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发明公开
集成电路器件审中-实审

公开(公告)号：CN113451294A

公开(公告)日：2021-09-28

申请号：CN202110243878.8

申请日：2021-03-05

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 裵德汉 , 朴柱勋 , 严命允 , 张光勇

IPC: H01L27/02 , H01L29/78 , H01L29/06

Abstract: 一种集成电路器件包括：鳍型有源区域，在衬底上沿第一水平方向延伸；栅极线，在鳍型有源区域上沿第二水平方向延伸；第一和第二源极/漏极区域，布置在鳍型有源区域上；第一源极/漏极接触图案，连接到第一源极/漏极区域并包括在竖直方向上具有第一高度的第一区段；第二源极/漏极接触图案，连接到第二源极/漏极区域并包括在竖直方向上具有小于第一高度的第二高度的第二区段；以及绝缘盖线，在栅极线上沿第二水平方向延伸并包括在第一区段与第二区段之间的不对称盖部分，该不对称盖部分具有在第一水平方向上的可变厚度。

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