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公开(公告)号：CN115863235A
公开(公告)日：2023-03-28
申请号：CN202211098595.X
申请日：2022-09-06
Applicant: 三星电子株式会社
Abstract: 提供光学设备和对准检查光学设备。光学设备包括：折叠镜，其被配置为将第一照明光和第二照明光分别引导在第一对准标记和第二对准标记上并且分别在不同的水平方向上反射从第一对准标记和第二对准标记反射的第一反射光和第二反射光；第一透镜和第二透镜分别布置在从折叠镜的第一反射表面和第二反射表面反射的第一反射光和第二反射光的光路中；第一反射部分和第二反射部分，其被配置为分别反射穿过第一透镜和第二透镜的第一反射光和第二反射光；和分束器棱镜，其被配置为将通过第一表面入射的照明光划分成第一照明光和第二照明光并引导到第一反射部分和第二反射部分，并通过第二表面透射第一反射部分和第二反射部分反射的第一反射光和第二反射光。
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公开(公告)号：CN118139404A
公开(公告)日：2024-06-04
申请号：CN202311471341.2
申请日：2023-11-07
Applicant: 三星电子株式会社
Abstract: 提供了被配置为实现高精度安装的安装装置和安装方法。可以提供安装装置，该安装装置包括接合致动器，该接合致动器具有：壳体；滑动件，其以非接触状态被容纳在壳体中并且设置有头；非接触状态下的线圈和磁轭；在X轴方向上驱动的两个音圈电机(VCM)，在Y轴方向上驱动的三个VCM，以及在Z轴方向上驱动的一个VCM。线圈可以固定到壳体，磁轭可以固定到滑动件。接合致动器可以在通过在六个轴向方向上驱动滑动件来调整芯片和晶圆的相对位置和平行度的同时执行接合，六个轴向方向包括X轴方向、Y轴方向、Z轴方向、Tx方向、Ty方向和Tz方向。
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公开(公告)号：CN110911296B
公开(公告)日：2023-07-25
申请号：CN201910752569.6
申请日：2019-08-15
Applicant: 三星电子株式会社
Abstract: 提供一种卡盘驱动装置和基底处理设备。所述卡盘驱动装置包括在第一方向和第二方向上延伸的基体。第二方向与第一方向交叉。卡盘驱动装置还包括：滑块，布置在基体上并被构造为在与第一方向和第二方向基本垂直的第三方向上移动；以及气缸，布置在基体上并在第三方向上支撑滑块。卡盘驱动装置另外包括电机组件，所述电机组件布置在基体上，围绕气缸，并且被构造为在第三方向上驱动滑块。电机组件包括：线圈基体，具有围绕气缸的侧面设置的中空部分；线圈组件，布置在线圈基体上并围绕气缸的侧面设置；以及磁体组件，与线圈组件的一部分相邻。
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公开(公告)号：CN110911296A
公开(公告)日：2020-03-24
申请号：CN201910752569.6
申请日：2019-08-15
Applicant: 三星电子株式会社
Abstract: 提供一种卡盘驱动装置和基底处理设备。所述卡盘驱动装置包括在第一方向和第二方向上延伸的基体。第二方向与第一方向交叉。卡盘驱动装置还包括：滑块，布置在基体上并被构造为在与第一方向和第二方向基本垂直的第三方向上移动；以及气缸，布置在基体上并在第三方向上支撑滑块。卡盘驱动装置另外包括电机组件，所述电机组件布置在基体上，围绕气缸，并且被构造为在第三方向上驱动滑块。电机组件包括：线圈基体，具有围绕气缸的侧面设置的中空部分；线圈组件，布置在线圈基体上并围绕气缸的侧面设置；以及磁体组件，与线圈组件的一部分相邻。
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