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公开(公告)号：CN113175887B
公开(公告)日：2023-03-24
申请号：CN202110536390.4
申请日：2021-05-17
Applicant: 苏州中科行智智能科技有限公司 , 东北大学秦皇岛分校
Abstract: 本发明提供了一种测量薄膜厚度与折射率的装置和方法，属于光学测量领域。本发明装置包括低相干光源、分光组件、反射镜、样品槽、光谱仪和信号处理单元，从低相干光源发出的光进入分光组件，经分光组件将光分为参考光和样品光。参考光照射在反射镜上；样品光垂直于样品槽侧面射入样品槽。经反射镜反射的参考光，以及经样品槽和待测样品反射的样品光反射进入分光组件，并输出进入光谱仪。结合傅里叶变换的频率和相位进行解调，分别测量样品槽空置、放置样品后的光程，对于薄薄膜，还在样品槽倒入折射率已知液体进行光程测量。本发明基于相敏光学相干层析的测量方法，具有纳米级精度、操作简单、可适用于各种状态薄膜的优点。
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公开(公告)号：CN113175887A
公开(公告)日：2021-07-27
申请号：CN202110536390.4
申请日：2021-05-17
Applicant: 苏州中科行智智能科技有限公司 , 东北大学秦皇岛分校
Abstract: 本发明提供了一种测量薄膜厚度与折射率的装置和方法，属于光学测量领域。本发明装置包括低相干光源、分光组件、反射镜、样品槽、光谱仪和信号处理单元，从低相干光源发出的光进入分光组件，经分光组件将光分为参考光和样品光。参考光照射在反射镜上；样品光垂直于样品槽侧面射入样品槽。经反射镜反射的参考光，以及经样品槽和待测样品反射的样品光反射进入分光组件，并输出进入光谱仪。结合傅里叶变换的频率和相位进行解调，分别测量样品槽空置、放置样品后的光程，对于薄薄膜，还在样品槽倒入折射率已知液体进行光程测量。本发明基于相敏光学相干层析的测量方法，具有纳米级精度、操作简单、可适用于各种状态薄膜的优点。
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公开(公告)号：CN115112770B
公开(公告)日：2024-05-03
申请号：CN202210859196.4
申请日：2022-07-21
Applicant: 东北大学秦皇岛分校
Abstract: 一种光声成像装置及方法，装置由探测光源、光纤隔离器、光纤耦合器、第一准直器、半透半反镜、激发光源、二向色镜、反射镜、二维振镜、透镜、第二准直器、偏振片、1/4波片、偏振分光棱镜、第三准直器、第四准直器、第一多模光纤、第二多模光纤、第一光电探测器、第二光电探测器、第一高通滤波器、第二高通滤波器及计算机组成。方法为：光声激发、光声探测及信号解调。本发明通过探测光声信号初始位置的反射光强变化来提高灵敏度；使用单模光纤输出探测光，使用多模光纤接收探测光，结合信号解调，既可以增大返回光纤的探测光强度，同时又可以消除多模光纤的多种模式的影响，进一步提高探测灵敏度；使探测光和样品光聚焦于同一点，无需调节焦点。
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公开(公告)号：CN115112770A
公开(公告)日：2022-09-27
申请号：CN202210859196.4
申请日：2022-07-21
Applicant: 东北大学秦皇岛分校
Abstract: 一种光声成像装置及方法，装置由探测光源、光纤隔离器、光纤耦合器、第一准直器、半透半反镜、激发光源、二向色镜、反射镜、二维振镜、透镜、第二准直器、偏振片、1/4波片、偏振分光棱镜、第三准直器、第四准直器、第一多模光纤、第二多模光纤、第一光电探测器、第二光电探测器、第一高通滤波器、第二高通滤波器及计算机组成。方法为：光声激发、光声探测及信号解调。本发明通过探测光声信号初始位置的反射光强变化来提高灵敏度；使用单模光纤输出探测光，使用多模光纤接收探测光，结合信号解调，既可以增大返回光纤的探测光强度，同时又可以消除多模光纤的多种模式的影响，进一步提高探测灵敏度；使探测光和样品光聚焦于同一点，无需调节焦点。
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