薄膜晶体管阵列面板及其制造方法

    公开(公告)号:CN1794066A

    公开(公告)日:2006-06-28

    申请号:CN200510022944.X

    申请日:2005-12-19

    Inventor: 全宰弘 金彰洙

    CPC classification number: H01L27/124 G02F1/136213 G02F1/136227 H01L27/1288

    Abstract: 本发明提供一种薄膜晶体管(TFT)阵列面板。该TFT阵列面板包括:在绝缘基板上形成的栅极线和栅电极;在绝缘基板上的存储电极线;在栅极线和存储电极线上的栅极绝缘层;在栅极绝缘层上的第一半导体;在第一半导体上所形成、位于栅电极上方且相互间隔开的数据线和漏电极;在第一半导体上所形成并具有暴露漏电极的接触孔和暴露存储电极上的栅极绝缘层的开口的钝化层;以及通过接触孔连接到漏电极并通过开口交迭存储电极的像素电极。

    薄膜晶体管阵列面板及其制造方法

    公开(公告)号:CN100458533C

    公开(公告)日:2009-02-04

    申请号:CN200510022944.X

    申请日:2005-12-19

    Inventor: 全宰弘 金彰洙

    CPC classification number: H01L27/124 G02F1/136213 G02F1/136227 H01L27/1288

    Abstract: 本发明提供一种薄膜晶体管(TFT)阵列面板。该TFT阵列面板包括:在绝缘基板上形成的栅极线和栅电极;在绝缘基板上的存储电极线;在栅极线和存储电极线上的栅极绝缘层;在栅极绝缘层上的第一半导体;在第一半导体上所形成、位于栅电极上方且相互间隔开的数据线和漏电极;在第一半导体上所形成并具有暴露漏电极的接触孔和暴露存储电极上的栅极绝缘层的开口的钝化层;以及通过接触孔连接到漏电极并通过开口交迭存储电极的像素电极。

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