一种MEMS同轴滤波器和制作方法

    公开(公告)号:CN111133628A

    公开(公告)日:2020-05-08

    申请号:CN201780095197.3

    申请日:2017-09-25

    Inventor: 梅迪 朱其玉

    Abstract: 本发明的目的是提供一种MEMS同轴滤波器和制作方法。根据本发明的一个方面,提供了一种MEMS同轴滤波器,其特征在于,所述MEMS同轴滤波器包括:两面抛光的结构层圆片;由金属壁或金属化通孔实现电壁的硅介质腔体;由金属化盲孔实现的内部同轴结构。本发明具有以下优点:通过利用MEMS技术在硅片上制作同轴滤波器,结合了MEMS技术、同轴谐振器结构和SIW技术的优势,相较于现有的金属波导滤波器或SIW滤波器,根据本发明的实施例的MEMS同轴滤波器极大地减小了毫米波滤波器的尺寸并降低了成本,并且具有较高的加工精度,简化了毫米波滤波器的生产时间和成本。

    一种MEMS同轴滤波器和制作方法

    公开(公告)号:CN111133628B

    公开(公告)日:2021-12-14

    申请号:CN201780095197.3

    申请日:2017-09-25

    Inventor: 梅迪 朱其玉

    Abstract: 本发明的目的是提供一种MEMS同轴滤波器和制作方法。根据本发明的一个方面,提供了一种MEMS同轴滤波器,其特征在于,所述MEMS同轴滤波器包括:两面抛光的结构层圆片;由金属壁或金属化通孔实现电壁的硅介质腔体;由金属化盲孔实现的内部同轴结构。本发明具有以下优点:通过利用MEMS技术在硅片上制作同轴滤波器,结合了MEMS技术、同轴谐振器结构和SIW技术的优势,相较于现有的金属波导滤波器或SIW滤波器,根据本发明的实施例的MEMS同轴滤波器极大地减小了毫米波滤波器的尺寸并降低了成本,并且具有较高的加工精度,简化了毫米波滤波器的生产时间和成本。

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