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发明公开
静电放电器件和包括该静电放电器件的静电放电保护电路审中-实审

公开(公告)号：CN113782527A

公开(公告)日：2021-12-10

申请号：CN202110246328.1

申请日：2021-03-05

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 金锡震 , 李美珍 , 全燦熙

IPC: H01L27/02

Abstract: 提供一种具有小尺寸、低导通电压和低导通电阻的静电放电(ESD)器件以及包括该ESD器件的ESD保护电路。ESD器件包括：阱，形成在衬底中，以具有第一导电类型；有源区域，被限定在衬底的上部；多个鳍，在第一方向上延伸，以具有从衬底突出的结构；第一导电杂质区域，使用第一导电杂质形成；第二导电杂质区域，使用第二导电杂质形成；以及鳍切割隔离区域，在第一方向上设置在第一导电杂质区域与第二导电杂质区域之间，以切割每一个鳍，其中，鳍切割隔离区域的底表面高于有源区域的底表面。

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