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发明公开
重叠测量法审中-公开

公开(公告)号：CN117590699A

公开(公告)日：2024-02-23

申请号：CN202310907578.4

申请日：2023-07-21

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 梁原浚 , 尹详皓 , 郑宇陈 , 姜旼秀

IPC: G03F7/20 , G03F9/00

Abstract: 提供了一种重叠测量方法，包括：设置基底上的重叠偏移，通过照射电子束获得单元图像，以及基于单元图像获得上图案的第一图像和下图案的第二图像，将第一图像与第二图像合并，测量合并图像的重叠，以及校正用于测量重叠的测量参数，以提高所述重叠偏移与所述重叠的测量结果值之间的一致性，其中，测量参数基于所述重叠的结果值中的被分类为测量失败的测量失败值的数量而被校正。

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