公开(公告)号：CN108627675A

公开(公告)日：2018-10-09

申请号：CN201810202798.6

申请日：2018-03-12

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 佐藤健太

IPC: G01P15/097 ,  G01P15/09

CPC classification number: G01P15/097 ,  G01P1/023 ,  G01P2015/0828 ,  G01P15/09 ,  G01P15/18

Abstract: 本发明提供了物理量检测器、物理量检测装置、电子设备以及移动体。本发明的物理量检测器具备基板部和锤，所述基板部具备：基部；连接于基部的可动部；从基部延伸的支撑部；从支撑部延伸的延伸部；以及固定于基部和可动部的物理量检测元件。所述锤固定于可动部。在从延伸部的厚度方向的俯视中，延伸部和锤重叠。

公开(公告)号：CN108627148A

公开(公告)日：2018-10-09

申请号：CN201810181996.9

申请日：2018-03-06

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 大槻哲也 ,  井出次男

IPC: G01C19/5656 ,  G01C19/5649

CPC classification number: G01P15/123 ,  G01C19/5607 ,  G01L19/147 ,  G01P1/006 ,  G01P1/023 ,  G01P15/0802 ,  G01P2015/0828 ,  G01C19/5656 ,  G01C19/5649

Abstract: 物理量传感器、电子设备以及移动体。本发明提供降低伴随接合时的热应力的变形的影响的小型物理量传感器。物理量传感器(1)具有：加速度传感器(10)，其具有加速度传感器元件(12)和收纳加速度传感器元件(12)的封装(14)；支承部件(20)，其具有第1面(22)，在第1面(22)支承加速度传感器(10)；以及IC芯片(30)，支承部件(20)的与第1面(22)相对的第2面(24)被接合于该IC芯片(30)，当设在从加速度传感器(10)和支承部件(20)的层叠方向俯视时，由封装(14)的外缘包围的区域的面积为S1，第1面(22)的面积为S2的情况下，满足S1≥S2。

公开(公告)号：CN107963606A

公开(公告)日：2018-04-27

申请号：CN201710979387.3

申请日：2017-10-19

Applicant: 罗伯特·博世有限公司

Inventor： M·科斯特 ,  R·艾德

IPC: B81B3/00 ,  B81C1/00

CPC classification number: G01P15/0802 ,  B81B2203/0154 ,  G01P15/032 ,  G01P15/08 ,  G01P2015/0828 ,  G01P2015/0851 ,  B81B3/0027 ,  B81B2201/0228 ,  B81C1/0019

Abstract: 本发明涉及用于传感器元件的微机械弹簧(100)，所述微机械弹簧具有：-沿传感轴线(A)构造的至少两个弹簧区段(10、20)；-其中，所述至少两个弹簧区段(10、20)分别具有限定的长度(L1、L2)；并且-其中，所述至少两个弹簧区段(10、20)具有限定地不同的宽度(B1、B2)。

公开(公告)号：CN105008935A

公开(公告)日：2015-10-28

申请号：CN201480009524.5

申请日：2014-02-11

Applicant: 萨甘安全防护公司

Inventor： R·布里森 ,  V·拉戈

IPC: G01P15/13 ,  G01P15/08

CPC classification number: G01P15/125 ,  G01P15/0802 ,  G01P15/131 ,  G01P15/18 ,  G01P2015/0828

Abstract: 一种加速度计传感器，包括具有静止的第一和第二电极以及第三电极的至少一个静电摆式加速度计，所述静止的第一和第二电极被固定到外壳并被连接到激励电路，而所述第三电极由连接到外壳的摆锤承载以便是可移动的且被连接到检测电路。所述激励电路具有连接到开关的输出，所述开关被连接到第一和第二电极，所述开关具有用于选择性地将所述第一电极或第二电极连接到所述激励电路的第一连接位置和第二连接位置。所述检测电路、激励电路、开关和检测电路被连接到控制电路，所述控制电路被布置成使得第一和第二电极由脉冲串按使得将摆锤维持在预设点位置的方式以及按使得确定摆锤要经受的加速度的方式来激励。一种用于控制这样的传感器的方法。

公开(公告)号：CN102589758B

公开(公告)日：2015-04-15

申请号：CN201210014848.0

申请日：2012-01-17

Applicant: 日本电波工业株式会社

Inventor： 小山光明 ,  武藤猛 ,  岩井宏树 ,  天野芳明 ,  市川了一

IPC: G01L1/14 ,  G01L9/12

CPC classification number: G01P15/097 ,  G01L1/142 ,  G01L1/162 ,  G01P1/023 ,  G01P15/125 ,  G01P2015/0828 ,  G01P2015/0871

Abstract: 本发明提供一种能够高精度且容易地检测施加于压电片的外力的外力检测装置。在容器(1)内用悬臂支承晶体片(2)。在晶体片(2)的例如中央部，在上表面和下表面分别形成激励电极(31、41)。在晶体片(2)的下表面侧的前端部形成经由引出电极(42)与下表面侧的激励电极(41)连接的可动电极(5)，在容器(1)的底部与该可动电极(5)相对地设置有固定电极(6)。将上表面侧的激励电极(31)和固定电极(6)与振荡电路(14)连接。当对晶体片(2)施加外力而弯曲时，可动电极(5)与固定电极(6)之间的电容发生变化，将该电容变化作为晶体片的振荡频率的变化而掌握。

公开(公告)号：CN103547895A

公开(公告)日：2014-01-29

申请号：CN201280016638.3

申请日：2012-02-07

Applicant: 离子地球物理学公司

Inventor： K.K.邓

IPC: G01H11/08 ,  G01P15/09 ,  G01P15/12 ,  G01P15/18 ,  G01V1/18

CPC classification number: H02N1/006 ,  G01H11/08 ,  G01P15/09 ,  G01P15/0915 ,  G01P15/123 ,  G01P15/125 ,  G01P15/18 ,  G01P2015/0805 ,  G01P2015/0828 ,  G01V1/18 ,  G01V1/38 ,  G01V13/00 ,  Y10T29/49005

Abstract: 本发明公开了结合地球物理勘测，辅助感测水下信号的方法和设备。一实施例涉及一种换能器，换能器包括联接到基体的悬臂。悬臂可包括梁和相对于梁有角度地定向的第一联接表面，并且该基体可包括相对于梁有角度地定向并且基本上与悬臂的第一联接表面平行的第二联接表面。换能器还可包括联接于悬臂的第一联接表面与基体的第二联接表面之间的感测材料。

公开(公告)号：CN102792170A

公开(公告)日：2012-11-21

申请号：CN201180012940.7

申请日：2011-02-24

Applicant: 阿尔卑斯电气株式会社

Inventor： 宫武亨 ,  高桥亨 ,  小林俊宏 ,  宇都宜隆 ,  矢泽久幸 ,  大川尚信

IPC: G01P15/125 ,  B81B3/00 ,  H01L29/84

CPC classification number: B81B3/0086 ,  B81B3/0051 ,  B81B2201/0235 ,  G01P15/0802 ,  G01P15/125 ,  G01P2015/0828 ,  G01P2015/0837

Abstract: 本发明的目的尤其在于提供能够抑制可动部即可动电极与固定电极层间的电短路的物理量传感器。物理量传感器具备：基材，其具有锚定部(29)及在锚定部上经由弹簧部被支承成能够沿高度方向上变位的可动部(34)；对置部(20)，其与基材在高度方向上对置且固定支承锚定部，并且与可动部在高度方向上空出间隔地对置；固定电极层(28)，其形成在对置部的表面上；突起部(23)，其表面为对可动部限位的限位面；固定支承部(22)，其设置在对置部的表面上；接合部(26)，其由将固定支承部和锚定部间接合的金属层构成。突起部(23)从对置部(20)的表面突出，在下凹的对置部的表面上配置有固定电极层(28)，突起部(23)的表面比固定电极层(28)的表面在高度方向上突出。

公开(公告)号：CN100443900C

公开(公告)日：2008-12-17

申请号：CN200510067030.5

申请日：2005-04-21

Applicant: 爱知制钢株式会社

Inventor： 本藏义信 ,  山本道治 ,  幸谷吉晃 ,  森正树 ,  加古英儿 ,  玄番弘荣 ,  浅野巧 ,  石川尚树

IPC: G01P15/08

CPC classification number: G01P1/006 ,  G01P1/023 ,  G01P15/105 ,  G01P15/18 ,  G01P2015/0828

Abstract: 本发明提供了一种在采用磁性检出元件检测磁体位移的加速度传感器，并且，该加速度传感器是有效地抑制周边外界磁场的影响而提高检测精度的加速度传感器。本发明所提出的加速度传感器(1)，具有悬臂梁结构，包括了以其固定端(221)为中心作往复动作的弹性变形运动的悬臂(22)、在悬臂(22)的自由端(222)上设置的磁体(21a(b))、以及在悬臂(22)的往复动作领域的外周面上配置了磁性检出头部(23b)的加速度检测单元。并且，本发明所提出的加速度传感器(1)，为了补正磁性检出头部(23a)、(23b)输出的检出信号，配备了分别检测作用于磁性检出头部(23a)、(23b)和磁体(21a)、(21b)的周边外界磁场的周边外界磁场检出部(43a)、(43b)。

公开(公告)号：CN101115675A

公开(公告)日：2008-01-30

申请号：CN200580047787.6

申请日：2005-12-06

Applicant: 皇家飞利浦电子股份有限公司

Inventor： 帕德罗格·欧马奥尼 ,  弗兰克·卡里斯 ,  特奥·克希斯 ,  克里斯蒂安·帕克特

IPC: B81B7/00

CPC classification number: G01P15/08 ,  B81B7/02 ,  B81B2201/0235 ,  B81C2201/019 ,  G01P15/0802 ,  G01P2015/0828 ,  H04M2250/12 ,  Y10T29/49002

Abstract: 本发明的一个实施例包括多传感器组件(20)。该组件(20)具有：由一个晶片层(51)定义的机电运动传感器构件(57)；由两个或更多个其他晶片层(31、41)中第一晶片层承载的第一传感器(32)；以及由所述其他晶片层(31、41)中第二晶片层承载的第二传感器(42)。所述一个晶片层(51)位于其他晶片层(31、41)之间，从而相应地把所述传感器构件(57)封入所述组件(20)的空腔(56)中。

公开(公告)号：CN101111771A

公开(公告)日：2008-01-23

申请号：CN200580047589.X

申请日：2005-12-07

Applicant: 霍尼韦尔国际公司

Inventor： P·W·德怀尔

IPC: G01P15/125 ,  G01P15/13

CPC classification number: G01P15/125 ,  G01P15/132 ,  G01P2015/0828

Abstract: 一种力再平衡加速计(20)，其包括二氧化硅基的检测质量块(28)，该检测质量块设有与激励环(61)接合的电容元件(40)，激励环由超因瓦合金制造。磁性组件(60)包括激励环(61)、磁铁(63)、和极片(65)。激励环(61)的超因瓦合金大致匹配二氧化硅基的检测质量块(28)的热膨胀系数，以充分减少由温度变化所产生的变形信号。加速计的运动使得电容元件(40)产生与加速运动成比例的信号，加速计经历的温度变化不产生该信号。