激光装置
    2.
    发明公开
    激光装置 审中-实审

    公开(公告)号:CN113703145A

    公开(公告)日:2021-11-26

    申请号:CN202110493235.9

    申请日:2021-05-07

    Abstract: 公开了一种激光装置。所述激光装置包括:光源,产生激光束;台;以及透镜组件,设置在光源与台之间且将激光束照射到设置在台上的基底。透镜组件包括:第一透镜组件,使从光源提供的激光束发散;偏转器,改变从第一透镜组件提供的激光束的路径;以及第二透镜组件,使从偏转器提供的激光束会聚且将会聚的激光束照射到基底。

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