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公开(公告)号：CN109676244A
公开(公告)日：2019-04-26
申请号：CN201811208687.2
申请日：2018-10-17
Applicant: 三星显示有限公司
IPC: B23K26/06 , B23K26/064 , B23K26/53 , H01L21/02 , H01L21/268
Abstract: 本发明涉及一种激光晶化装置，根据本发明的实施例的激光晶化装置包括：光源部，产生激光束形态的多束输入光；光学系统，将从所述光源部接收的所述输入光转换为至少一束输出光；以及台面，安置有对象基板，并且被照射所述输出光，所述光学系统包括：混合部，将入射的光分割及混合；第一偏光调制部，在光路径上布置于所述光源部以及所述混合部之间；加工部，在所述光路径上布置于所述混合部的后方，并且形成所述输出光；以及第二偏光调制部，在所述光路径上布置于所述加工部以及所述混合部之间，并包括至少一个四分之一波长板。
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公开(公告)号：CN110640306B
公开(公告)日：2023-09-01
申请号：CN201910567685.0
申请日：2019-06-27
Applicant: 三星显示有限公司
IPC: B23K26/06 , B23K26/067 , B23K26/064
Abstract: 本发明公开光束成形光学系统。本发明一实施例公开如下的光束成形光学系统，其包括：多个激光源；传递(delivery)单元，将从所述多个激光源出射的多个光沿与光轴(Z轴)垂直的Y轴方向排列成列(column)；望远镜(telescope)单元，沿与所述光轴和所述Y轴垂直的X轴方向放大从所述传递单元入射的多个光的光束分布；光束变换(beam transformation)单元，通过将从所述望远镜单元入射的多个光中的每一个分割为N个(N为大于2的整数)而形成包含所述多个光中的每一个的N个子列(sub‑column)，并且使所述N个子列中的每一个以所述Z轴为中心旋转90度；以及傅里叶单元，通过傅里叶变换来混合包含在通过所述光束变换单元形成的N个子列中的多个光。
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公开(公告)号：CN111266725A
公开(公告)日：2020-06-12
申请号：CN201911220089.1
申请日：2019-12-03
Applicant: 三星显示有限公司
IPC: B23K26/064
Abstract: 本申请涉及激光加工装置。根据示例性实施方式的激光加工装置包括：光源，生成激光束；以及光会聚单元，将激光束会聚至待加工对象上的焦点，其中，光会聚单元包括：第一光学元件，包括穿透第一光学元件的通孔；第二光学元件，包括反射激光束的第一区域和透射激光束的第二区域；以及第三光学元件，包括作为凸透镜的聚焦透镜，第一光学元件的下表面是凹面镜，并且第二光学元件的上表面是凸的且第二光学元件的下表面是凹的。
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公开(公告)号：CN110961780B
公开(公告)日：2023-05-12
申请号：CN201910808993.8
申请日：2019-08-29
Applicant: 三星显示有限公司
IPC: B23K26/046 , B23K26/0622 , B23K26/70
Abstract: 本公开涉及一种激光处理设备，所述激光处理设备包括：光源，配置为产生激光束；以及聚光光学系统，配置为将所述激光束在待处理对象处会聚到焦点，所述聚光光学系统包括通孔光学元件和位于所述通孔光学元件下面的复合光学元件，其中，所述通孔光学元件在所述通孔光学元件的下表面处包括配置为凹面镜的第一凹进部，并且其中，所述复合光学元件的上表面为凸形，并且包括配置为反射所述激光束的第一区域和配置为透射所述激光束的第二区域。
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公开(公告)号：CN109676244B
公开(公告)日：2022-06-07
申请号：CN201811208687.2
申请日：2018-10-17
Applicant: 三星显示有限公司
IPC: B23K26/06 , B23K26/064 , B23K26/53 , H01L21/02 , H01L21/268
Abstract: 本发明涉及一种激光晶化装置，根据本发明的实施例的激光晶化装置包括：光源部，产生激光束形态的多束输入光；光学系统，将从所述光源部接收的所述输入光转换为至少一束输出光；以及台面，安置有对象基板，并且被照射所述输出光，所述光学系统包括：混合部，将入射的光分割及混合；第一偏光调制部，在光路径上布置于所述光源部以及所述混合部之间；加工部，在所述光路径上布置于所述混合部的后方，并且形成所述输出光；以及第二偏光调制部，在所述光路径上布置于所述加工部以及所述混合部之间，并包括至少一个四分之一波长板。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110961780A
公开(公告)日：2020-04-07
申请号：CN201910808993.8
申请日：2019-08-29
Applicant: 三星显示有限公司
IPC: B23K26/046 , B23K26/0622 , B23K26/70
Abstract: 本公开涉及一种激光处理设备，所述激光处理设备包括：光源，配置为产生激光束；以及聚光光学系统，配置为将所述激光束在待处理对象处会聚到焦点，所述聚光光学系统包括通孔光学元件和位于所述通孔光学元件下面的复合光学元件，其中，所述通孔光学元件在所述通孔光学元件的下表面处包括配置为凹面镜的第一凹进部，并且其中，所述复合光学元件的上表面为凸形，并且包括配置为反射所述激光束的第一区域和配置为透射所述激光束的第二区域。
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公开(公告)号：CN109872961B
公开(公告)日：2024-07-05
申请号：CN201811470485.5
申请日：2018-12-04
Applicant: 三星显示有限公司
IPC: H01L21/67
Abstract: 本发明公开一种激光晶化装置。根据本发明的实施例的激光晶化装置包括：激光发生器，发生激光束形态的至少一个输入光；光学系统，将所述输入光转换为至少一个输出光；以及工作台，安装被加工物，并被所述输出光照射，其中，所述光学系统包括：第一偏振旋转器，改变所述输入光的偏振状态；偏振分束器，在光路上布置于所述第一偏振旋转器的后方，并根据偏振状态将入射的光透射或反射，从而将所述输入光分支为沿第一方向及与所述第一方向交叉的第二方向行进的光；以及多个镜子，将从所述偏振分束器分支后的光中沿所述第一方向行进的光反射而使其再次朝向所述偏振分束器，从而形成环路。
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公开(公告)号：CN111266725B
公开(公告)日：2023-12-19
申请号：CN201911220089.1
申请日：2019-12-03
Applicant: 三星显示有限公司
IPC: B23K26/064
Abstract: 本申请涉及激光加工装置。根据示例性实施方式的激光加工装置包括：光源，生成激光束；以及光会聚单元，将激光束会聚至待加工对象上的焦点，其中，光会聚单元包括：第一光学元件，包括穿透第一光学元件的通孔；第二光学元件，包括反射激光束的第一区域和透射激光束的第二区域；以及第三光学元件，包括作为凸透镜的聚焦透镜，第一光学元件的下表面是凹面镜，并且第二光学元件的上表面是凸的且第二光学元件的下表面是凹的。
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公开(公告)号：CN113649705A
公开(公告)日：2021-11-16
申请号：CN202110115522.6
申请日：2021-01-28
Applicant: 三星显示有限公司
IPC: B23K26/38 , B23K26/046 , B23K26/064
Abstract: 提供了一种激光切割装置和透镜组件。激光切割装置可以包括产生激光束的光源和使从光源入射的激光束会聚的透镜组件。透镜组件可以包括第一壳体、第二壳体、第一透镜组和第二透镜组，第一壳体包括第一主体，第二壳体包括第二主体，第一透镜组设置在第一主体中，第二透镜组设置在第二主体中。第二壳体可以组合到第一壳体，并且第二主体可以设置在第一主体下方。第一开口可以限定在第一主体中，并且与第一开口叠置的第二开口限定在第二主体中。
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公开(公告)号：CN112802774A
公开(公告)日：2021-05-14
申请号：CN202010564149.8
申请日：2020-06-19
Applicant: 三星显示有限公司
IPC: H01L21/67 , H01L21/02 , H01L21/268
Abstract: 实施例的激光晶化装置可包括：激光发生部，用于输出第一激光束和第二激光束；匀化部，用于接收由所述激光发生部输出的所述第一激光束和所述第二激光束并使之匀化；光学系统，用于接收经过所述匀化部的所述第一激光束和所述第二激光束并使之光转换；以及基板收容部，用于收容所述光转换后的所述第一激光束和所述第二激光束所照射的基板，所述第一激光束和所述第二激光束具有长轴和短轴，所述第一激光束和所述第二激光束可以以在沿所述长轴的方向上具有不同入射角度的方式被输入到所述匀化部。
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