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公开(公告)号：CN110608735A
公开(公告)日：2019-12-24
申请号：CN201910905748.9
申请日：2019-09-24
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 本发明提供了一种高温超导磁通钉扎效应静电驱动微转动陀螺，包括定子、陀螺转子、高温超导体、定子静电驱动电极；其中，定子设置于所述陀螺转子的上方；定子静电驱动电极设置于定子的下表面，用于产生步进电场；高温超导体设置于陀螺转子的下方；陀螺转子的下表面设有永磁体，永磁体为轴对称环形；永磁体产生的磁场作用在下方的高温超导体上，通过高温超导体的抗磁和磁通钉扎特性，使陀螺转子被锁定悬浮在高温超导体的上方；陀螺转子的上表面设有转子静电驱动电极，通过定子静电驱动电极产生的步进电场作用在转子静电驱动电极，产生旋转扭矩，使陀螺转子高速旋转。本发明采用高温超导体中磁场的磁通钉扎效应来实现稳定悬浮，是一种无源悬浮技术。
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公开(公告)号：CN110595454A
公开(公告)日：2019-12-20
申请号：CN201910905062.X
申请日：2019-09-24
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 本发明提供了一种高温超导磁通钉扎效应磁驱动微陀螺，包括定子、陀螺转子、高温超导体、旋转磁场线圈；其中，定子设置于所述陀螺转子的上方；旋转磁场线圈设置于定子的下表面，用于产生旋转磁场；高温超导体设置于陀螺转子的下方；陀螺转子的下表面设有永磁体，永磁体为轴对称环形；永磁体产生的磁场作用在下方的高温超导体上，通过高温超导体的抗磁和磁通钉扎特性，使陀螺转子被锁定悬浮在高温超导体的上方；陀螺转子的上表面设有旋转驱动永磁体阵列，旋转驱动永磁体阵列与旋转磁场线圈产生的旋转磁场相互作用产生驱动扭矩，使陀螺转子绕其中心轴高速旋转。本发明通过采用高温超导体中磁场的磁通钉扎效应来实现稳定悬浮，是一种无源悬浮技术。
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公开(公告)号：CN105548606B
公开(公告)日：2018-09-21
申请号：CN201510909210.7
申请日：2015-12-10
Applicant: 上海交通大学
IPC: G01P5/12
Abstract: 一种基于MEMS的柔性流速传感器及其应用和制备方法，包括通过MEMS技术制备的：柔性衬底、支撑膜、绝缘保护层、环境测温热电阻、嵌入设置于绝缘保护层和支撑膜之间的加热热电阻和测温热电阻对，其中：柔性衬底、支撑膜和绝缘保护层依次相连，加热热电阻位于支撑膜中央，测温热电阻对的测温热电阻对称设置于加热热电阻的两侧，环境测温热电阻嵌入设置于柔性衬底和绝缘保护层之间，柔性衬底的底部设有隔热空腔；加热热电阻、三个测温热电阻对和环境测温热电阻构成四路热温差型和热损失型惠斯通电桥电路，对流速进行测量；本发明体积小，成本低，可用于具有复杂曲率的表面，并且具备极低流速到高流速的测速量程。
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公开(公告)号：CN104897144A
公开(公告)日：2015-09-09
申请号：CN201510288072.5
申请日：2015-05-29
Applicant: 上海交通大学
IPC: G01C19/5656
CPC classification number: G01C19/5656
Abstract: 本发明公开一种多驱动电极模态耦合微固体模态陀螺，包括：压电振子、多对驱动电极、参考电极、信号检测电极和隔离电极，其中：驱动电极、参考电极、信号检测电极以及隔离电极均位于压电振子的上下表面，和压电振子形成固定连接。本发明利用压电振子特殊模态下的振动作为参考振动，同时利用科氏效应和压电效应来敏感外界输入角速度进行输出信号的检测。本发明通过引入多对驱动电极增大参考振动速度幅值，提高微陀螺检测灵敏度；优化压电振子的尺寸，使得参考模态与检测模态下二者的固有频率相同，利用模态耦合效应增大检测振动幅值，提高陀螺的输出灵敏度。本发明大大提高微固体模态陀螺的检测灵敏度。
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公开(公告)号：CN104893954A
公开(公告)日：2015-09-09
申请号：CN201510288041.X
申请日：2015-05-29
Applicant: 上海交通大学
CPC classification number: C12Q1/686 , B01L3/5027 , B01L7/52
Abstract: 本发明提供一种三温度区域通道内嵌连续流式叠层PCR芯片，其中：测温电极排布于上衬底的上表面；加热电极排布于下衬底的下表面；上、下衬底键合成一整体，所述反应通道由对称刻蚀于上衬底的下表面和下衬底的上表面的凹槽拼接形成。本发明将衬底按照PCR三个不同的反应区分为三个不同区域，不同区域保持一定距离，让反应液连续流过这三个不同区域，完成反应，在同一块反应区，温度分布均匀性较高，由于温度不再需要反复上升下降，反应总时间变短，节省时间。同时上下表面对称性排布反应通道，使测温元件与反应液距离变小，测温更准确。反应通道中使用微细软管约束反应液，可以减少气泡发生。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102519444B
公开(公告)日：2015-08-26
申请号：CN201110383205.9
申请日：2011-11-25
Applicant: 上海交通大学
IPC: G01C19/5776
Abstract: 本发明公开一种微固体模态陀螺的AGC自激振荡驱动电路，由电荷放大器、移相器、放大器、带通滤波器和自动增益控制器五部分组成振荡回路。陀螺振动信号首先通过电荷放大器的接收和增强，然后通过移相器将电荷放大器输出的信号进行相位调整，使其满足闭环驱动电路自激振荡条件；信号通过放大器进行放大，再经过带通滤波器进行选频；通过带通滤波器的信号进入自动增益控制器，自动增益控制器将得到的信号幅值与参考信号幅值的差值来控制增益，最终得到恒幅、稳频的正弦驱动信号，使整个闭环驱动系统稳定。本发明能够为微固体模态陀螺提供恒幅、稳频的驱动信号，有效地解决了目前开环驱动电路中存在的问题。
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公开(公告)号：CN102278983B
公开(公告)日：2014-03-26
申请号：CN201110206942.1
申请日：2011-07-22
Applicant: 上海交通大学
IPC: G01C19/5656 , G01C19/5663
Abstract: 本发明涉及一种微机电技术领域的具有三角形振子的硅微陀螺仪及其制作方法，包括：一个具有三个振动梁的等边三角形振子，与振动梁平行且有一定间隙的驱动电极，位于驱动电极的两侧且与驱动梁平行的检测电极以及基板。该微陀螺的制作方法采用体硅微加工工艺，制作工艺简单，可靠性高，能保证较低的成本和较高的成品率。本发明体积小，结构简单，加工工艺易于实现，能够同CMOS工艺兼容，抗冲击，不需要真空封装，适用于批量化生产。
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公开(公告)号：CN101948008B
公开(公告)日：2013-07-03
申请号：CN201010289527.2
申请日：2010-09-22
Applicant: 上海交通大学 , 中国科学院沈阳自动化研究所
Abstract: 一种微机电技术领域的仿昆虫微型扑翼飞行器，胸腔构架、柔性运动块、电控系统、翅膀以及刚度圈，柔性运动块垂直设置于胸腔构架的中部，刚度圈分别与翅膀和柔性运动块相连接，电控系统位于胸腔构架尾部并通过微加工技术直接布线与胸腔构架相连。本发明通过电磁驱动结构驱动翼高频扇动产生升力，同时采用柔性铰链、圆形刚度圈以及翅痣来提高翼扇动过程中在空气动力学作用下的被动旋转，来产生更大的升力和推进力。
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公开(公告)号：CN102815399A
公开(公告)日：2012-12-12
申请号：CN201210282453.9
申请日：2012-08-09
Applicant: 上海交通大学
IPC: B64C33/00
Abstract: 本发明公开一种仿生微飞行器领域的仿蜂鸟扑翼微飞行器，包括：机架、减速齿轮组、电机、传动机构、平行轴结构以及一对翅膀。其中机架上面直接装配减速齿轮组、电机和平行轴结构；传动机构装配在减速齿轮组和平行轴结构之间，用来将减速齿轮组输出的连续转动转化成平行轴的往复转动；一对翅膀装配在平行轴结构上面，从而实现自身的拍打运动，并与其他部分形成一个完整的扑翼微飞行器。本发明中两翅膀的拍打运动完全对称，很大程度上减小了振动对飞行器性能的影响，降低了飞行器的控制难度；同时，本发明结构简洁合理，便于加工，更便于进行改进以完成各种复杂的任务。
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公开(公告)号：CN102692221A
公开(公告)日：2012-09-26
申请号：CN201210138147.8
申请日：2012-05-04
Applicant: 上海交通大学
IPC: G01C19/567
Abstract: 本发明公开一种微固体模态陀螺闭环驱动与科氏力检测电路，包括闭环锁相稳幅驱动电路以及与其连接的科氏力检测电路，其中科氏力检测电路包括第二电荷放大器电路、第三电荷放大器电路、第四电荷放大器电路、第二等幅调相电路、第一放大器电路、差分电路、乘法器电路、低通滤波电路，第二放大器电路组成。本发明能够为微固体模态陀螺提供恒幅且跟踪陀螺谐振频率的驱动信号，保证陀螺时刻都处于谐振状态，减小因谐振频率漂移或振动幅值波动带来的误差，可以有效地解决目前开环驱动检测电路中存在的问题，同时能有效检测到微固体陀螺上的检测点电荷，分辨出科氏力效应引起的电荷变化，因而有效的检测出微固体陀螺在旋转时产生的科氏力效应。
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