公开(公告)号：CN101128964B

公开(公告)日：2012-05-09

申请号：CN200680006165.3

申请日：2006-03-16

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 和田升 ,  葛本昌树 ,  中谷元 ,  荆原弘行 ,  江崎德光 ,  峰慎吾 ,  民田太一郎

IPC: H05H1/24 ,  H01T19/00 ,  C01B13/11

CPC classification number: H01T19/00 ,  C01B13/11 ,  C01B2201/12 ,  C01B2201/14 ,  C01B2201/22 ,  C01B2201/24 ,  C01B2201/32 ,  C01B2201/34 ,  C01B2201/60 ,  C01B2201/64 ,  C01B2201/76 ,  C01B2201/90

Abstract: 在本发明的无声放电式等离子体产生装置包括电介体、夹着电介体而相对地配置的1组电极、向电极之间施加交流电压而使其放电的交流电源，向产生放电的放电空间供给气体而形成等离子体。电极的至少一个由形成在电介体上的导电性供电薄膜构成，在电介体破损而在电极之间产生了电弧放电的情况下，使产生了电弧放电的部分的供电薄膜消失或氧化，使得停止产生电弧放电。

公开(公告)号：CN101128964A

公开(公告)日：2008-02-20

申请号：CN200680006165.3

申请日：2006-03-16

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 和田升 ,  葛本昌树 ,  中谷元 ,  荆原弘行 ,  江崎德光 ,  峰慎吾 ,  民田太一郎

IPC: H01T19/00 ,  C01B13/11

CPC classification number: H01T19/00 ,  C01B13/11 ,  C01B2201/12 ,  C01B2201/14 ,  C01B2201/22 ,  C01B2201/24 ,  C01B2201/32 ,  C01B2201/34 ,  C01B2201/60 ,  C01B2201/64 ,  C01B2201/76 ,  C01B2201/90

Abstract: 在本发明的无声放电式等离子体产生装置包括电介体、夹着电介体而相对地配置的1组电极、向电极之间施加交流电压而使其放电的交流电源，向产生放电的放电空间供给气体而形成等离子体。电极的至少一个由形成在电介体上的导电性供电薄膜构成，在电介体破损而在电极之间产生了电弧放电的情况下，使产生了电弧放电的部分的供电薄膜消失或氧化，使得停止产生电弧放电。