公开(公告)号：CN101572115A

公开(公告)日：2009-11-04

申请号：CN200910149710.X

申请日：2009-04-24

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 许栢豪 ,  金泰和 ,  洪敏杓

IPC: G11B33/00 ,  G11B5/48 ,  G11B5/54 ,  G11B5/56 ,  G11B21/12

CPC classification number: G11B5/4833 ,  G11B5/4813 ,  G11B5/54

Abstract: 本发明提供一种用于硬盘驱动器的悬挂组件和具有该悬挂组件的致动器。致动器包括摇臂，可旋转地安装在基础件上；悬挂组件，向盘表面弹性偏置具有读/写头的滑块；音圈马达，旋转摇臂以便移动读/写头到盘上的预定位置。悬挂组件包括承载梁，耦接到致动器的摇臂的末端；弯曲部，附着到承载梁以支撑滑块；尖端－搭片，从承载梁的前端延伸以便当读/写头停放时接触盘附近的斜坡，尖端－搭片的接触斜坡的接触部的宽度比尖端－搭片的其他部分的宽度宽。尖端－搭片的接触部置于尖端－搭片沿纵向方向的中部，与承载梁接合的部分的宽度和尖端－搭片的前部的宽度小于接触部的宽度。尖端－搭片的宽度从承载梁的前端到接触部逐渐增加且在接触部之后逐渐减小。

公开(公告)号：CN115206762A

公开(公告)日：2022-10-18

申请号：CN202210371327.4

申请日：2022-04-08

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 宣钟宇 ,  金教赫 ,  金泰和 ,  朴海重 ,  韩济愚

IPC: H01J37/32 ,  H01L21/67

Abstract: 一种用于等离子体蚀刻的装置，该装置具有：静电卡盘，包括基层、接合层、吸附层以及边缘环，该吸附层包括在接合层上并与衬底的下表面接触的多个突起，该边缘环与衬底的横向表面间隔开并围绕衬底的横向表面；多个冷却剂供应器，在多个突起之间注入冷却剂；多个管道，将冷却剂供应给多个冷却剂供应器以使冷却剂沿预定方向循环；冷却设备，其中等离子体蚀刻工艺包括第一操作和第二操作，其中注入冷却剂以使静电卡盘在第一操作期间达到第一温度，并在第二操作期间达到第二温度；以及控制器，控制与多个管道连接的阀门以确定冷却剂的循环方向。