公开(公告)号：CN101861517A

公开(公告)日：2010-10-13

申请号：CN200880116558.9

申请日：2008-11-06

Applicant: 兰姆德-X公司

Inventor： D·贝格休恩 ,  L·乔尼思

IPC: G01N21/956 ,  G01B11/25 ,  G01M11/02

CPC classification number: G01N21/95623 ,  G01B11/25 ,  G01M11/0264 ,  G01M11/0278

Abstract: 本发明涉及一种用于光学检验相位和振幅对象2的傅立叶变换偏转测量系统和方法，该相位和振幅对象2被放置在光栅3和成像系统4之间的光径中、与光栅3的距离为h。光栅3形成了在图像平面的x，y正交轴上分别具有空间频率μ0，v0的基于对比的周期图形，以及所述成像系统4包括物镜5和含有多个光敏元件的成像传感器6。空间频率μ0，v0等于或小于成像系统在x、y轴上的相应尼奎斯特频率。根据本发明的方法，首先通过物镜5、由成像传感器6获取被相位和振幅对象2失真的所述图形的第一图像。而后，在空间频域中计算所述第一图像的傅立叶变换；选择所述傅立叶变换的至少一个一阶或更高阶谱，并在所述频域中将其移位，以便将它基本置于所述傅立叶变换的中心频率；以及对所述傅立叶变换的所述至少一个移位的一阶或更高阶谱执行傅立叶逆变换，以便获取复函数其中I(x，y)是强度，而是根据以下公式分别与在x，y轴方向上的光偏转角θx，θy有关的相位。