公开(公告)号：CN108735628B

公开(公告)日：2025-05-02

申请号：CN201810359949.9

申请日：2018-04-20

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 大谷乡 ,  大塚幸信

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/677

Abstract: 本发明涉及基板加热装置，提供一种在将晶圆载置于加热板来进行加热的加热装置中抑制加热板的热对设置于加热装置的驱动系统的影响的技术。构成为由晶圆搬送机构将被加热板加热处理过的晶圆搬送到冷却板，在从加热板的下方侧起到冷却板的下方侧为止连续配置的水冷板的下方侧设置有构成晶圆搬送机构的例如包括带驱动机构的移动机构。因此，即使加热板的温度为600℃的高温，由于加热板的辐射热被水冷板遮蔽，因此对于移动机构的耐热性变大。

公开(公告)号：CN108735628A

公开(公告)日：2018-11-02

申请号：CN201810359949.9

申请日：2018-04-20

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 大谷乡 ,  大塚幸信

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/677

CPC classification number: H01L21/67103 ,  H01L21/67109 ,  H01L21/6719 ,  H01L21/67748 ,  H01L21/68742 ,  H01L21/68764 ,  H01L21/68785 ,  H01L21/67098 ,  H01L21/67703

Abstract: 本发明涉及基板加热装置，提供一种在将晶圆载置于加热板来进行加热的加热装置中抑制加热板的热对设置于加热装置的驱动系统的影响的技术。构成为由晶圆搬送机构将被加热板加热处理过的晶圆搬送到冷却板，在从加热板的下方侧起到冷却板的下方侧为止连续配置的水冷板的下方侧设置有构成晶圆搬送机构的例如包括带驱动机构的移动机构。因此，即使加热板的温度为600℃的高温，由于加热板的辐射热被水冷板遮蔽，因此对于移动机构的耐热性变大。

公开(公告)号：CN208256628U

公开(公告)日：2018-12-18

申请号：CN201820569912.4

申请日：2018-04-20

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 大谷乡 ,  大塚幸信

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/677

Abstract: 本实用新型涉及基板加热装置，提供一种在将晶圆载置于加热板来进行加热的加热装置中抑制加热板的热对设置于加热装置的驱动系统的影响的技术。构成为由晶圆搬送机构将被加热板加热处理过的晶圆搬送到冷却板，在从加热板的下方侧起到冷却板的下方侧为止连续配置的水冷板的下方侧设置有构成晶圆搬送机构的例如包括带驱动机构的移动机构。因此，即使加热板的温度为600℃的高温，由于加热板的辐射热被水冷板遮蔽，因此对于移动机构的耐热性变大。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利