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公开(公告)号:CN109923241A
公开(公告)日:2019-06-21
申请号:CN201780060703.5
申请日:2017-06-12
Applicant: 三菱重工业株式会社
Inventor: 三河宽明 , 长安弘贡 , 杉山茂广 , 佐藤匠 , 川崎耕平 , 高木佑辅
IPC: C23C22/76 , B05D1/02 , B05D3/00
Abstract: 本发明的表面处理装置具备:处理槽、雾化喷嘴、以及循环装置,所述处理槽具有配置金属部件的处理空间,所述雾化喷嘴将非铬酸盐处理液的雾供给至处理空间,所述循环装置回收处理空间的非铬酸盐处理液,并供给至雾化喷嘴。