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公开(公告)号:CN116213192A
公开(公告)日:2023-06-06
申请号:CN202211126121.1
申请日:2022-09-16
Applicant: 三星显示有限公司
Abstract: 提供了涂敷装置。该涂敷装置包括:工作台传送部,包括在第一方向上延伸的第一长轴和在与第一方向相交的第二方向上延伸的第二长轴;布置在工作台传送部上的工作台倾斜部,其中工作台倾斜部绕第一摆动轴线摆动;布置在工作台倾斜部上的工作台旋转部,其中工作台旋转部绕与第一摆动轴线相交的第一旋转轴线旋转;布置在工作台旋转部上的工作台对准部,其中工作台对准部包括在第一方向上延伸的第一短轴和在第二方向上延伸的第二短轴;以及布置在工作台对准部上的工作台,其中涂敷目标选择性地安置在工作台上,其中工作台包括布置在限定在工作台内部的相机安置空间中的监控相机。
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公开(公告)号:CN111092044B
公开(公告)日:2024-10-15
申请号:CN201911012188.0
申请日:2019-10-23
Applicant: 三星显示有限公司
IPC: H01L21/683
Abstract: 公开了静电吸盘。静电吸盘包括基底、位于基底上的垫层、位于垫层上的电极层以及位于电极层上的介电层,基底、垫层、电极层和介电层具有通孔。通孔各自具有矩形形状,并且介电层的每个拐角区域具有一对通孔,且一对通孔的中央轴线分别与介电层的位于相应的拐角区域处的两个邻边交叉。
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公开(公告)号:CN117020406A
公开(公告)日:2023-11-10
申请号:CN202310488012.2
申请日:2023-05-04
Applicant: 三星显示有限公司
Abstract: 本发明涉及激光加压头部模块以及包括其的激光焊接装置。一实施例涉及的激光加压头部模块可以包括:加压部件,包括第一透光部件和第二透光部件,在所述第一透光部件与所述第二透光部件之间形成密封的空间;以及气体供给部,向所述密封的空间供给气体来产生焊接力,所述第二透光部件通过所述焊接力而朝向外部方向膨胀或移动。
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公开(公告)号:CN111092044A
公开(公告)日:2020-05-01
申请号:CN201911012188.0
申请日:2019-10-23
Applicant: 三星显示有限公司
IPC: H01L21/683
Abstract: 公开了静电吸盘。静电吸盘包括基底、位于基底上的垫层、位于垫层上的电极层以及位于电极层上的介电层,基底、垫层、电极层和介电层具有通孔。通孔各自具有矩形形状,并且介电层的每个拐角区域具有一对通孔,且一对通孔的中央轴线分别与介电层的位于相应的拐角区域处的两个邻边交叉。
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公开(公告)号:CN217933748U
公开(公告)日:2022-11-29
申请号:CN202221153026.6
申请日:2022-05-13
Applicant: 三星显示有限公司
IPC: H01L21/683 , H01L21/687
Abstract: 本公开涉及承载装置以及腔室。根据一实施例的承载装置包括:承载基座;以及至少一个单元,位于所述承载基座之上并固定,所述单元包括:载置台,位于所述承载基座之上,并具有能够装载下部材料的上面;推动器,与所述载置台的边缘相邻设置,并能够沿着所述载置台的侧面在上下方向上移动,并且具有能够装载上部材料的装载部;弹簧,位于所述推动器的底面;以及锁定部,位于所述弹簧下端而能够固定下降的所述推动器的位置。
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公开(公告)号:CN218502525U
公开(公告)日:2023-02-21
申请号:CN202222449961.3
申请日:2022-09-16
Applicant: 三星显示有限公司
Abstract: 提供了涂敷装置。该涂敷装置包括:工作台传送部,包括在第一方向上延伸的第一长轴和在与第一方向相交的第二方向上延伸的第二长轴;布置在工作台传送部上的工作台倾斜部,其中工作台倾斜部绕第一摆动轴线摆动;布置在工作台倾斜部上的工作台旋转部,其中工作台旋转部绕与第一摆动轴线相交的第一旋转轴线旋转;布置在工作台旋转部上的工作台对准部,其中工作台对准部包括在第一方向上延伸的第一短轴和在第二方向上延伸的第二短轴;以及布置在工作台对准部上的工作台,其中涂敷目标选择性地安置在工作台上,其中工作台包括布置在限定在工作台内部的相机安置空间中的监控相机。
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公开(公告)号:CN216773216U
公开(公告)日:2022-06-17
申请号:CN202123079435.4
申请日:2021-12-09
Applicant: 三星显示有限公司
IPC: H01L21/687 , H01L21/67
Abstract: 层压装置包括腔体、静电卡盘和照明。静电卡盘配置在腔体内。照明向静电卡盘提供光。静电卡盘包括基底、绝缘层、电极层和保护层。绝缘层配置在基底上。电极层配置在绝缘层上。保护层配置在电极层上。基底包括第一区域和第二区域。第二区域位于第一区域的外侧。基底具有透光性。因此,基底使用于照亮被吸附到静电卡盘的对象物的对齐标记的光透过。静电卡盘吸附并固定具有各种大小和各种形状的对象物。无需根据对象物的大小、形状或对齐标记的位置来替换静电卡盘。
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