公开(公告)号：CN113021092B

公开(公告)日：2025-03-04

申请号：CN202011236855.6

申请日：2020-11-09

Applicant: 三星钻石工业株式会社

Inventor： 平栗阳辅 ,  佐藤慎一

IPC: B24B5/18 ,  B24B5/307

Abstract: 本发明提供一种有助于抑制顶端部的磨损的工艺装备。工艺装备包含无心磨削装置(10A)的托板(200)。托板(200)具有：顶端部(400)，其与被加工物(W)接触；主体部(300)，其支承顶端部(400)；以及变形控制部(340)，其促进由施加在顶端部(400)的负荷引起的主体部(300)的弯曲。

公开(公告)号：CN113021092A

公开(公告)日：2021-06-25

申请号：CN202011236855.6

申请日：2020-11-09

Applicant: 三星钻石工业株式会社

Inventor： 平栗阳辅 ,  佐藤慎一

IPC: B24B5/18 ,  B24B5/307

Abstract: 本发明提供一种有助于抑制顶端部的磨损的工艺装备。工艺装备包含无心磨削装置(10A)的托板(200)。托板(200)具有：顶端部(400)，其与被加工物(W)接触；主体部(300)，其支承顶端部(400)；以及变形控制部(340)，其促进由施加在顶端部(400)的负荷引起的主体部(300)的弯曲。