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公开(公告)号:CN112856227B
公开(公告)日:2022-12-02
申请号:CN202110167017.6
申请日:2021-02-05
Applicant: 矽翔微机电(杭州)有限公司
Abstract: 本发明提供一种智能气瓶测控装置及控制方法,涉及燃气设备技术领域。该智能气瓶测控装置,包括压力调节单元、流量测量单元和数据处理及远传模块,压力调节单元包括压力调节本体、压力调节阀和第一连接端口;流量测量单元包括流量测量本体、流量传感元件和第二连接端口,流量测量本体内具有第二流道,第二流道与第一流道连通,流量传感元件安装于流量测量本体,且流量传感元件的感应部位位于第二流道;流量测量本体固接于压力调节本体;第二连接端口设置于流量测量本体的一端,且与第二流道连通。该智能气瓶测控装置具有测量精度高、安全性高、测量便利、易于远程管理及成本低的优点。
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公开(公告)号:CN112179431A
公开(公告)日:2021-01-05
申请号:CN202010862115.7
申请日:2020-08-25
Applicant: 矽翔微机电(杭州)有限公司
Abstract: 本发明提供了一种气体流量计,涉及气体计量设备领域,为解决现有气体计量方式存在的气体贸易计量不准确的问题而设计。该气体流量计包括计量单元和通信单元,计量单元包括气体流道、MEMS传感器组件及控制模块,气体流道提供被检测气体稳定的流场;MEMS传感器组件包括均与控制模块电连接的MEMS热飞行时间传感器和可燃气体浓度传感器,MEMS热飞行时间传感器包括沿气体流动方向依次设置的第一加热元件和多个热敏元件,多个热敏元件中的至少两个至第一加热元件的距离为非整数倍关系,MEMS热飞行时间传感器被配置为测量气体的体积流量和质量流量;通信单元与控制模块电连接。本发明提供的气体流量计计量结果准确。
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公开(公告)号:CN113029257B
公开(公告)日:2025-05-06
申请号:CN202110175338.0
申请日:2021-02-09
Applicant: 矽翔微机电(杭州)有限公司
Abstract: 本发明提供一种复合涡街流量计,涉及流体测量技术领域。该复合涡街流量计,包括流量计主体单元、控制单元和显示单元,流量计主体单元包括管体、涡街发生体及检测组件,涡街发生体安装于管体内,涡街发生体设有检测通道。检测组件包含检测热飞行时间和量热传感元件,检测热飞行时间和量热传感元件位于检测通道内;其中,检测热飞行时间和量热传感元件为硅基传感器,且与控制单元连接。该复合涡街流量计能够对管体内产生涡街状态以及未产生涡街状态的流体进行体积流量、质量流量及密度的检测,从而达到扩展测量动态范围的目的,同时能够测量不同状态的流体。
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公开(公告)号:CN112179431B
公开(公告)日:2021-09-21
申请号:CN202010862115.7
申请日:2020-08-25
Applicant: 矽翔微机电(杭州)有限公司
Abstract: 本发明提供了一种气体流量计,涉及气体计量设备领域,为解决现有气体计量方式存在的气体贸易计量不准确的问题而设计。该气体流量计包括计量单元和通信单元,计量单元包括气体流道、MEMS传感器组件及控制模块,气体流道提供被检测气体稳定的流场;MEMS传感器组件包括均与控制模块电连接的MEMS热飞行时间传感器和可燃气体浓度传感器,MEMS热飞行时间传感器包括沿气体流动方向依次设置的第一加热元件和多个热敏元件,多个热敏元件中的至少两个至第一加热元件的距离为非整数倍关系,MEMS热飞行时间传感器被配置为测量气体的体积流量和质量流量;通信单元与控制模块电连接。本发明提供的气体流量计计量结果准确。
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公开(公告)号:CN113029257A
公开(公告)日:2021-06-25
申请号:CN202110175338.0
申请日:2021-02-09
Applicant: 矽翔微机电(杭州)有限公司
Abstract: 本发明提供一种复合涡街流量计,涉及流体测量技术领域。该复合涡街流量计,包括流量计主体单元、控制单元和显示单元,流量计主体单元包括管体、涡街发生体及检测组件,涡街发生体安装于管体内,涡街发生体设有检测通道。检测组件包含检测热飞行时间和量热传感元件,检测热飞行时间和量热传感元件位于检测通道内;其中,检测热飞行时间和量热传感元件为硅基传感器,且与控制单元连接。该复合涡街流量计能够对管体内产生涡街状态以及未产生涡街状态的流体进行体积流量、质量流量及密度的检测,从而达到扩展测量动态范围的目的,同时能够测量不同状态的流体。
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公开(公告)号:CN112856227A
公开(公告)日:2021-05-28
申请号:CN202110167017.6
申请日:2021-02-05
Applicant: 矽翔微机电(杭州)有限公司
Abstract: 本发明提供一种智能气瓶测控装置及控制方法,涉及燃气设备技术领域。该智能气瓶测控装置,包括压力调节单元、流量测量单元和数据处理及远传模块,压力调节单元包括压力调节本体、压力调节阀和第一连接端口;流量测量单元包括流量测量本体、流量传感元件和第二连接端口,流量测量本体内具有第二流道,第二流道与第一流道连通,流量传感元件安装于流量测量本体,且流量传感元件的感应部位位于第二流道;流量测量本体固接于压力调节本体;第二连接端口设置于流量测量本体的一端,且与第二流道连通。该智能气瓶测控装置具有测量精度高、安全性高、测量便利、易于远程管理及成本低的优点。
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公开(公告)号:CN111964742A
公开(公告)日:2020-11-20
申请号:CN202010747126.0
申请日:2020-07-29
Applicant: 矽翔微机电(杭州)有限公司
Inventor: 黄立基
IPC: G01F1/86
Abstract: 本发明提供了一种MEMS流量传感芯片及其制造方法和流量传感器,涉及流量测试领域,为解决现有热式质量流量传感芯片容易受到气体组分变化的影响,导致此类流量传感器应用受到限制的问题而设计。该MEMS流量传感芯片包括基体和设置于基体的多个传感元件,多个传感元件包括量热元件、飞行时间感测元件和风速感测元件,基体设置有加热元件,加热元件用于为飞行时间感测元件、量热元件和风速感测元件提供热量,飞行时间感测元件被配置为计量流体的体积流量和流体的热物性值,量热元件和风速感测元件被配置为计量流体的质量流量和流速。本发明提供的MEMS流量传感芯片及流量传感器在测量质量流量过程中可同时测量气体的热物性、流速和体积流量。
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公开(公告)号:CN111795730A
公开(公告)日:2020-10-20
申请号:CN202010745966.3
申请日:2020-07-29
Applicant: 矽翔微机电(杭州)有限公司
IPC: G01F1/86
Abstract: 本发明提供了一种气体热式质量流量计,涉及气体流量测量领域,为解决现有气体热式质量流量计在使用过程中当校准气体和测量气体不一致时受气体组分影响而导致测量精度偏差的问题而设计。该气体热式质量流量计包括流量计主体、MEMS传感元件、控制模块、电池电源模块和流量矫直器,流量计主体具有供气体流动的气流通道,MEMS传感元件安装于流量计主体,且MEMS传感元件的探测部伸入气流通道,探测部包括质量流量传感器,MEMS传感元件还包括热物性传感器,热物性传感器包括两个热敏元件,一个热敏元件被配置为与被测量的气体接触;质量流量传感器和热物性传感器均与控制模块电连接。本发明提供的气体热式质量流量计能够实现与气体组分无关的测量。
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公开(公告)号:CN111795730B
公开(公告)日:2021-10-22
申请号:CN202010745966.3
申请日:2020-07-29
Applicant: 矽翔微机电(杭州)有限公司
IPC: G01F1/86
Abstract: 本发明提供了一种气体热式质量流量计,涉及气体流量测量领域,为解决现有气体热式质量流量计在使用过程中当校准气体和测量气体不一致时受气体组分影响而导致测量精度偏差的问题而设计。该气体热式质量流量计包括流量计主体、MEMS传感元件、控制模块、电池电源模块和流量矫直器,流量计主体具有供气体流动的气流通道,MEMS传感元件安装于流量计主体,且MEMS传感元件的探测部伸入气流通道,探测部包括质量流量传感器,MEMS传感元件还包括热物性传感器,热物性传感器包括两个热敏元件,一个热敏元件被配置为与被测量的气体接触;质量流量传感器和热物性传感器均与控制模块电连接。本发明提供的气体热式质量流量计能够实现与气体组分无关的测量。
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公开(公告)号:CN215489088U
公开(公告)日:2022-01-11
申请号:CN202120327579.8
申请日:2021-02-05
Applicant: 矽翔微机电(杭州)有限公司
Abstract: 本实用新型提供一种智能气瓶测控装置,涉及燃气设备技术领域。该智能气瓶测控装置,包括压力调节单元、流量测量单元和数据处理及远传模块,压力调节单元包括压力调节本体、压力调节阀和第一连接端口;流量测量单元包括流量测量本体、流量传感元件和第二连接端口,流量测量本体内具有第二流道,第二流道与第一流道连通,流量传感元件安装于流量测量本体,且流量传感元件的感应部位位于第二流道;流量测量本体固接于压力调节本体;第二连接端口设置于流量测量本体的一端,且与第二流道连通。该智能气瓶测控装置具有测量精度高、安全性高、测量便利、易于远程管理及成本低的优点。
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