公开(公告)号：CN113508003B

公开(公告)日：2022-12-27

申请号：CN201980093461.9

申请日：2019-12-04

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 中井秀和 ,  长谷川正彦 ,  西尾彰伦

IPC: B23Q3/02 ,  B23Q3/15 ,  B23Q3/18 ,  B23K26/70

Abstract: 拆装装置(1)具有：主要安装板(2)，其对主要安装对象物(9)进行安装；附属安装板(3)，其对附属安装对象物(10)进行安装；吸附单元(4)，其将主要安装板(2)和附属安装板(3)能够分离地连结；以及连结部件(5)，其配置于主要安装板(2)和附属安装板(3)之间，与主要安装板(2)及附属安装板(3)分体地形成。连结部件(5)固定于附属安装板(3)。在主要安装板(2)形成朝向连结部件(5)凸出的凸起(6)。在连结部件(5)形成供凸起(6)嵌入的孔(7)。在凸起(6)形成旋转面状的第1接触面(61)。在孔(7)的内表面形成旋转面状的第2接触面(71)。在凸起(6)的中心轴(C1)和孔(7)的中心轴(C2)一致的状态下，第1接触面(61)和第2接触面(71)彼此接触。

公开(公告)号：CN110036316B

公开(公告)日：2021-06-01

申请号：CN201780075342.1

申请日：2017-11-10

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 中井秀和

IPC: G02B5/08 ,  G02B5/28 ,  H01S3/05

Abstract: 红外激光用反射部件(100)具备：衬底(1)；SiO膜(6)；以及金属膜(3)，其形成于衬底(1)和SiO膜(6)之间。

公开(公告)号：CN110036316A

公开(公告)日：2019-07-19

申请号：CN201780075342.1

申请日：2017-11-10

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 中井秀和

IPC: G02B5/08 ,  G02B5/28 ,  H01S3/05

Abstract: 红外激光用反射部件(100)具备：衬底(1)；SiO膜(6)；以及金属膜(3)，其形成于衬底(1)和SiO膜(6)之间。

公开(公告)号：CN109154678A

公开(公告)日：2019-01-04

申请号：CN201780028538.5

申请日：2017-04-26

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 福永圭佑 ,  中井秀和

IPC: G02B1/115 ,  B23K26/382 ,  C23C14/06 ,  C23C16/27 ,  G02B1/14

Abstract: 本发明提供一种光学部件，其特征在于，在Ge基板的至少单面，从该Ge基板侧起依次层叠有氟化物膜、Ge膜及类金刚石膜(DLC膜)。优选氟化物膜的膜厚为500nm～950nm，优选Ge膜的膜厚为50nm～150nm，优选DLC膜的膜厚为50nm～300nm。优选氟化物膜由从通过YF3、YbF3及MgF2构成的组选择的至少一种构成。

公开(公告)号：CN113508003A

公开(公告)日：2021-10-15

申请号：CN201980093461.9

申请日：2019-12-04

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 中井秀和 ,  长谷川正彦 ,  西尾彰伦

IPC: B23K26/70 ,  B23Q3/02 ,  B23Q3/15 ,  B23Q3/18

Abstract: 拆装装置(1)具有：主要安装板(2)，其对主要安装对象物(9)进行安装；附属安装板(3)，其对附属安装对象物(10)进行安装；吸附单元(4)，其将主要安装板(2)和附属安装板(3)能够分离地连结；以及连结部件(5)，其配置于主要安装板(2)和附属安装板(3)之间，与主要安装板(2)及附属安装板(3)分体地形成。连结部件(5)固定于附属安装板(3)。在主要安装板(2)形成朝向连结部件(5)凸出的凸起(6)。在连结部件(5)形成供凸起(6)嵌入的孔(7)。在凸起(6)形成旋转面状的第1接触面(61)。在孔(7)的内表面形成旋转面状的第2接触面(71)。在凸起(6)的中心轴(C1)和孔(7)的中心轴(C2)一致的状态下，第1接触面(61)和第2接触面(71)彼此接触。

公开(公告)号：CN109154678B

公开(公告)日：2021-03-26

申请号：CN201780028538.5

申请日：2017-04-26

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 福永圭佑 ,  中井秀和

IPC: G02B1/115 ,  B23K26/382 ,  C23C14/06 ,  C23C16/27 ,  G02B1/14

Abstract: 本发明提供一种光学部件，其特征在于，在Ge基板的至少单面，从该Ge基板侧起依次层叠有氟化物膜、Ge膜及类金刚石膜(DLC膜)。优选氟化物膜的膜厚为500nm～950nm，优选Ge膜的膜厚为50nm～150nm，优选DLC膜的膜厚为50nm～300nm。优选氟化物膜由从通过YF3、YbF3及MgF2构成的组选择的至少一种构成。

公开(公告)号：CN107710025A

公开(公告)日：2018-02-16

申请号：CN201680036058.9

申请日：2016-05-09

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 中井秀和 ,  福永圭佑

IPC: G02B1/115 ,  B23K26/064 ,  B23K26/382 ,  G02B1/14 ,  H01S3/00

CPC classification number: B23K26/064 ,  B23K26/382 ,  G02B1/115 ,  G02B1/14 ,  H01S3/00

Abstract: 一种光学部件，其在Ge基板的至少单面形成有多层膜，在该光学部件中，所述多层膜的最表层为类金刚石层(DLC层)，在所述Ge基板和所述DLC层之间，形成有从由ZnS层及金属氧化物层构成的组中选择的至少1个层。优选与所述Ge基板相接的层从由ZnS层、Bi2O3层、CeO2层、Cr2O3层、Ta2O5层、HfO2层及ZrO2层构成的组中选择。优选与所述DLC层相接的层从由ZnS层、SiO层、MgO层、Y2O3层、Bi2O3层、CeO2层、Cr2O3层、Ta2O5层、TiO2层、HfO2层及ZrO2层构成的组中选择。