无线通信方法及提供该无线通信方法的电子设备

    公开(公告)号:CN108476533B

    公开(公告)日:2022-05-13

    申请号:CN201680067590.7

    申请日:2016-11-09

    Abstract: 本发明可以包括一种电子设备,所述电子设备包括:通信模块,用于支持第一短距离无线通信和第二短距离无线通信;以及处理器,功能性地连接到通信模块,其中所述处理器被配置为:使用第一短距离无线通信,通过通信模块在频带中的至少一个信道上建立到第一外部设备的连接;在建立了到第一外部设备的连接的同时,识别用于与第二外部设备进行第二短距离无线通信的请求;以及响应于所述请求,使用第二短距离无线通信,在所述频带中的所述至少一个信道上将第二外部设备连接到第一外部设备或外部通信服务器。然而,本发明不限于上述实施例,并且可以包括其它实施例。

    等离子体处理方法和等离子体处理装置

    公开(公告)号:CN111430207B

    公开(公告)日:2025-01-21

    申请号:CN201910964482.5

    申请日:2019-10-11

    Abstract: 提供了等离子体处理方法和等离子体处理装置。在等离子体处理方法中,将衬底装载到腔室内的下电极上。施加等离子体功率以在所述腔室内形成等离子体。产生具有DC脉冲部分和斜坡部分的非正弦波的电压函数。产生电压函数可以包括设定所述斜坡部分的斜率以及设定所述斜坡部分与所述电压函数的循环的持续时间比,以控制在所述衬底的表面处产生的离子能量分布。将所述非正弦波的偏置功率施加到所述下电极。

    用于制造半导体器件的装置和半导体器件的制造方法

    公开(公告)号:CN111128666B

    公开(公告)日:2024-12-13

    申请号:CN201910825086.4

    申请日:2019-08-30

    Abstract: 一种半导体处理装置包括:腔体外壳;设置在腔壳体中的静电卡盘,静电卡盘被配置成保持半导体晶片;围绕静电卡盘的边缘环,边缘环包括设置在边缘环内的环电极;以及环电压源,被配置成向环电极供应环电压,环电压具有非正弦周期波形,其中,非正弦周期波形的每个周期包括在第一时段期间施加的正电压以及在第二时段期间施加的负电压,并且其中,负电压的大小在第二时段期间增大。

    半导体器件
    7.
    发明公开
    半导体器件 审中-公开

    公开(公告)号:CN119183287A

    公开(公告)日:2024-12-24

    申请号:CN202410739991.9

    申请日:2024-06-07

    Abstract: 一种半导体器件包括:位线,位于衬底的单元区域上;接触插塞,位于所述位线之间;着陆焊盘,位于所述接触插塞上;外围栅极,位于所述衬底的外围电路区域上;下层间绝缘层,覆盖所述外围栅极的侧表面;外围接触插塞,穿透所述下层间绝缘层;外围互连层,位于所述下层间绝缘层和所述外围接触插塞上;以及外围绝缘结构,在所述外围互连层之间穿过,其中,所述外围绝缘结构包括部分地穿透所述下层间绝缘层的第一外围绝缘结构,并且其中,所述第一外围绝缘结构包括第一外围绝缘层、位于所述第一外围绝缘层上并且在所述外围互连层之间穿过的第二外围绝缘层、和位于所述下层间绝缘层与所述第一外围绝缘层之间的混合物层。

    等离子体处理方法和等离子体处理装置

    公开(公告)号:CN111430207A

    公开(公告)日:2020-07-17

    申请号:CN201910964482.5

    申请日:2019-10-11

    Abstract: 提供了等离子体处理方法和等离子体处理装置。在等离子体处理方法中,将衬底装载到腔室内的下电极上。施加等离子体功率以在所述腔室内形成等离子体。产生具有DC脉冲部分和斜坡部分的非正弦波的电压函数。产生电压函数可以包括设定所述斜坡部分的斜率以及设定所述斜坡部分与所述电压函数的循环的持续时间比,以控制在所述衬底的表面处产生的离子能量分布。将所述非正弦波的偏置功率施加到所述下电极。

    用于制造半导体器件的装置和半导体器件的制造方法

    公开(公告)号:CN111128666A

    公开(公告)日:2020-05-08

    申请号:CN201910825086.4

    申请日:2019-08-30

    Abstract: 一种半导体处理装置包括:腔体外壳;设置在腔壳体中的静电卡盘,静电卡盘被配置成保持半导体晶片;围绕静电卡盘的边缘环,边缘环包括设置在边缘环内的环电极;以及环电压源,被配置成向环电极供应环电压,环电压具有非正弦周期波形,其中,非正弦周期波形的每个周期包括在第一时段期间施加的正电压以及在第二时段期间施加的负电压,并且其中,负电压的大小在第二时段期间增大。

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