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公开(公告)号：CN1924081A
公开(公告)日：2007-03-07
申请号：CN200610112370.X
申请日：2006-08-31
Applicant: 三星SDI株式会社
CPC classification number: C23C14/243 , C23C14/545
Abstract: 本发明公开用于无机层的沉积源和用于控制其热源的方法，通过使为达到稳定的沉积速率所需的时间最少，能够提高沉积效率、防止喷嘴的凝结，和/或精确地控制温度。该沉积源包括：具有用于施加热量到该坩埚的加热源的加热单元，用于隔绝从加热单元发出的热量的壳体；用于固定坩埚的外壁；和用于喷射从坩埚中蒸发的沉积材料的喷嘴单元。该加热单元包括第一单元和第二单元。该坩埚置于第一单元和第二单元之间，并且该加热单元包括用于向第一单元供电的第一电源和用于向第二单元供电的第二电源。
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公开(公告)号：CN1743495A
公开(公告)日：2006-03-08
申请号：CN200510096608.X
申请日：2005-08-25
Applicant: 三星SDI株式会社
Abstract: 一种有机物蒸镀装置，以将衬底大致垂直竖起的状态蒸镀有机物，形成有机薄膜，可适用于大型衬底，且可形成均匀厚度的有机薄膜。本发明的有机物蒸镀装置具有：腔，其构成壳体并且使衬底维持在相对于地面成70°～110°的角度；有机物存储部，其由接收向上述衬底上蒸镀的有机物的至少一个有机物存储位置构成；有机物喷嘴部，其喷射向上述衬底上蒸镀的有机物；连接线路，其将上述有机物喷嘴部和有机物存储部连接；运送装置，其可使上述有机物存储部、有机物喷嘴部及连接线中的至少上述有机物喷嘴沿垂直方向移动。
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公开(公告)号：CN1925127A
公开(公告)日：2007-03-07
申请号：CN200610112369.7
申请日：2006-08-31
Applicant: 三星SDI株式会社
IPC: H01L21/687 , H01L51/56 , C23C14/50 , C23C16/458
CPC classification number: C23C14/50 , C23C14/042 , H01L51/0008 , H01L51/0097 , H01L51/56 , H01L2251/5338
Abstract: 本发明公开一种用于制造柔性显示器的膜盘，该膜盘可以避免柔性基板或膜下沉。所述膜盘包括支撑板和至少一对夹钳，至少一对夹钳中的每个夹钳沿着支撑板的相对边缘设置以固定柔性介质。至少一对夹钳中的第一夹钳和至少一对夹钳中的第二夹钳对准。每个夹钳都包括适于打开以容纳柔性基板或膜并适于关闭以固定柔性基板或膜的开关部分，以及与该开关部分分开有预定距离以当开关部分关闭时将柔性基板或膜支持在预定高度的支撑部分。
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公开(公告)号：CN1924082A
公开(公告)日：2007-03-07
申请号：CN200610112373.3
申请日：2006-08-31
Applicant: 三星SDI株式会社
CPC classification number: C23C14/243
Abstract: 本发明提供一种用于沉积有机层的装置和一种用于控制该装置的加热单元的方法。该装置包括设置于沉积室内、用于容纳蒸发材料的坩埚。该装置还包括加热单元，其具有用于加热该坩埚的第一和第二热源。壳体隔绝从加热单元发出的热量，外壁固定该坩埚。喷嘴喷射从该坩埚蒸发的材料。第一和第二热源分别置于该坩埚的第一侧和第二侧，并且被独立地控制，以使为稳定沉积速率所需的时间最少。
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公开(公告)号：CN1815698A
公开(公告)日：2006-08-09
申请号：CN200510092224.0
申请日：2005-07-01
Applicant: 三星SDI株式会社
IPC: H01L21/3205 , H01L21/82 , H05B33/10
CPC classification number: H01L51/0021 , C23C14/14 , C23C14/243 , H01L51/0003 , H01L51/5221
Abstract: 本发明提供了一种形成薄膜的方法和一种制造有机光发射显示器件的方法。该方法包括沉积混合了沉积材料和添加材料的薄膜形成材料从而形成薄膜，并且添加材料与沉积材料具有低共熔点。因此，与仅使用沉积材料形成薄膜的传统方式相比可以在低得多的温度形成薄膜。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN100440459C
公开(公告)日：2008-12-03
申请号：CN200510092224.0
申请日：2005-07-01
Applicant: 三星SDI株式会社
IPC: H01L21/3205 , H01L21/82 , H05B33/10
CPC classification number: H01L51/0021 , C23C14/14 , C23C14/243 , H01L51/0003 , H01L51/5221
Abstract: 本发明提供了一种形成薄膜的方法和一种制造有机光发射显示器件的方法。该方法包括沉积混合了沉积材料和添加材料的薄膜形成材料从而形成薄膜，并且添加材料与沉积材料具有低共熔点。因此，与仅使用沉积材料形成薄膜的传统方式相比可以在低得多的温度形成薄膜。
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公开(公告)号：CN1814854A
公开(公告)日：2006-08-09
申请号：CN200510092373.7
申请日：2005-08-29
Applicant: 三星SDI株式会社
IPC: C23C14/26
Abstract: 一种蒸发源和蒸镀装置，该蒸发源将坩埚和加热部以及喷嘴部配置在一个划分空间，缩小其尺寸；所述蒸镀装置利用所述蒸发源将蒸镀物质蒸镀在基板上。所述蒸发源包括：壳体(110)；内设于所述壳体(110)内的坩埚(120)；内设于所述壳体(110)中，用于加热坩埚(120)而设于其周边的加热部；喷嘴部，经由喷射嘴(140)将从所述坩埚(120)蒸发的蒸镀物质喷射到位于壳体(110)外部的基板(220)上。
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公开(公告)号：CN1787704A
公开(公告)日：2006-06-14
申请号：CN200510092214.7
申请日：2005-07-01
Applicant: 三星SDI株式会社
CPC classification number: H01L51/5203 , C23C14/352 , H01L51/0008 , H01L51/0021
Abstract: 本发明提供一种通过利用对面靶溅射设备制造有机发光器件的方法。该方法包括在基板上形成第一电极；在第一电极上形成有机薄膜；以及通过对面靶溅射设备在有机薄膜上形成第二电极。因此，以低的温度在有机发光器件上形成电极薄膜而没有由于等离子体导致的劣化，可以提高光发射效率和有机发光器件的电光特性。
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公开(公告)号：CN100454514C
公开(公告)日：2009-01-21
申请号：CN200610112369.7
申请日：2006-08-31
Applicant: 三星SDI株式会社
IPC: H01L21/687 , H01L51/56 , C23C14/50 , C23C16/458
CPC classification number: C23C14/50 , C23C14/042 , H01L51/0008 , H01L51/0097 , H01L51/56 , H01L2251/5338
Abstract: 本发明公开一种用于制造柔性显示器的膜盘，该膜盘可以避免柔性基板或膜下沉。所述膜盘包括支撑板和至少一对夹钳，至少一对夹钳中的每个夹钳沿着支撑板的相对边缘设置以固定柔性介质。至少一对夹钳中的第一夹钳和至少一对夹钳中的第二夹钳对准。每个夹钳都包括适于打开以容纳柔性基板或膜并适于关闭以固定柔性基板或膜的开关部分，以及与该开关部分分开有预定距离以当开关部分关闭时将柔性基板或膜支持在预定高度的支撑部分。
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公开(公告)号：CN1924079A
公开(公告)日：2007-03-07
申请号：CN200610127709.3
申请日：2006-08-30
Applicant: 三星SDI株式会社
CPC classification number: C23C14/243
Abstract: 本发明公开一种线型沉积源，该沉积源能够通过使用板型加热源来提高加热效率并且降低加热温度，和/或能够通过在一个壳体中包括一个具有冷却水管线(或者通道)的冷却套来提高冷却效率。所述线型沉积源包括：布置在一个沉积室中的坩埚，所述坩埚用于蒸发包括在所述坩埚中的材料；加热源，用于对所述坩埚加热；壳体，用于隔绝从加热源发出的热量；外壁，用于固定所述坩埚；和喷嘴单元，用于喷射从所述坩埚蒸发的材料。在该沉积源中，所述加热源是板型加热源，并且所述壳体具有冷却水管线，从而冷却水可以流过该冷却水管线。
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