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公开(公告)号:CN107249810A
公开(公告)日:2017-10-13
申请号:CN201580076578.8
申请日:2015-03-19
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: B23K26/14
CPC classification number: B23K26/38 , B23K26/1476 , B23K2103/04
Abstract: 加工喷嘴(2)具有形成有流路(4)的外侧喷嘴(3)和嵌入至外侧喷嘴(3)的流路(4)的内侧喷嘴(5),在该加工喷嘴(2)中,在内侧喷嘴(5),形成对与外侧喷嘴(3)之间进行封闭的凸缘(11),在凸缘(11),形成使流路(4)的相对于凸缘(11)的上游侧和下游侧连通的通路(13),在流路(4)的相对于凸缘(11)的下游还具有间隙形成部(9),该间隙形成部(9)在与内侧喷嘴(5)之间形成间隙。
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公开(公告)号:CN102056703A
公开(公告)日:2011-05-11
申请号:CN200980120881.8
申请日:2009-06-01
Applicant: 三菱电机株式会社
CPC classification number: B23K26/0622 , B23K26/046 , B23K26/38 , B23K26/382 , B23K26/389 , B23K26/40 , B23K2103/50
Abstract: 本发明提供一种激光加工装置,其通过向被加工物(W)照射激光,从而对被加工物(W)进行穿孔加工和穿孔加工后的切断加工,该激光加工装置具有:激光照射部(60),其至少在穿孔加工开始时,将焦点位置设定在被加工物(W)内的表面附近,向被加工物(W)照射激光;以及激光振荡器(1),其在激光照射部(60)按照穿孔加工开始时设定的焦点位置向被加工物(W)照射激光的情况下,以产生等离子体的频率将激光进行脉冲射出。
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公开(公告)号:CN104379296A
公开(公告)日:2015-02-25
申请号:CN201380031615.4
申请日:2013-05-31
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: B23K26/064 , B23K26/08
CPC classification number: G02B27/0031 , B01J19/121 , B23K26/04 , B23K26/0643 , B23K26/0892 , G02B26/00 , B23K26/0648 , B23K26/08
Abstract: 为了得到能够使用光路结构不特别复杂的反射型扩束机构,而充分抑制光束发散角,并且将无像差且具有期望光束直径的激光照射到被加工材料上的激光加工装置,在本发明的激光加工装置中,具有:激光振荡器(1);加工工作台(2);传输光学系统,其将从激光振荡器(1)射出的激光(L)传输至加工工作台(2);加工头(4),其将经由传输光学系统传输的激光(L)聚光照射至被加工材料;移动单元(5),其使照射至被加工材料的激光(L)和被加工材料的相对位置发生变化;以及球面曲率可变反射镜(67)。传输光学系统具有对来自激光振荡器(1)的激光进行平行化且扩大的反射型扩束机构(6),反射型扩束机构(6)设为包含球面反射镜(63)、以及正交的2个轴的曲率不同的凹反射镜(62)的结构。
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公开(公告)号:CN102056703B
公开(公告)日:2013-07-24
申请号:CN200980120881.8
申请日:2009-06-01
Applicant: 三菱电机株式会社
CPC classification number: B23K26/0622 , B23K26/046 , B23K26/38 , B23K26/382 , B23K26/389 , B23K26/40 , B23K2103/50
Abstract: 本发明提供一种激光加工装置,其通过向被加工物(W)照射激光,从而对被加工物(W)进行穿孔加工和穿孔加工后的切断加工,该激光加工装置具有:激光照射部(60),其至少在穿孔加工开始时,将焦点位置设定在被加工物(W)内的表面附近,向被加工物(W)照射激光;以及激光振荡器(1),其在激光照射部(60)按照穿孔加工开始时设定的焦点位置向被加工物(W)照射激光的情况下,以产生等离子体的频率将激光进行脉冲射出。
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公开(公告)号:CN107249810B
公开(公告)日:2018-10-23
申请号:CN201580076578.8
申请日:2015-03-19
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: B23K26/14
Abstract: 加工喷嘴(2)具有形成有流路(4)的外侧喷嘴(3)和嵌入至外侧喷嘴(3)的流路(4)的内侧喷嘴(5),在该加工喷嘴(2)中,在内侧喷嘴(5),形成对与外侧喷嘴(3)之间进行封闭的凸缘(11),在凸缘(11),形成使流路(4)的相对于凸缘(11)的上游侧和下游侧连通的通路(13),在流路(4)的相对于凸缘(11)的下游还具有间隙形成部(9),该间隙形成部(9)在与内侧喷嘴(5)之间形成间隙。
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公开(公告)号:CN104379296B
公开(公告)日:2016-06-29
申请号:CN201380031615.4
申请日:2013-05-31
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: B23K26/064 , B23K26/08
CPC classification number: G02B27/0031 , B01J19/121 , B23K26/04 , B23K26/0643 , B23K26/0892 , G02B26/00
Abstract: 具有:激光振荡器(1);加工工作台(2);传输光学系统,其将从激光振荡器(1)射出的激光(L)传输至加工工作台(2);加工头(4),其将经由传输光学系统传输的激光(L)聚光照射至被加工材料;移动单元(5),其使照射至被加工材料的激光(L)和被加工材料的相对位置发生变化;以及球面曲率可变反射镜(67)。传输光学系统具有对来自激光振荡器(1)的激光进行平行化且扩大的反射型扩束机构(6),反射型扩束机构(6)包含球面反射镜(63)、以及正交的2个轴的曲率不同的凹反射镜(62)。
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