一种全自由度微转印定位平台及转印检测装置

    公开(公告)号:CN117533029A

    公开(公告)日:2024-02-09

    申请号:CN202311831365.4

    申请日:2023-12-28

    Abstract: 本发明提供一种全自由度微转印定位平台及转印检测装置,涉及微转印技术领域。包括五自由度定位平台装置、微力采集装置、工业相机、Z轴运动臂及安装在Z轴运动臂上的印章抓手和SMP印章,Z轴运动臂能使印章实现在Z轴方向上的移动,微转印定位平台能够满足微器件精确定位,从而提高转印精度,微力采集装置放置在微转印定位平台上,能够在显示器上显示实时采集转印过程中的微力值变化,工业相机与显示器相连,实现对转印过程图像的采集,最终将采集的数据和图像储存起来。本发明采用定位平台来保证转印过程高质量地完成,采用工业相机对转印是否成功,转印质量及转印效果进行判断,通过微力采集装置可以实时检测微力的变化。

    一种基于SMP疏水表面和振动控制液滴的微装配方法及装置

    公开(公告)号:CN116854028A

    公开(公告)日:2023-10-10

    申请号:CN202310851942.X

    申请日:2023-07-12

    Abstract: 本发明涉及微转印技术领域,特别是涉及一种基于SMP疏水表面和振动控制液滴的微装配方法,该装配方法包括:印章控制调控阶段、微器件粘附拾取阶段、微器件释放阶段。该方法解决了SMP印章的粘附力小的缺点,提高拾取过程的效率和准确度,使用压电陶瓷振动提高释放效率,在目标基体上放置辅助液滴提高装配的准确度。装配装置包括:载物架、水平电控滑轨、源基体、控制线、温度控制器、控制器、数据传输总线、信号传输总线、温度报警器、升降台、工作台、压电陶瓷作动器支架、纵向电控滑轨、压电陶瓷作动器、加热装置、温度传感器、SMP印章支架、SMP印章、液滴、微电子器件、基座及目标基体,该装置结构简单,操作方便。

    一种基于等离子体屏蔽效应的激光烧蚀钛合金数值模拟方法

    公开(公告)号:CN120105949A

    公开(公告)日:2025-06-06

    申请号:CN202510164253.0

    申请日:2025-02-14

    Abstract: 本发明涉及激光微细加工技术领域,具体为一种基于等离子体屏蔽效应的激光烧蚀钛合金数值模拟方法。针对现有激光加工制造微纳结构精度和效率低、模拟模型未充分考虑等离子体屏蔽效应等问题,借助COMSOL Multiphysics软件构建二维及三维模型。该模型充分考虑等离子体屏蔽效应,修正激光能量传输方程,结合质量、动量和能量守恒方程模拟熔池行为与表面形貌形成过程。通过设定热源、边界条件,运用水平集方法并考虑多种效应,以及计算等离子体相关参数,精确模拟激光烧蚀过程。输入不同激光参数模拟并分析其对沟槽形貌影响,经实验与模拟结果对比修正模型。本发明提升模拟精度,可优化激光加工参数,降低成本,通用性强,能为多种金属材料激光加工提供理论指导,推动激光加工技术在多领域发展。

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