涂覆设备的真空室系统和利用该真空室系统的涂覆方法

    公开(公告)号:CN102343321A

    公开(公告)日:2012-02-08

    申请号:CN201110087238.9

    申请日:2011-04-02

    Inventor: 金泰成

    CPC classification number: B05C5/0254 B05D1/26 B05D2252/02 H01M4/0404

    Abstract: 本发明提供一种涂覆设备的真空室系统和利用该真空室系统的涂覆方法,所述涂覆方法防止间歇涂覆中的涂覆溶液的吸引现象,使得涂覆的不合格率降低,从而提高了产品质量。在一个实施例中,涂覆设备的真空室系统包括连接到涂覆设备的涂覆溶液出口的真空室。声压产生单元连接到真空室的一个区域,以产生声压。缓冲罐设置在真空室和声压产生单元之间。在真空室系统中,还在真空室和缓冲罐之间设置控制单元。控制单元控制空气使空气被选择性地吸入真空室和声压产生单元中或者与真空室和声压产生单元阻断。

    用于电池的活性物质涂敷装置及操作该装置的方法

    公开(公告)号:CN104241600A

    公开(公告)日:2014-12-24

    申请号:CN201410075785.9

    申请日:2014-03-04

    Abstract: 提供用于电池的活性物质涂敷装置和操作该装置的方法。活性物质涂敷装置包括:具有活性物质的罐;泵,其联接至罐以便活性物质通过该泵被输送;温度控制单元,其联接至泵并配置为控制通过泵被输送的活性物质的温度的加热或冷却。温度控制单元可包括控制单元,该控制单元配置为控制温度控制单元的温度。活性物质涂敷装置可进一步包括联接至温度控制单元的涂敷单元以及包括集流体的卷轴,该卷轴配置为将集流体输送通过涂敷单元,以便集流体被通过温度控制单元输送的并从涂敷单元喷射的活性物质涂敷。

    平板显示装置
    9.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1691348A

    公开(公告)日:2005-11-02

    申请号:CN200510052114.1

    申请日:2005-02-25

    Inventor: 金泰成

    CPC classification number: H01L27/3276 H01L27/3258 H01L2251/558

    Abstract: 本发明涉及一种平板显示装置。该装置可包括其上形成有由具有张应力的Mo层或Mo合金层形成的导电层图案的绝缘基板。氮化硅或氮氧化硅层位于所述导电层图案上。通过这种设置,能够实现所述导电层图案和所述绝缘层之间的应力平衡,并改善所述导电层图案和绝缘层之间的附着特性。

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