一种二氧化硫气体检测用红外滤光片及其制备方法

    公开(公告)号:CN110261949B

    公开(公告)日:2021-10-15

    申请号:CN201910564071.7

    申请日:2019-06-25

    Inventor: 黄颖璞 黄清伟

    Abstract: 本发明涉及一种二氧化硫气体检测用红外滤光片及其制备方法。红外滤光片基底材料选用单晶Si;高折射率材料选用Ge;低折射率材料选用SiO。在基板两个表面上分别沉积主膜系面薄膜和干涉截止膜系面薄膜。采用真空热蒸发薄膜沉积的方法制备镀膜层,Ge选用电子束蒸镀,沉积速率为SiO选用多孔钼舟电热蒸镀,沉积速率为开始蒸镀真空度为1.0×10‑3Pa,沉积温度为200℃。所述红外滤光片具有中心波长为7300nm的窄带透过光谱,透射带的上升沿和下降沿陡峭,波形矩形度好,峰值透过率>85%、截止区域内截止深度

    一种新型法布里-珀罗可调谐滤波器

    公开(公告)号:CN112629660A

    公开(公告)日:2021-04-09

    申请号:CN202011469525.1

    申请日:2020-12-15

    Abstract: 本发明属于红外探测领域,涉及一种新型法布里‑珀罗可调谐滤波器。采用单晶硅作为基底,在基底上部镀制有金属电极和锗/一氧化硅交替沉积构成的反射层;在基底下部镀制有一氧化硅薄膜构成的增透层。同时,采用单晶硅作为可移动薄层,在可移动薄膜上部镀制有一氧化硅薄膜构成的增透层;在可移动薄膜下部镀制有锗/一氧化硅交替沉积构成的反射层。采用一种双折叠悬臂梁结构,并对其悬臂梁刻蚀形成矩形槽,可以很好地满足低压驱动,镜面平整,在可调谐范围内始终保持良好的滤波特性。并且,采用空气腔作为调谐腔,腔体深度为2.5微米,可实现3‑5微米波段光谱选择透过。

    一种节能型阳光控制膜玻璃及其制备方法

    公开(公告)号:CN110436794A

    公开(公告)日:2019-11-12

    申请号:CN201910758846.4

    申请日:2019-08-16

    Abstract: 本发明公开了一种节能型阳光控制膜玻璃及其制备方法。该玻璃包括玻璃基板和功能膜层组成,玻璃基板为浮法玻璃基板,所述的功能膜层包括从玻璃基板的任意一面向外依次逐层沉积而成的ZnO层、Ag层、NiCrOx层、Si3N4层、TiO2层、Ag层、NiCrOx层以及Si3N4层。本发明公开的节能型阳光控制膜玻璃在可见光(400-700nm)波段具有很高的透过率,在紫外(200-400nm)以及近红外(700-1800nm)波段具有很低的透过率。本发明公开的节能型阳光控制膜玻璃具有良好的隔热性能,能够在保证室内采光柔和的条件下,可有效地屏蔽进入室内的太阳辐射能,避免暖房效应,节约室内降温空调的能源消耗。

    一种高稳定性负温度系数热敏电阻材料及其制备方法

    公开(公告)号:CN109516780A

    公开(公告)日:2019-03-26

    申请号:CN201811439064.6

    申请日:2018-11-29

    Abstract: 本发明涉及负温度系数热敏电阻制备技术领域,特指一种高稳定性负温度系数热敏电阻材料及其制备方法。采用分析纯MnSO4·H2O、NiSO4·6H2O、CuSO4·5H2O、CoSO4·7H2O及Zr(SO4)2·4H2O作为初始原料,以C2H2O4·2H2O作为沉淀剂制备出草酸盐混合粉末,将预烧后的草酸盐混合物粉末造粒后压力成型、等静压,将生坯片置于烧结炉中烧结,烧结温度为1100~1250℃,之后在陶瓷片表面采用丝网印刷制备两面电极。本发明制备工艺简单、制备粉体活性较高、烧结温度低、耗能低;制备的热敏电阻具有致密度高、热稳定性好、老化率低、互换性好且灵敏度高等特点。

    一种温度探测用宽带红外滤光片及其制备方法

    公开(公告)号:CN106199803A

    公开(公告)日:2016-12-07

    申请号:CN201610589201.9

    申请日:2016-07-25

    CPC classification number: G02B5/281 G02B5/285

    Abstract: 本发明涉及红外滤光片,具体涉及一种温度探测用宽带红外滤光片及其制备方法。基底材料选用单晶Si,折射率n=3.42881;高折射率材料选用Ge,折射率n=4.16422;低折射率材料选用ZnS,折射率n=2.2,在基板两个表面上分别沉积干涉截止膜系A面薄膜和干涉截止膜系B面薄膜。本发明提供的8000nm~13000nm宽带红外滤光片,通带两端波长定位在8000±1%nm和13000±1%nm,截止区透过率小于0.12%,透射区的透过率可达90%以上,极大的提高信噪比,很好的抑制其他的干扰,提高仪器温度探测的精度和效率。

    一种二氧化硫气体检测用红外滤光片及其制备方法

    公开(公告)号:CN110261949A

    公开(公告)日:2019-09-20

    申请号:CN201910564071.7

    申请日:2019-06-25

    Inventor: 黄颖璞 黄清伟

    Abstract: 本发明涉及一种二氧化硫气体检测用红外滤光片及其制备方法。红外滤光片基底材料选用单晶Si;高折射率材料选用Ge;低折射率材料选用SiO。在基板两个表面上分别沉积主膜系面薄膜和干涉截止膜系面薄膜。采用真空热蒸发薄膜沉积的方法制备镀膜层,Ge选用电子束蒸镀,沉积速率为SiO选用多孔钼舟电热蒸镀,沉积速率为 开始蒸镀真空度为1.0×10-3Pa,沉积温度为200℃。所述红外滤光片具有中心波长为7300nm的窄带透过光谱,透射带的上升沿和下降沿陡峭,波形矩形度好,峰值透过率>85%、截止区域内截止深度

    一种基于干涉吸收腔红外吸收层的红外探测器及制备方法

    公开(公告)号:CN110186575A

    公开(公告)日:2019-08-30

    申请号:CN201910551807.7

    申请日:2019-06-25

    Abstract: 本发明属于红外探测领域,涉及一种基于干涉吸收腔红外吸收层的红外探测器及制备方法。其自上而下,其包括三大部分。第一部分为光学部分,包括第一SiO2层和第二Ge层。第二部分为热电部分,包括第一TiN层,第二Si3N4层,第三SiO2层,第四Al层,第五SiO2层以及第六N型多晶硅层。第三部分为支撑层部分,包括第一SiO2层,第二Si3N4以及第三SiO2层。本发明将光学设计引入非制冷热电堆红外探测器,结合材料和器件结构的光学设计与合理优化。光学设计后,光学干涉实现高红外吸收,在8-14μm波段的平均红外吸收率高达85%以上,很大程度的提高了红外吸收,提高了非制冷热电堆红外探测器的性能。

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