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公开(公告)号：CN101794009A
公开(公告)日：2010-08-04
申请号：CN201010130203.4
申请日：2010-03-23
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于旋转式反射镜的芯片图像采集及定位装置，它涉及一种图像采集装置。本发明为解决现有芯片运动图像采集时，出现图像失真、图像扭曲变形，芯片在按照一定的路径运动到指定的贴片位置过程中，中间要停止一次，导致贴装芯片的工作效率低的问题。芯片贴装时，吸嘴先向下移动至M位置吸取芯片；移动电机反转，吸嘴带着芯片向上移动至N位置，移动底座向上移动的同时带动齿条向上移动，齿轮带动反射镜组件旋转，反射镜组件的外侧端由A点转至B点，光源的光线照在反射镜上，相机通过反射镜获得芯片的静止图像，利用计算机对图像处理，获得芯片相对吸嘴中心坐标系的位置误差；启动旋转电机，吸嘴转动，完成芯片角度误差的校正。本发明用于贴装芯片。
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公开(公告)号：CN101436562B
公开(公告)日：2010-06-02
申请号：CN200810209690.6
申请日：2008-12-12
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H01L21/677 , B25J3/00 , B25J18/00 , B25J19/00
Abstract: 双臂晶圆传输机械手，它涉及一种晶圆传输机械手。本发明解决了现有的晶圆传输机械手存在的线路及气管连接的可靠性低、使用寿命短、竖直方向行程受限制而不能满足竖直方向大伸缩比运动的需求和拆装维修不便的问题。本发明的辅助丝杠驱动总成的辅助丝杠轴的上端穿过中法兰盘并保持悬浮状态，主丝杠驱动总成的主丝杠轴的上端穿过中法兰盘、Z轴滑动支架、T轴下法兰盘、T轴上法兰盘和R轴下法兰盘并保持悬浮状态，主花键导轨总成的主花键导轨花键轴的下端与中法兰盘固接，走线模块总成设置在T轴上法兰盘和R轴下法兰盘之间。本发明具有线路及气管连接的可靠性高、使用寿命长、实现了竖直方向较大的行程和拆装维修极方便的优点。
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公开(公告)号：CN101582652A
公开(公告)日：2009-11-18
申请号：CN200910072375.8
申请日：2009-06-26
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明提供了一种自带信号发生器的高动态大功率桥式压电陶瓷驱动电源。它包括信号发生单元、功放模块和MCU单元3个部分，信号发生单元和功放模块中间采用MCU单元进行连接并实现键盘液晶等控制功能，功放模块输出对PZT致动器进行驱动，MCU单元还连接有键盘、液晶和串口，功放模块连接模拟输入单元，MCU单元和功放模块分别连接保护电路，信号发生单元、功放模块和MCU单元分别连接供电电源单元。本发明能够用于精细电火花加工等对动态和功率要求比较高的应用场合，采用FPGA实现自带信号发生单元，并采用桥式电路进行信号放大，实现高动态大功率输出等功能。
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公开(公告)号：CN100342211C
公开(公告)日：2007-10-10
申请号：CN200510010288.1
申请日：2005-08-26
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 双光栅位移传感器计数方式的位置检测装置及其检测方法，它具体涉及基于光栅位移传感器的大行程、高精度、高速度的位置检测装置及其方法，它是为了解决单个精密光栅尺无法同时达到大行程、高速度和高精度的位置检测要求的问题。本发明装置中微米级光栅位移传感器和纳米级光栅位移传感器的输出端分别连接计数及切换电路的两个输入端。本发明采用双光栅位移传感器计数方式，即在高速运动阶段由微米级光栅位移传感器检测高速位移；当进入低速运动时刻，由纳米级光栅位移传感器检测系统运动位移。本发明解决了现有的位置检测单元测量高速度与高精度相矛盾的问题，达到了cm级的测量行程、m/s级的测量速度和nm级的测量精度。
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公开(公告)号：CN1988197A
公开(公告)日：2007-06-27
申请号：CN200610151114.1
申请日：2006-12-08
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H01L41/107 , H02N2/00
Abstract: 本发明涉及的是一种基于电压与电流复合控制的压电陶瓷驱动电源。它包括压电陶瓷Z、连接于压电陶瓷两端的高压运算放大器A1和内外环复合控制电路，其中内环通过在压电陶瓷Z上串接反馈电阻R1构成电流控制环，外环通过运算放大器A2、电阻R2及连接于R2和A1输出端间的相互并联的可调电阻R4、可调电容C1构成比例积分控制器，实现外环的电压反馈。对压电陶瓷驱动电源进行测试，施加控制电压对压电陶瓷充电一段时间，以固定周期检测压电陶瓷的位移量，测得基于复合控制的压电陶瓷在范围是0－10μm时，最大带宽2.5kHz，最小稳定频率0.1Hz。开环阶跃响最小稳定时间为小于1ms，最小定位误差小于4nm。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1320339C
公开(公告)日：2007-06-06
申请号：CN03132436.3
申请日：2003-06-12
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明公开一种测量激光光源输出功率的仪器——基于半导体致冷器的光功率计。它由吸收激光能量的黑体、设置在黑体内的热敏电阻、致冷器、散热片、设置在散热片上的热敏电阻、第一电阻(R1)、第二电阻(R2)、差动运算放大和功率放大电路和显示电路组成，致冷器的吸热体与黑体的表面紧密接触，差动运算放大和功率放大电路的输出端接显示电路的输入端和致冷器的输入端，致冷器的输出端接地。温度稍有变化，差动运算放大和功率放大电路即会开始工作，因此对输入光功率有良好的响应，半导体致冷器结构简单、工作可靠、价格低廉，把半导体致冷器用在本发明上，使本发明的制造成本大大降低，本发明具有重量轻、体积小和制造成本低的优点。
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公开(公告)号：CN1962209A
公开(公告)日：2007-05-16
申请号：CN200610151113.7
申请日：2006-12-08
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B25J9/08
Abstract: 本发明提供的是一种三支链六自由度并联柔性铰链微动机构。它包括基平台、动平台、设置于基平台上的驱动单元和通过柔性铰关节分别与驱动单元和动平台连接的三个支杆，所述的驱动单元包括安装在基平台上的三个弹性平板和与弹性平板相连的压电陶瓷驱动器，基平台上的三个弹性平板一体加工，每个弹性平板上连接两个压电陶瓷驱动器，两个压电陶瓷驱动器呈直角分布。本发明的三支链六自由度并联微动结构具有结构简洁紧凑，建模方便，装配误差小，有利于保证运动精度等优点。
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公开(公告)号：CN1306247C
公开(公告)日：2007-03-21
申请号：CN200510010286.2
申请日：2005-08-26
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 宏/微双重驱动的大行程高速纳米级精度的平面定位系统，它涉及一种平面定位系统。本发明的目的是为解决现有高速高精度定位系统在行程、速度/加速度和精度各有不足，而又各自独立的问题。本发明的X轴微动平台(19)与X轴宏动平台(16)之间设有X轴柔性铰链(17)，X轴压电陶瓷(18)设置在X轴微动平台(19)内，内导向板(28)和外导向板(30)之间固定有缓冲铰链(29)，Y轴压电陶瓷(24)的一端与Y轴微动平台(23)相连接，两个轴承(34)分别与Y轴宏/微动平台(8)上的内导向板(28)和外导向板(30)滚动连接。本发明的系统既满足了厘米级的运动范围和高速、高加速度的要求，又达到了纳米级的定位精度。工作范围为25mm×25mm，分辨率为10nm，重复定位精度为±20nm，X轴和Y轴的最大加速度分别为50m/s2和100m/s2。
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公开(公告)号：CN1741362A
公开(公告)日：2006-03-01
申请号：CN200510010340.3
申请日：2005-09-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明提供的是一种基于电流控制的压电陶瓷驱动电源。它包括压电陶瓷和连接与压电陶瓷两端的高压运算放大器，在压电陶瓷上串接有反馈电阻。以恒定的充电电流对压电陶瓷充电一段时间后，立刻以同样大小的电流放电，并持续同样的时间，在整个循环过程中，以固定周期检测压电陶瓷的位移量。测量基于电流控制的压电陶瓷迟滞曲线可以看出，循环时间为20ms，位移范围是0－3.7um，迟滞仅为1.6％，线性度为2.7％。开环阶跃响应输出位移稳定时间为5ms左右，最大定位误差±15nm。
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公开(公告)号：CN1513660A
公开(公告)日：2004-07-21
申请号：CN03132554.8
申请日：2003-08-06
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明公开了一种微型零件的塑性成形设备——一种精密微塑性成形系统，它包括模具组件、至少二根电热棒(2)、施压机构(3)、进给机构(4)、温控组件和力传感器(6)，上冲头、下冲头和凹模共同完成坯料的塑性成形。模具组件的上方由下向上依次设置有施压机构(3)、力传感器(6)和进给机构(4)，温控组件与电热棒(2)相连接。电热棒(2)进行通电加热，温控组件通过控制电热棒(2)保证模座(1－2)保持在给定的恒温，由于加工成形的零件的外形尺寸都在微米级，加载速度稍快或位移量稍大所造成的微小失误都会给零件的质量带来极大影响，因此本发明的系统采用了压电陶瓷驱动器来施压，通过计算机控制加载速度和位移量，从而保证了加工质量。本发明具有设计合理、结构严谨和工作可靠的优点。
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