公开(公告)号：CN105277338B

公开(公告)日：2018-10-26

申请号：CN201410318139.0

申请日：2014-07-04

Applicant: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 ,  VTT-NTM有限责任公司

Inventor： 马冬梅

IPC: G01M11/02

Abstract: 本发明涉及一种大数值孔径移相式双针孔衍射干涉仪及其测试方法，该衍射干涉仪包括：测试基准光路，测试光路，针孔基板；所述针孔基板上设有测试针孔和测试基准针孔；在所述测试针孔发出的衍射波前经所述针孔基板附近的被测试光学元部件反射后会聚到测试基准针孔附近，其波前中带有被测试光学元部件的面形信息，其经过针孔基板反射后与由测试基准针孔发出的衍射波前干涉形成干涉条纹。本发明的大数值孔径移相式双针孔衍射干涉仪采用双针孔基板和双光路会聚照明形式实现测试光路与基准光路的分离，防止两光路的相互干扰导致移相式过程中的干涉图像状态改变；通过小视场干涉图光学成像系统避开了测试光路对图像的影响，实现移相方式的大数值孔径测试。

公开(公告)号：CN105277338A

公开(公告)日：2016-01-27

申请号：CN201410318139.0

申请日：2014-07-04

Applicant: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 ,  VTT-NTM有限责任公司

Inventor： 马冬梅

IPC: G01M11/02

CPC classification number: G01B9/02038 ,  G01B9/02041 ,  G01B9/02072 ,  G01B11/2441 ,  G01M11/005 ,  G01M11/0271

Abstract: 本发明涉及一种大数值孔径移相式双针孔衍射干涉仪及其测试方法，该衍射干涉仪包括：测试基准光路，测试光路，针孔基板；所述针孔基板上设有测试针孔和测试基准针孔；在所述测试针孔发出的衍射波前经所述针孔基板附近的被测试光学元部件反射后会聚到测试基准针孔附近，其波前中带有被测试光学元部件的面形信息，其经过针孔基板反射后与由测试基准针孔发出的衍射波前干涉形成干涉条纹。本发明的大数值孔径移相式双针孔衍射干涉仪采用双针孔基板和双光路会聚照明形式实现测试光路与基准光路的分离，防止两光路的相互干扰导致移相式过程中的干涉图像状态改变；通过小视场干涉图光学成像系统避开了测试光路对图像的影响，实现移相方式的大数值孔径测试。