公开(公告)号：CN101155464A

公开(公告)日：2008-04-02

申请号：CN200710161207.7

申请日：2007-09-25

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 田中博文 ,  永山贵久 ,  头本信行

IPC: H05H11/00 ,  H05H13/04 ,  H05H13/08 ,  H05H7/08 ,  G21K1/093

CPC classification number: H05H11/00 ,  A61B6/4092 ,  A61B6/484 ,  H05G2/00 ,  H05H7/06 ,  H05H7/08

Abstract: 一种环形加速设备，它包括：电子发生器(1)，用于响应从高压电源(4)施加在电子发生器(1)上的脉冲电压以脉冲方式产生电子；以及环形加速器(2)，它包括用于使已经由电子发生器(1)产生并且注入到环形加速器中的电子加速的电子加速装置(13)和用于使注入的电子发生偏转的偏转磁场产生装置(14)，其特征在于，所述高压电源(4)设有用于使施加在电子发生器(1)上的脉冲电压具有缓慢上升边缘和缓慢下降边缘中的至少一个的电路元件。

公开(公告)号：CN101155464B

公开(公告)日：2013-07-17

申请号：CN200710161207.7

申请日：2007-09-25

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 田中博文 ,  永山贵久 ,  头本信行

IPC: H05H11/00 ,  H05H13/04 ,  H05H13/08 ,  H05H7/08 ,  G21K1/093

CPC classification number: H05H11/00 ,  A61B6/4092 ,  A61B6/484 ,  H05G2/00 ,  H05H7/06 ,  H05H7/08

Abstract: 一种环形加速设备，它包括：电子发生器(1)，用于响应从高压电源(4)施加在电子发生器(1)上的脉冲电压以脉冲方式产生电子；以及环形加速器(2)，它包括用于使已经由电子发生器(1)产生并且注入到环形加速器中的电子加速的电子加速装置(13)和用于使注入的电子发生偏转的偏转磁场产生装置(14)，其特征在于，所述高压电源(4)设有用于使施加在电子发生器(1)上的脉冲电压具有缓慢上升边缘和缓慢下降边缘中的至少一个的电路元件。

公开(公告)号：CN1119975A

公开(公告)日：1996-04-10

申请号：CN95106168.2

申请日：1995-06-02

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 中谷元 ,  杉立厚志 ,  出云正雄 ,  皆川忠郎 ,  八木俊憲 ,  头本信行 ,  南谷靖史 ,  松下嘉文

IPC: B23K26/00

CPC classification number: B23K26/046 ,  B23K26/04 ,  B23K26/043 ,  B23K26/048 ,  B23K26/066 ,  H05K3/0026 ,  H05K2203/056

Abstract: 一种用光束对工件进行光学处理的光学处理装置。该装置不管是否更换掩模和工件，均能自动将成像放大倍数调整至一预定值，并同时使成像放大倍数保持为常数，并能延长掩模的使用寿命。该装置包括一光源、一成像透镜、一掩模移动机构、一工件移动机构、一成像放大倍数改变机构以及一中央控制单元。该中央控制单元含有一实际成像放大倍数运算模块、一放大倍数判定模块、一光轴位移控制模块以及一位移控制模块。