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公开(公告)号：CN114179537A
公开(公告)日：2022-03-15
申请号：CN202010959628.X
申请日：2020-09-14
Applicant: 东北大学秦皇岛分校
Abstract: 本发明公开了一种基于聚焦超声控制SMP印章的微转印方法及其装置，该方法包括部署调试阶段、剥离阶段、打印阶段，具体步骤为：部署能量发生装置、转印载体及调试控制系统；将超声能量作用于SMP印章并使其与微电子器件接触，在界面粘附力作用下将本置于源基体上的微电子器件剥离；再次将超声能量作用于SMP印章使其发生形变回复，从而微电子器件被打印至目标基体上；该方法增强了转印过程可控性、提高了微转印质量和效率；所述微转印装置包括：能量发生装置、能量控制系统、转印载体系统、目标基体、源基体，该装置结构简单成本低，用超声换能器非接触加热，可适应复杂结构转印，采用水作为超声波的传递介质，能量损耗小、清洁环保。
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