路包括第一主MOSFET M1、第二主MOSFET M2；第一主MOSFET M1的漏极与正电源+HV连接，第二主MOSFET M2的源极与地GND连接，第一主MOSFET M1的源极与第二主MOSFET M2的漏极连接；高速高压开关电路用于产生下降沿斜率程序可调的高速高压脉冲信号，高速高压脉冲信号用于对电光调Q射频波导腔倒空CO2激光器倒空腔结构中的调制晶体进行控制。
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