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公开(公告)号：CN101189489A
公开(公告)日：2008-05-28
申请号：CN200680019630.7
申请日：2006-06-07
Applicant: 松下电器产业株式会社
Inventor： 大越伟生
CPC classification number: G01P1/023 , G01C19/56 , G01P15/09 , G01P15/097
Abstract: 本发明提供一种复合传感器，包括外部保持部(6)、通过连接部(5)支撑在上述外部保持部(6)内的内部保持部(4)、设置在上述内部保持部(4)内的振动型角速度传感器元件(1)和加速度传感器元件(2)，上述内部保持部(4)被支撑为，一方面实质上限制上述加速度传感器元件(2)沿检测方向移动，另一方面允许上述振动型角速度传感器元件(1)沿至少由于角速度而受到科里奥利力的方向移动。通过该结构，可实现复合传感器的小型化。
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公开(公告)号：CN1926434A
公开(公告)日：2007-03-07
申请号：CN200580006749.6
申请日：2005-02-14
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: G01P15/09 , G01P15/097 , G01P15/18 , G01P2015/084
Abstract: 本发明涉及振动型压电加速度传感器，其包括以下元件：成直线地对向配置于框架的一组振动膜；支承该振动膜的支承体；保持该支承体于直线方向自由滑动的保持部；以及与所述一组振动膜正交的另一组振动膜成直线地对向配置，并检测X、Y方向两轴的加速度，由此结构，由于通过保持部传送至支承体的加速度，振动膜发生伸缩且固有振动频率发生改变，从而可检测加速度并得到较高的共振频率的变化率，且可不受温度变化的影响而检测两轴加速度。
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公开(公告)号：CN1430046A
公开(公告)日：2003-07-16
申请号：CN02160458.4
申请日：2002-12-30
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor： 山下宗治
CPC classification number: G01P15/097 , G01L1/162 , G01P15/09
Abstract: 一种力学量传感器，其中，2个压电振子(Sa、Sb)设置成因加速度等力学量产生的应力为相互相反。电流电压转换－信号加法电路(11)将在2个压电振子(Sa、Sb)中流动的电流信号转换成电压信号。电压放大－限幅电路(12)将这两个电压信号的和信号放大，使与电流信号同相位的电压信号(Vosc)正反馈产生振荡。相位差电压转换电路(13)产生与电压转换后的Sa信号和Sb信号的相位差成正比的电压信号。放大－滤波电路(14)对其直流放大，除去不需要的频率成分。从而可以不需要进行为降低2个压电振子的特性离散的电路部的调整以及消除这种离散要因，并且能使压电振子和电路部之间相隔一定距离且不需要用相位位移电路控制相位位移量。
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公开(公告)号：CN108761128A
公开(公告)日：2018-11-06
申请号：CN201811031507.8
申请日：2018-09-05
Applicant: 中国工程物理研究院电子工程研究所
Abstract: 本发明公开一种压电振动激励自诊断MEMS加速度计表芯及加速度计。所述加速度计表芯包括：上极板、中间极板、下极板和振动台，所述中间极板位于所述上极板和所述下极板正中间，所述中间极板通过一根悬梁连接到固定位置，所述上极板与所述中间极板构成第一电容，所述下极板与所述中间极板构成第二电容，所述第一电容与所述第二电容构成一对差分电容；所述振动台包括反馈层和振动层，所述反馈层位于所述下极板下侧，所述振动层位于所述反馈层下侧；所述反馈层表面引出反馈输出正电极和反馈输出负电极，所述振动层表面引出驱动正电极和驱动负电极。采用本发明的表芯和加速度计能够实现对振动层振动幅度的检测。
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公开(公告)号：CN107449938A
公开(公告)日：2017-12-08
申请号：CN201710871412.6
申请日：2017-09-24
Applicant: 昆山迪奥网络科技有限公司
Inventor： 董晓华
Abstract: 本发明公开了一种用于风力发电机叶片工作状态的无线监测系统，包括微处理器、供电电路、压电加速度传感器、信号调理电路、无线GPRS发送电路和无线GPRS接收电路，所述压电加速度传感器安装在风力发电机叶上，所述压电加速度传感器通过信号调理电路与微处理器的信号输入端相连接，所述微处理器的信号输出端与无线GPRS发送电路相连接，所述无线GPRS发送电路与无线GPRS接收电路的匹配设置，所述无线GPRS接收电路与上位机相连接。本发明测量效果佳，便于安装实现，具有良好的应用前景。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103534612B
公开(公告)日：2017-10-31
申请号：CN201280016682.4
申请日：2012-02-07
Applicant: 离子地球物理学公司
Inventor： K.K.邓
CPC classification number: H02N1/006 , G01H11/08 , G01P15/09 , G01P15/0915 , G01P15/123 , G01P15/125 , G01P15/18 , G01P2015/0805 , G01P2015/0828 , G01V1/18 , G01V1/38 , G01V13/00 , Y10T29/49005
Abstract: 本发明公开了用于形成换能器的方法、设备和系统。换能器可包括由第一薄板材料形成的底板，由第二薄板材料形成的顶板，以及中部。中部包括：由第三薄板材料形成的中上元件，中上元件具有中上框架，中上质量体，和用于将中上质量体附连到中上框架上的多个中上附连构件。中部还可包括由第四薄板材料形成的中央元件，中央元件具有中央框架和中央质量体。
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公开(公告)号：CN104995484B
公开(公告)日：2017-07-28
申请号：CN201480007198.4
申请日：2014-01-29
Applicant: 富士胶片株式会社
IPC: G01C19/5783
CPC classification number: G01C19/5712 , G01C19/56 , G01C25/00 , G01P15/09 , G01P15/097
Abstract: 用薄膜形成技术形成构成隔膜部(12)的1层以上的振动板层(21,22)。设根据角速度传感器(10)的构造体的尺寸及材料的弹性参数计算的共振振动模式的共振频率为f千赫，设重锤部(14)的质量为M毫克，设隔膜部(12)的周长为r米，设压电体层(32)上产生的应力为σp帕斯卡，设膜厚为tp米，设由包括下部电极和振动板层(21,22)的多层构成的振动板部分的从重锤部(14)一侧开始数第n层上产生的应力为σn帕斯卡，设膜厚为tn米时，(n是自然数)，用Teff＝r(σptp+Σσntn)/M表示的Teff满足{(‑0.36f2+210)/33}≤Teff≤{(0.44f2+210)/33}。
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公开(公告)号：CN106918719A
公开(公告)日：2017-07-04
申请号：CN201510994488.9
申请日：2015-12-28
Applicant: 软控股份有限公司
Abstract: 本发明公开了一种基于声表面波技术的无线射频加速度传感器。包括：设置于压电基片上的声表面波器件、无线射频器件和力转换器件，其中，力转换器件，设置于压电基片的下表面，用于将物体加速度转换为外力作用于压电基片上；声表面波器件，设置于压电基片的上表面，用于将外力作用于压电基片产生的形变量转换为电信号；无线射频器件，设置于压电基片的上表面，与声表面波器件中的天线连接，用于接收和发射电信号。本发明解决了由于无法对加速度数值进行检测，导致的无法精确测量加速度的技术问题。
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公开(公告)号：CN106153981A
公开(公告)日：2016-11-23
申请号：CN201610347799.0
申请日：2016-05-24
Applicant: 中国人民解放军海军工程大学
Abstract: 本发明公开了一种IEPE型智能加速度传感器及其工作方法，包括压电晶体模块1，用于将加速度转换为电荷信号；前置放大器模块2，用于对电荷信号进行放大后转换为电压信号进行输出等。本发明可以对传感器进行现场校验，从而对传感器的质量状态进行合理的判断。同时，本发明还具有传感器电子数据表窗口功能，通过通信方式读取传感器的重要信息，实现传感器的现场追踪及现场灵敏度校准值设置，同时可现场改写传感器的内置灵敏度等信息。
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公开(公告)号：CN103547895B
公开(公告)日：2016-08-24
申请号：CN201280016638.3
申请日：2012-02-07
Applicant: 离子地球物理学公司
Inventor： K.K.邓
CPC classification number: H02N1/006 , G01H11/08 , G01P15/09 , G01P15/0915 , G01P15/123 , G01P15/125 , G01P15/18 , G01P2015/0805 , G01P2015/0828 , G01V1/18 , G01V1/38 , G01V13/00 , Y10T29/49005
Abstract: 本发明公开了结合地球物理勘测，辅助感测水下信号的方法和设备。一实施例涉及一种换能器，换能器包括联接到基体的悬臂。悬臂可包括梁和相对于梁有角度地定向的第一联接表面，并且该基体可包括相对于梁有角度地定向并且基本上与悬臂的第一联接表面平行的第二联接表面。换能器还可包括联接于悬臂的第一联接表面与基体的第二联接表面之间的感测材料。
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